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利用MOCVD在Si衬底上制备立方相Mg_(0.25)Zn_(0.75)O薄膜及日盲探测器
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作者 王立昆 单崇新 +1 位作者 申德振 张振中 《河北科技师范学院学报》 CAS 2014年第4期36-39,共4页
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在Si衬底上实现了立方结构的Mg0.25Zn0.75O薄膜生长。在此基础上,实现了Mg0.25Zn0.75O/n-Si异质结型日盲紫外探测器。该探测器在-5 V偏压下,器件暗电流为0.02 m A。在0 V偏压下的峰值响应位于大约28... 采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在Si衬底上实现了立方结构的Mg0.25Zn0.75O薄膜生长。在此基础上,实现了Mg0.25Zn0.75O/n-Si异质结型日盲紫外探测器。该探测器在-5 V偏压下,器件暗电流为0.02 m A。在0 V偏压下的峰值响应位于大约280 nm处,响应度为1.2 m A/W。 展开更多
关键词 立方相mg0.25zn0.75o 日盲探测器 金属有机气相沉积
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Electronic structures and optical properties of Ⅲ_A-doped wurtzite Mg_(0.25)Zn_(0.75)O
2
作者 郑树文 何苗 +1 位作者 李述体 章勇 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第8期430-435,共6页
The energy band structures, density of states, and optical properties of IliA-doped wurtzite Mg0.25Zn0.75O (IIIA= A1, Ga, In) are investigated by a first-principles method based on the density functional theory. The... The energy band structures, density of states, and optical properties of IliA-doped wurtzite Mg0.25Zn0.75O (IIIA= A1, Ga, In) are investigated by a first-principles method based on the density functional theory. The calculated results show that the optical bandgaps of Mg0.25Zn0.75O:IIIA are larger than those of Mg0.25Zn0.75O because of the Burstein-Moss effect and the bandgap renormalization effect. The electron effective mass values of Mg0.25Zn0.75O:IIIA are heavier than those of Mgo.25Zno.750, which is in agreement with the previous experimental result. The formation energies of MgZnO:Al and MgZnO:Ga are smaller than that of MgZnO:In, while their optical bandgaps are larger, so MgZnO:Al and MgZnO:Ga are suitable to be fabricated and used as transparent conductive oxide films in the ultra-violet (UV) and deep UV optoelectronic devices. 展开更多
关键词 FIRST-PRINCIPLES mg0.25zn0.75o electronic structure optical bandgap
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Si(100)衬底上Mg_(0.33)Zn_(0.67)O薄膜的结构及光学性能 被引量:2
3
