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石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感的研究
被引量:
1
1
作者
赵龙章
梁荣庆
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z1期305-306,308,共3页
本文提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成 Ti N薄膜 ,研究了 Ti
关键词
磁控溅射
石英晶体
频率偏离
下载PDF
职称材料
基于磁控溅射的石英谐振器升频微调技术
2
作者
杨秀涛
张骏淋
+2 位作者
周彪
王文武
曾广根
《压电与声光》
CAS
北大核心
2021年第2期248-253,共6页
石英晶体谐振器(QCR)是现代电子行业领域中一种不可缺少的电子元器件。通过计算并沉积不同形状及厚度的电极在具有某一基准频率的石英晶片上,即可得到所需目标频率。受镀膜设备、掩膜板、晶体尺寸及镀膜位置等因素的影响,很难精确地一...
石英晶体谐振器(QCR)是现代电子行业领域中一种不可缺少的电子元器件。通过计算并沉积不同形状及厚度的电极在具有某一基准频率的石英晶片上,即可得到所需目标频率。受镀膜设备、掩膜板、晶体尺寸及镀膜位置等因素的影响,很难精确地一次性得到目标频率,特别是对于批量生产的石英谐振器,要获得一致性很好的频率更难,因此,后期的频率微调很重要。频率微调法包括物理法和化学法,一般通过改变石英晶片或电极的质量来实现升频或降频。该文首先综述了激光刻蚀和离子束刻蚀物理法升频技术,然后结合相关技术的发展,在论证可行性的基础上,创新性地提出使用磁控溅射技术进行升频微调,并建立了理论模型。
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关键词
电极
磁控溅射
升频微调
石英晶体谐振器
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职称材料
石英晶体表面溅射成膜及频率偏离特性的研究
被引量:
1
3
作者
赵龙章
《真空》
CAS
北大核心
2003年第1期25-28,共4页
提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成 Ti N薄膜 ,研究了 Ti N薄膜的性能及其频率偏离特性。对生物检疫和液体粘度等动态测定有广阔的应用前景。
关键词
石英晶体
表面溅射成膜
频率偏离特性
氮化钛薄膜
磁控溅射
下载PDF
职称材料
题名
石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感的研究
被引量:
1
1
作者
赵龙章
梁荣庆
机构
扬州大学
中国科学院等离子体物理研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z1期305-306,308,共3页
文摘
本文提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成 Ti N薄膜 ,研究了 Ti
关键词
磁控溅射
石英晶体
频率偏离
Keywords
magnetron sputtering quartz crystal frequency devia tion
分类号
TP21 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
基于磁控溅射的石英谐振器升频微调技术
2
作者
杨秀涛
张骏淋
周彪
王文武
曾广根
机构
四川大学材料科学与工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2021年第2期248-253,共6页
基金
四川大学-泸州市人民政府战略合作基金资助项目(2019CDLZ-15)
2020年四川大学实验技术基金资助项目(重点项目2020-8)
+2 种基金
四川省人社厅留学回国人员科技活动基金资助项目(201814502)
四川省2018-2020年高等教育人才培养质量和教学改革基金资助项目(JG2018-44)
中央高校基本科研业务费专项基金资助项目。
文摘
石英晶体谐振器(QCR)是现代电子行业领域中一种不可缺少的电子元器件。通过计算并沉积不同形状及厚度的电极在具有某一基准频率的石英晶片上,即可得到所需目标频率。受镀膜设备、掩膜板、晶体尺寸及镀膜位置等因素的影响,很难精确地一次性得到目标频率,特别是对于批量生产的石英谐振器,要获得一致性很好的频率更难,因此,后期的频率微调很重要。频率微调法包括物理法和化学法,一般通过改变石英晶片或电极的质量来实现升频或降频。该文首先综述了激光刻蚀和离子束刻蚀物理法升频技术,然后结合相关技术的发展,在论证可行性的基础上,创新性地提出使用磁控溅射技术进行升频微调,并建立了理论模型。
关键词
电极
磁控溅射
升频微调
石英晶体谐振器
Keywords
electrode
magnetron
sputtering
trimming
frequency
upward
quartz
crystal
resonator
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TM22 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
石英晶体表面溅射成膜及频率偏离特性的研究
被引量:
1
3
作者
赵龙章
机构
扬州大学
出处
《真空》
CAS
北大核心
2003年第1期25-28,共4页
文摘
提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成 Ti N薄膜 ,研究了 Ti N薄膜的性能及其频率偏离特性。对生物检疫和液体粘度等动态测定有广阔的应用前景。
关键词
石英晶体
表面溅射成膜
频率偏离特性
氮化钛薄膜
磁控溅射
Keywords
magnetron
sputtering
quartz
crystal
frequency
devia
tion
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感的研究
赵龙章
梁荣庆
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
下载PDF
职称材料
2
基于磁控溅射的石英谐振器升频微调技术
杨秀涛
张骏淋
周彪
王文武
曾广根
《压电与声光》
CAS
北大核心
2021
0
下载PDF
职称材料
3
石英晶体表面溅射成膜及频率偏离特性的研究
赵龙章
《真空》
CAS
北大核心
2003
1
下载PDF
职称材料
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