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Investigation on the Tribology of Co Implanted Stainless Steel Using Metal Vapor Vacuum Arc Ion Source
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作者 Junxia GUO Xun CAI Qiulong CHEN Key Lab for High Temperature Materials and Testing, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200030, China 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第3期265-268,共4页
AISI 304 stainless steel was ion implanted with Co, and the tribological property on the surface of the stainless steelwas investigated. The Co ion implantation was carried out using a metal vapor vacuum arc (Mevva) b... AISI 304 stainless steel was ion implanted with Co, and the tribological property on the surface of the stainless steelwas investigated. The Co ion implantation was carried out using a metal vapor vacuum arc (Mevva) broad-beam ionsource with an extraction voltage of 40 kV, implantation doses of 3×10^(17)/cm^2 and 5×10^(17)/cm^2, and ion currentdensities of 13, 22 and 32μA/cm^2. The results showed that the near-surface hardness of Co-implanted stainless steelsample was increased by 50% or more, and it increased with increasing ion current density at first and then declined.The friction coefficient decreased from 0.74 to 0.20 after Co implantation. The wear rate after Co implantationreduced by 25% or more as compared to the unimplanted sample. The wear rate initially decreased with increasingion current density and then an increase was observed. Within the range of experimental parameters, there existsa critical ion current density for the Co-implanted stainless steel, at which the wear rate decreased with increasingretained dose, going through a minimum and then increased. The critical ion current density in this paper is about22μA/cm^2. 展开更多
关键词 TRIBOLOGY metal vapor vacuum arc COBALT Implanted stainless steel
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3Cr2W8V钢的钽、碳离子束材料改性 被引量:2
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作者 杨建华 张通和 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期54-56,共3页
采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钽、碳离子对 3Cr2W8V钢进行离子注入表面改性研究。钽注入剂量为 3× 10 1 7cm- 2 ,引出电压为 42kV ,平均束流密度为 40 μA·cm- 2 。摩擦磨损试验结果表明 ,钽、碳离子双注入 3Cr2W8... 采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钽、碳离子对 3Cr2W8V钢进行离子注入表面改性研究。钽注入剂量为 3× 10 1 7cm- 2 ,引出电压为 42kV ,平均束流密度为 40 μA·cm- 2 。摩擦磨损试验结果表明 ,钽、碳离子双注入 3Cr2W8V钢能使其耐磨性提高 2 5倍 ,并可大幅度降低其摩擦系数。利用卢瑟福背散射谱 (RBS)测量了离子注入表面的成分 ,借助X射线衍射 (XRD)仪考察了表层的相结构。 展开更多
关键词 3CR2W8V钢 碳离子束 材料 改性 离子注入材料 金属蒸汽真空弧离子源 热挤压 模具
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强束流钽、碳离子双注入H13钢的研究 被引量:2
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作者 杨建华 张通和 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2004年第2期26-29,共4页