作者 刘全生 张希艳 +6 位作者 王玉霞 卢利平 孙海鹰 王晓春 柏朝晖 王能利 米晓云 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期67-70,共4页
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了Mg_(0.33)Zn_(0.67)O薄膜,研究了Mg_(0.33)Zn_(0.67)O薄膜的结构和光学性能。结果表明,Si(100)衬底上Mg_(0.33)Zn_(0.67)O薄膜呈六方纤锌矿结构,薄膜沿c方向取向生长,且c轴方向晶格增大0.03 nm... 采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了Mg_(0.33)Zn_(0.67)O薄膜,研究了Mg_(0.33)Zn_(0.67)O薄膜的结构和光学性能。结果表明,Si(100)衬底上Mg_(0.33)Zn_(0.67)O薄膜呈六方纤锌矿结构,薄膜沿c方向取向生长,且c轴方向晶格增大0.03 nm。薄膜呈现优异的半导体特性,激子吸收峰位于297 nm,禁带宽度约为4.3 eV。薄膜平均粒径约为20 nm。薄膜在深紫外激发下的荧光发射位于368 nm。 展开更多
关键词 mg0.33zn0.67o薄膜 射频磁控溅射 硅衬底 紫外发光
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溅射压强和退火气氛对Mg_(0.2)Zn_(0.8)O∶Al紫外透明导电薄膜结构与性能的影响 被引量:1
4
作者 王华 燕红 +2 位作者 许积文 江民红 杨玲 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1526-1530,共5页
以自制Mg0.2Zn0.8O∶Al陶瓷为靶材,采用室温溅射后续退火磁控溅射工艺制备了Mg0.2Zn0.8O∶Al紫外透明导电薄膜。研究了溅射压强和退火气氛对Mg0.2Zn0.8O∶Al薄膜结构和光电性能的影响。结果表明:溅射氩气压强不影响薄膜的相结构,但对薄... 以自制Mg0.2Zn0.8O∶Al陶瓷为靶材,采用室温溅射后续退火磁控溅射工艺制备了Mg0.2Zn0.8O∶Al紫外透明导电薄膜。研究了溅射压强和退火气氛对Mg0.2Zn0.8O∶Al薄膜结构和光电性能的影响。结果表明:溅射氩气压强不影响薄膜的相结构,但对薄膜的取向生长和结晶质量有一定影响;薄膜的方块电阻随溅射压强的增加先大幅减小后有所增大,溅射气压为2.0 Pa时,薄膜的方块电阻最低;不同溅射气压下制备薄膜的透光范围均已扩展到了紫外区域,而且具有85%以上的高透射率,但溅射气压对薄膜的带隙宽度和透光率没有明显影响;室温下溅射制备的薄膜经真空退火处理后其导电性能显著提高,但在空气中退火处理后其导电性能反而有所下降。 展开更多
关键词 mg0.2zn0.8o∶Al 紫外透明导电薄膜 磁控溅射 溅射压强 退火气氛 光电性能
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Si衬底上Mg_(0.3)Zn_(0.7)O薄膜结构及光学性能 被引量:1
5
作者 刘全生 张希艳 +5 位作者 柏朝晖 王能利 王晓春 米晓云 卢利平 孔智艳 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期619-623,共5页
采用溶胶-凝胶旋涂法在Si衬底上制备了Mg0.3Zn0.7O薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见荧光光谱仪和紫外-可见分光光度仪测试了Mg0.3Zn0.7O薄膜的结构和光学性能。结果表明:Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜以六方相ZnO纤锌矿为主... 采用溶胶-凝胶旋涂法在Si衬底上制备了Mg0.3Zn0.7O薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见荧光光谱仪和紫外-可见分光光度仪测试了Mg0.3Zn0.7O薄膜的结构和光学性能。结果表明:Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜以六方相ZnO纤锌矿为主,存在少部分立方相MgO,薄膜均匀,平均粒径约为40nm。吸收光谱中吸收边位于313nm,相应的带隙为3.96eV。发光光谱是峰值位于421nm的宽带谱,激发光谱范围宽,具有近紫外激发优势。 展开更多
关键词 mg(0.3)zn(0.7)o薄膜 溶胶凝胶法 硅衬底 紫外发光
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溅射功率对Mg_(0.2)Zn_(0.8)O∶Al紫外透明导电薄膜结构与性能的影响
6
作者 王华 燕红 +2 位作者 黄竹 许积文 杨玲 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1317-1322,共6页
