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脉冲准分子激光沉积Mg/Ag掺杂薄膜 被引量：1
1
作者 胡少六 江超 王又青 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期68-69,共2页
基于梯度掺杂功能薄膜材料在工业应用中的需要、通过金属掺杂对新材料改性研究的需要 ,用单束激光交替作用于两相异靶材 ,制备了Mg Ag组分比为 0 .
关键词 梯度掺杂功能薄膜 金属掺杂 mg/ag掺杂 单束激光交替沉积
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