选用强碳化物形成元素钽作为金属蒸汽真空弧离子源(metal vapor vacuum arc,简称MEVVA)的阴极,对H13钢进行了钽离子注入表面改性研究。对比了Ta、C离子单注入和Ta、C离子双注入的效果,测量了离子注入表面的成分,考察了注入表面的相结构... 选用强碳化物形成元素钽作为金属蒸汽真空弧离子源(metal vapor vacuum arc,简称MEVVA)的阴极,对H13钢进行了钽离子注入表面改性研究。对比了Ta、C离子单注入和Ta、C离子双注入的效果,测量了离子注入表面的成分,考察了注入表面的相结构。在相同的摩擦磨损试验条件下,测量了摩擦因数和磨损量,研究表明,和未注入Ta、C单离子注入相比,Ta、C离子双注入提高了H13钢的耐磨性并大幅度降低了其表面的摩擦因数。双注入区出现的弥散TaC相是耐磨性提高、摩擦因数降低的主要原因。在试验条件下,对H13钢单注入Ta时未发现TaC的形成。 展开更多
关键词 双注入 金属蒸汽真空弧离子源
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Zn离子对镁合金表面显微形貌及耐蚀性的影响研究 被引量:1
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作者 王晓波 全风美 +2 位作者 李盛和 姜云波 谢志强 《轻合金加工技术》 CAS 北大核心 2013年第7期39-42,53,共5页
用金属离子注入的方法(MEVVA)在AZ31镁合金基底上注入Zn进行表面改性。用金相显微镜、扫描电镜及XPS对试件表面显微形貌及元素分布进行测试,用电化学测试的方法对试件表面的电化学腐蚀特性进行测试。结果表明,在Zn注入剂量较少时,Zn元... 用金属离子注入的方法(MEVVA)在AZ31镁合金基底上注入Zn进行表面改性。用金相显微镜、扫描电镜及XPS对试件表面显微形貌及元素分布进行测试,用电化学测试的方法对试件表面的电化学腐蚀特性进行测试。结果表明,在Zn注入剂量较少时,Zn元素在试件表面分布较为均匀,Zn元素含量超过Zn在镁中的最大固溶度。当Zn注入剂量较大时,会在AZ31镁合金晶界处发生Zn元素富集,使晶界轮廓显现。适量的注Zn有利于提高AZ31镁合金表面的电化学腐蚀性能,但当Zn的注入剂量较大时,由于Zn在AZ31镁合金晶界处的富集使其电化学腐蚀性能有所下降。 展开更多
关键词 金属离子注入(MEVVA) 显微形貌 耐蚀性
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真空金属蒸气电弧作用下阴极表面蚀坑形成过程 被引量:11
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作者 付思 曹云东 +2 位作者 李静 刘树鑫 韩颖 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期843-851,共9页
真空金属蒸气电弧作用下阴极表面热流密度和压力的不同时空分布情况,影响阴极表面蚀坑形成过程。结合阴极表面蚀坑形成过程中表面张力和马朗戈尼效应共同影响,建立考虑固、液、气态相变过程的二维轴对称流体动力学瞬态模型,描述阴极表面... 真空金属蒸气电弧作用下阴极表面热流密度和压力的不同时空分布情况,影响阴极表面蚀坑形成过程。结合阴极表面蚀坑形成过程中表面张力和马朗戈尼效应共同影响,建立考虑固、液、气态相变过程的二维轴对称流体动力学瞬态模型,描述阴极表面"火山口"形成的热力学行为,获得阴极最初喷射蒸气的表面结构和时间。阴极熔池相变过程中,熔融金属熔池中心形变和温度梯度较大,熔池流动由表面张力和马朗戈尼效应共同驱动,将熔坑中心热量转移至边缘,在蚀坑边缘,表面张力为熔池流动的主要驱动力。温度上升至临界温度,出现新的喷射爆炸点,"火山口"表面形成金属蒸气密度为10^25m^-3的覆盖层,密度分布与阴极蚀坑形状有关;增加热流密度、减小外部压力或增大作用半径,阴极表面覆盖层出现时间提前来到,蚀坑形状各异;当作用半径过小时,注入能量低,阴极斑点形成过程中蚀坑底部厚,半径小,蚀坑附近未产生金属蒸气覆盖层。 展开更多
关键词 真空电弧 阴极 熔池 蚀坑 金属蒸气
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制备工艺对自支撑薄膜粗糙度的影响
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作者 郑瑞廷 高凤菊 +1 位作者 郁静 程国安 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期938-943,共6页
利用磁过滤等离子沉积技术,以甜菜碱、油酸钾、抛光NaCl单晶基片、自支撑火棉胶膜和自支撑SiN薄膜为衬底制备了自支撑Ni膜。采用原子力显微镜和场发射扫描电子显微镜对薄膜表面形态和粗糙度进行了分析。结果表明:自支撑Ni膜的粗糙度与... 利用磁过滤等离子沉积技术,以甜菜碱、油酸钾、抛光NaCl单晶基片、自支撑火棉胶膜和自支撑SiN薄膜为衬底制备了自支撑Ni膜。采用原子力显微镜和场发射扫描电子显微镜对薄膜表面形态和粗糙度进行了分析。结果表明:自支撑Ni膜的粗糙度与衬底材料密切相关,等离子体的沉积角度直接影响纳米薄膜的徽观结构,采用60°倾斜沉积在自支撑火棉胶膜衬底上,可获得表面粗糙度为1.5nm的自支撑Ni膜。 展开更多
关键词 磁过滤等离子沉积 自支撑薄膜 表面粗糙度
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V^+离子注入制备可见光灵敏TiO_2光催化薄膜 被引量:1
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作者 郝凤欢 侯兴刚 +3 位作者 顾雪楠 樊斌 吴先映 刘安东 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期492-495,共4页
利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源离子注入机在溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜上注入V+.薄膜表面的形态和结构分别用扫描电子显微镜(SEM)和X光衍射仪(XRD)进行了研究.通过紫外可见光漫反射谱仪(UV-Vis)测量了注入和退火后薄膜吸收光谱的扩展.在... 利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源离子注入机在溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜上注入V+.薄膜表面的形态和结构分别用扫描电子显微镜(SEM)和X光衍射仪(XRD)进行了研究.通过紫外可见光漫反射谱仪(UV-Vis)测量了注入和退火后薄膜吸收光谱的扩展.在波长λ>400 nm辐照下,甲基橙(MO)水溶液中的光催化实验证明,这种薄膜具备可见光波段的催化能力.这种催化效果在V+注量为1×1016cm-2时最好. 展开更多