以自制Mg0.2Zn0.8O∶Al陶瓷为靶材,采用磁控溅射工艺室温条件下在石英玻璃衬底上制备Mg0.2Zn0.8O∶Al紫外透明导电薄膜。研究溅射功率对Mg0.2Zn0.8O∶Al薄膜结构和光电性能的影响。测试结果表明:溅射功率不会明显影响薄膜中的成分及其浓... 以自制Mg0.2Zn0.8O∶Al陶瓷为靶材,采用磁控溅射工艺室温条件下在石英玻璃衬底上制备Mg0.2Zn0.8O∶Al紫外透明导电薄膜。研究溅射功率对Mg0.2Zn0.8O∶Al薄膜结构和光电性能的影响。测试结果表明:溅射功率不会明显影响薄膜中的成分及其浓度,并与靶材基本吻合;不同溅射功率下Mg0.2Zn0.8O∶Al薄膜均具有非常好的c轴择优取向生长特性,透光区域均扩展到紫外区域,而且随溅射功率从100W增大到200W,薄膜的晶粒有所增大,结晶程度明显提高,电阻率从50Ω·cm降低到不足1Ω·cm,透光率无明显差别,约为89%,带隙宽度略有减小,光吸收边略向长波方向移动,但溅射功率达到250W以后,薄膜质量有所下降,粗糙度增大,电阻率略有回升,透光率有所降低。 展开更多
关键词 紫外透明导电薄膜mg0 2zn0 8o A1磁控溅射 溅射功率 光电性能
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衬底温度对Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜结构及光学性能的影响
7
作者 郭瑞 李东临 +2 位作者 王怡 武光明 邢光建 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2010年第2期373-375,380,共4页
利用射频磁控溅射技术在不同温度的(100)Si和玻璃衬底上成功地制备了c轴择优取向的Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜。通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、紫外可见光分光光度计和光致发光谱研究了衬底温度对Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜结构... 利用射频磁控溅射技术在不同温度的(100)Si和玻璃衬底上成功地制备了c轴择优取向的Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜。通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、紫外可见光分光光度计和光致发光谱研究了衬底温度对Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜结构、表面形貌和光学性能的影响,结果表明,在衬底温度为400℃时生长的Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜具有很好的c轴取向和较好的光学性能。用激发波长为300nm的氙灯作为激发光源得到不同衬底温度下Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜的室温PL谱。分析表明,紫外发光峰与薄膜的结晶质量密切相关,蓝光发射与氧空位有关。简单探讨了衬底温度影响紫外光致发光峰红移和蓝移的可能机理。 展开更多
关键词 mg0.1zn0.9o薄膜 射频磁控溅射 衬底温度 光致发光(PL)谱
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LMBE法生长Mg_(0.2)Zn_(0.8)O及MSM型紫外探测器的制备
8
作者 毕臻 张景文 +3 位作者 边旭明 王东 张新安 侯洵 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1242-1247,共6页
采用激光分子束外延(LMBE)方法在蓝宝石(0001)面生长了高质量的Mg0.2Zn0.8O薄膜,并对薄膜在空气中900℃进行了1h的退火处理,然后采用剥离方法在薄膜表面制作了Al叉指电极,制备出MSM型Mg0.2Zn0.8O光电导紫外探测器.对响应时间的测试表明... 采用激光分子束外延(LMBE)方法在蓝宝石(0001)面生长了高质量的Mg0.2Zn0.8O薄膜,并对薄膜在空气中900℃进行了1h的退火处理,然后采用剥离方法在薄膜表面制作了Al叉指电极,制备出MSM型Mg0.2Zn0.8O光电导紫外探测器.对响应时间的测试表明,探测器的上升时间仅为14.3ns,下降时间为6.5μs. 展开更多
关键词 mg0.2zn0.8o薄膜 紫外探测器 响应时间
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衬底温度对电子束反应蒸发生长的ZnxCo1-xO薄膜性能的影响
