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气源流量对所制备Me-DLC膜性能的影响
1
作者
聂君兰
谷坤明
+2 位作者
汤皎宁
麦达宇
樊璠
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
2008年第1期34-37,共4页
介绍了一种新型的DLC膜制备方法——ECR(电子回旋共振)微波等离子体气相沉积结合磁控溅射的方法。采用该法通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiN/TiN(N,C)中间层结构的碳薄膜。研究了制备时不同气源流量对薄膜的表...
介绍了一种新型的DLC膜制备方法——ECR(电子回旋共振)微波等离子体气相沉积结合磁控溅射的方法。采用该法通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiN/TiN(N,C)中间层结构的碳薄膜。研究了制备时不同气源流量对薄膜的表面形貌、硬度、摩擦磨损性能、表面能等的影响。
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关键词
me-dlc膜
ECR溅射镀
膜
磁控溅射
气源流量
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职称材料
Me-DLC膜的开发
被引量:
1
2
作者
蔡千华
《国外金属热处理》
2003年第6期44-47,共4页
关键词
me-dlc膜
表面改性
镀
膜
阴极溅镀
成
膜
工艺
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职称材料
题名
气源流量对所制备Me-DLC膜性能的影响
1
作者
聂君兰
谷坤明
汤皎宁
麦达宇
樊璠
机构
深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室
出处
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
2008年第1期34-37,共4页
基金
深圳市科技计划项目(QK200601)
文摘
介绍了一种新型的DLC膜制备方法——ECR(电子回旋共振)微波等离子体气相沉积结合磁控溅射的方法。采用该法通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiN/TiN(N,C)中间层结构的碳薄膜。研究了制备时不同气源流量对薄膜的表面形貌、硬度、摩擦磨损性能、表面能等的影响。
关键词
me-dlc膜
ECR溅射镀
膜
磁控溅射
气源流量
Keywords
me-dlc
film
ECR sputtering plating film
magnetron sputtering
as flowrate
分类号
TB381 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
Me-DLC膜的开发
被引量:
1
2
作者
蔡千华
机构
上海场中路
出处
《国外金属热处理》
2003年第6期44-47,共4页
关键词
me-dlc膜
表面改性
镀
膜
阴极溅镀
成
膜
工艺
分类号
TB44 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
气源流量对所制备Me-DLC膜性能的影响
聂君兰
谷坤明
汤皎宁
麦达宇
樊璠
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
2008
0
下载PDF
职称材料
2
Me-DLC膜的开发
蔡千华
《国外金属热处理》
2003
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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