空间电池用锗抛光片的Marangoni干燥技术

作为空间化合物太阳电池的主要衬底材料,锗抛光片对表面质量要求较高。锗片干燥阶段,采用清洁、高效的Marangoni干燥技术可避免采用传统甩干技术造成的锗片表面沾污和边缘损伤。然而锗片在Marangoni干燥过程中易产生干燥缺陷。本文分析了干燥过程中缺陷产生的原因,研究了主要影响表面质量的提拉速率和氮气吹扫时间,认为锗片Marangoni干燥应采用较慢的提拉速率和适中的氮气吹扫时间,以减少表面和边缘干燥缺陷的产生。对经过Marangoni干燥的锗片进行表面雾值分析和外延生长验证,锗片经过Marangoni干燥表面未发生变化。实验结果表明,Marangoni干燥技术可用于干燥锗抛光片。

MARANGONI干燥技术

简要介绍了一种新颖的超清洁的MARANGONI干燥技术的基本原理和干燥机理;简述了MARANGONI干燥的模拟和应用研究现状。

晶片干燥技术在高洁净湿法清洗设备中的应用

干燥的目的是去除晶片表面的液体,保证晶片的洁净度。干燥技术作为湿法清洗最后的步骤,最终决定了晶片清洗的表面质量。分别探讨了离心甩干干燥单元、IR干燥、Marangoni干燥等技术,同时介绍了各自的优缺点,这些技术在高洁净湿法批处理清洗设备中都有非常广泛的应用。