关键词 TIO2光催化剂 MEVVA源 V^+注入 可见光灵敏
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碳化钨-钴合金表面钽离子注入的研究
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作者 宋俊 李聪 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2019年第19期1029-1034,共6页
在真空和通入氮气两种气氛下,通过MEVVA(金属蒸汽真空弧)源离子注入,在WC–Co合金(YG8)表面制备了钽涂层.分别利用光学显微镜、X射线衍射仪(XRD)和电化学极化曲线测量技术对其表面形貌、相结构和耐蚀性进行了表征.结果发现:钽离子注入&q... 在真空和通入氮气两种气氛下,通过MEVVA(金属蒸汽真空弧)源离子注入,在WC–Co合金(YG8)表面制备了钽涂层.分别利用光学显微镜、X射线衍射仪(XRD)和电化学极化曲线测量技术对其表面形貌、相结构和耐蚀性进行了表征.结果发现:钽离子注入"修复"了基体表面的缺陷,使其变得平整光滑.在氮气气氛下进行离子注入,除了生成Ta2O5、Ta1.1O1.05和一些碳化物外,还有TaN0.43和W3N4两种氮化物新相.钽离子注入后,YG8合金在3.5%NaCl溶液中的腐蚀速率大幅降低,但随着钽离子注入剂量增大,耐蚀性下降.相比于真空注入环境,氮气氛围下Ta离子注入所得涂层的耐蚀性更好. 展开更多
关键词 碳化钨-钴硬质合金 金属蒸汽真空弧源 离子注入 氮气 相结构 耐蚀性
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基于金属蒸汽沉积影响的真空触发开关的工作性能研究 被引量:1
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作者 周正阳 赵良 孙维真 《真空》 CAS 2017年第6期58-62,共5页
真空触发开关(triggered vacuum switch,TVS)结合了三电极火花隙技术,以真空为灭弧和绝缘介质,具有通流能力强、体积小、控制简单、环境噪声小等优点。然而上百k A的脉冲电流所产生的真空电弧对TVS工作性能的影响不可避免,特别是基于沿... 真空触发开关(triggered vacuum switch,TVS)结合了三电极火花隙技术,以真空为灭弧和绝缘介质,具有通流能力强、体积小、控制简单、环境噪声小等优点。然而上百k A的脉冲电流所产生的真空电弧对TVS工作性能的影响不可避免,特别是基于沿面击穿产生初始等离子体的触发极。本文分析了影响TVS工作性能的多种因素,包括触发电压电流、主间隙金属蒸汽沉积以及超大电流真空电弧的烧蚀,认为金属蒸汽沉积是影响额定工况下TVS性能的主要因素,同时提出此影响下TVS触发电压、触发时延等性能参数的变化趋势。 展开更多
关键词 真空触发开关 金属蒸汽沉积 真空电弧 触发电压
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用掩蔽注入法研究钛注入H13钢的耐磨性 被引量:2
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作者 杨建华 张通和 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期3823-3828,共6页
采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钛、碳离子对H13钢进行表面改性研究 .钛和碳离子注入剂量分别为 3× 10 1 7和 1× 10 1 7cm- 2 ,引出电压分别为 4 8和 30kV ,平均束流密度分别为 4 7和 2 0 μA·cm- 2 .为了保持... 采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钛、碳离子对H13钢进行表面改性研究 .钛和碳离子注入剂量分别为 3× 10 1 7和 1× 10 1 7cm- 2 ,引出电压分别为 4 8和 30kV ,平均束流密度分别为 4 7和 2 0 μA·cm- 2 .为了保持相同的摩擦磨损实验条件 ,注入过程中采用掩蔽注入技术 .摩擦磨损实验结果表明 ,钛离子注入H13钢提高了其耐磨性 ,并大幅度降低其摩擦系数 .利用卢瑟福背散射谱测量了离子注入表面的成分 ,并采用逐层递推法得出了钛在H13钢中的浓度深度分布 。 展开更多
关键词 H13钢 耐磨性 表面 相结构 背散射 金属 摩擦磨损 束流 掩蔽 递推法
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大束流Co离子注入形成CoSi_2/Si Schottky结的特性
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作者 王燕 田立林 +2 位作者 王玉花 李英 李志坚 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期561-563,568,共4页
采用 Schottky结源漏结构是克服传统 MOSFET器件短沟效应的一种有效方法。不同于常规的固相反应形成硅化物的方法 ,该文利用金属蒸汽真空弧 (MEVVA)离子源进行强流金属离子注入合成了金属硅化物 Co Si2 ,并首次对其与 Si所形成的 Schot... 采用 Schottky结源漏结构是克服传统 MOSFET器件短沟效应的一种有效方法。不同于常规的固相反应形成硅化物的方法 ,该文利用金属蒸汽真空弧 (MEVVA)离子源进行强流金属离子注入合成了金属硅化物 Co Si2 ,并首次对其与 Si所形成的 Schottky结特性进行了研究。结果表明85 0℃退火 1m in后已形成 Co Si2 硅化物晶相 ,且结深易于控制。电流特性表明 p型衬底得到了较好的 Schottky结 ,势垒高度为 0 .4 8e V,理想因子为 1.0 9,而 n型衬底形成的Schottky结的理想因子偏大 。 展开更多
关键词 Schottky结 COSI2 金属硅化物 金属蒸汽真空弧 钴离子注入 MOSFET器件
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