倍压磁脉冲开关在准分子激光器中的应用

本文提出了将磁脉冲压缩开关结合LC反转倍压电路应用于高重复率紧凑型准分子激光器的技术。对磁脉冲压缩开关应用的原理及结合LC倍压方法在准分子激光器高压快放电激励电路中的工作过程进行了分析 。

一种新颖钛宝石激光器电源电路

介绍了一种灯抽运钛宝石激光器电源充放电电路。利用脉冲能量进行变压器升压式充电 ,用磁脉冲压缩开关替代了传统灯抽运钛宝石激光器电源中的放电开关闸流管 ,并对整个电路的工作过程进行了分析。

磁脉冲开关在准分子激光器中的应用

本文介绍了用于准分子激光器中的磁脉冲压缩开关的原理和结构，分析了磁脉冲压缩开关在激光器激励电路中的工作过程，并且给出了实验结果。实验表明，磁脉冲庄缩开关有效地压缩电流脉冲宽度，对激励电路中的闸流管起到保护作用。

准分子激光器中磁脉冲压缩技术的研究

本文从实用准分子激光放电要求出发，研究了适用于准分子激光器的磁脉冲压缩器，分析了其工作过程，并对其设计构思、设计参数进行了分析和计算。

ROGOWSKI线圈在磁脉冲压缩准分子激光器中的应用

介绍了磁脉冲压缩器在准分子激光器中的基本工作原理、磁性材料的计算公式和磁脉冲压缩器的参数结构设计,给出了使用了磁脉冲压缩器的准分子激光器的放电过程,并且使用自制的ROGOWSKI线圈测量了不同放电电压时的实际放电过程中的闸流管的脉冲电流波形,还测量了不同放电回路电感Lo时的通过闸流管的脉冲电流波形和激光输出能量。在此次实验中,通过分析所得到的放电波形,磁脉冲压缩器的作用得到了证实,测量结果与原理有着很好的一致性。本实验为放电回路的优化设计提供了有效的依据。

磁脉冲压缩开关在钛宝石激光器中的应用分析

首次提出了将磁脉冲压缩开关应用于钛宝石激光器中,由磁脉冲压缩开关和闸流管组合作为放电开关。给出了一种新型的灯泵钛宝石激光器电源放电电路,并对磁脉冲压缩开关应用的原理及在激光器激励电路中的工作过程进行了分析。

全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用

简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求。简述了高压脉冲电源的基本原理及应用,介绍了全固态高压脉冲电源的结构和特点。着重阐述了全固态高压脉冲电源在光刻用准分子激光器和EUV光源中的应用。大功率半导体开关结合多级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源有效替代传统基于闸流管的高压脉冲电源,实现了光刻光源高重复频率下的长寿命运行。介绍了中国科学院安徽光学精密机械研究所近十年来,在准分子激光器的全固态高压脉冲电源研究上的相关进展。最后,对未来半导体光刻光源对全固态脉冲电源的需求进行了展望。

The study and new progress in the high power copper vapor laser

The design parameters of A 100_W copper vapor laser were demonstrated by analyzing and calculating its major parameters such as the size of the discharge tube, the input electrical power and the width of the thermal insulator. The maximum output power 112_W and 1% efficiency were achieved recently. The performances of the 100_W copper vapor laser needed to improve are discussed.

磁脉冲压缩器在卤化铜激光器上的应用

在卤化铜激光器脉冲放电电源系统中 ,为减轻闸流管的工作负担并同时保证电路的快放电激励 ,采用了单级磁脉冲压缩器 .分析了磁脉冲压缩器的工作机理 。

用双闸流管运行的高功率铜蒸气激光器电源的研究

介绍了采用双闸流管作主放电开关的高功率铜蒸气激光器电源的原理、实验和结果。输入电源的功率达到10kW，输出激光平均功率最高达到100W，国产闸流管可以有效、正常地工作。