9
作者 刘谱成 邱东江 +3 位作者 施红军 蒋银土 顾智企 吴惠桢 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A03期1014-1017,共4页
采用电子束反应蒸发法生长ZnxCo1-xO薄膜。通过X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、光致荧光光谱(PL)、室温M-H曲线等测量研究衬底温度对Zn0∞C00-250薄膜微结构及光学、磁学特性的影响。结果表明,250~350℃温度范围内生长的Zn0.75Co... 采用电子束反应蒸发法生长ZnxCo1-xO薄膜。通过X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、光致荧光光谱(PL)、室温M-H曲线等测量研究衬底温度对Zn0∞C00-250薄膜微结构及光学、磁学特性的影响。结果表明,250~350℃温度范围内生长的Zn0.75Co0.25O薄膜具有单一的纤锌矿结构,但当温度超过400℃时产生CoO杂相偏析。在300或350℃衬底温度下生长Zn0.75Co0.25O薄膜具有室温铁磁性,PL测量结果表明Zn0.75Co0.25O薄膜的室温铁磁性很可能起源于氧空位缺陷诱导的自旋劈裂杂质带机制.而250℃生长Zn0.75Co0.25O薄膜在室温下呈现超顺磁性,超顺磁性的产生是Zn0.75Co0.25O晶粒的小尺寸效应所导致。 展开更多
关键词 zn0.75Co0.25o薄膜 微结构 光学特性 磁特性
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石英玻璃衬底上纤锌矿Mg_(0.25)Zn_(0.75)O薄膜的结构及光学性能 被引量:5
10
作者 刘全生 张希艳 +5 位作者 王能利 王晓春 柏朝晖 米晓云 卢利平 袁东方 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期7885-7890,共6页
MgxZn1-xO材料是一种新型光电功能材料.采用溶胶凝胶法在石英玻璃上制备了Mg0.25Zn0.75O薄膜,理论结合实验研究了Mg0.25Zn0.75O薄膜的结构和光学性能.研究表明,石英玻璃衬底上Mg0.25Zn0.75O薄膜呈六方纤锌矿结构,薄膜均匀,平均粒径约为2... MgxZn1-xO材料是一种新型光电功能材料.采用溶胶凝胶法在石英玻璃上制备了Mg0.25Zn0.75O薄膜,理论结合实验研究了Mg0.25Zn0.75O薄膜的结构和光学性能.研究表明,石英玻璃衬底上Mg0.25Zn0.75O薄膜呈六方纤锌矿结构,薄膜均匀,平均粒径约为20nm.吸收光谱表明吸收带边始于360nm,相应的禁带宽度为3.83eV.发光光谱包含三个发射峰,分别位于384.9nm(3.23eV),444.8nm(2.79eV)和533.6nm(2.32eV),激发光谱峰位于378nm.由于Mg离子的间隙缺陷导致Mg0.25Zn0.75O薄膜晶格增大,禁带宽度变宽,紫外、蓝光和绿光发射分别红移59,14和12.6nm. 展开更多
关键词 mg0.25zn0.75o薄膜 溶胶凝胶法 石英玻璃衬底 紫外发光
原文传递
衬底温度对PLD法生长的Mg_(0·05)Zn_(0·95)O薄膜结构和发光特性的影响 被引量:9
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作者 吴小丽 陈长乐 +3 位作者 韩立安 罗炳成 高国棉 朱建华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期3735-3739,共5页
用脉冲激光沉积(PLD)法在不同温度的Si(111)衬底上成功制备了c轴择优取向的Mg0·05Zn0·95O薄膜.通过X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)研究了衬底温度对Mg0·05Zn0·95O薄膜结构和发光特性的影响,探讨了薄膜的结晶质量... 用脉冲激光沉积(PLD)法在不同温度的Si(111)衬底上成功制备了c轴择优取向的Mg0·05Zn0·95O薄膜.通过X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)研究了衬底温度对Mg0·05Zn0·95O薄膜结构和发光特性的影响,探讨了薄膜的结晶质量与发光特性之间的关系.结果表明,在衬底温度为450℃时生长的Mg0·05Zn0·95O薄膜具有很好的c轴取向和较强的光致发光峰.室温下分别用激发波长为240,300和325nm的氙灯作为激发光源得到不同样品的PL谱,分析表明紫外发光峰和紫峰来源于自由激子的复合辐射且发光强度与薄膜的结晶质量密切相关,蓝绿发光峰与氧空位有关.此外,探讨了衬底温度影响紫外光致发光峰红移和蓝移的可能机理. 展开更多
关键词 mg0·05zn0·95o薄膜 PLD 衬底温度 光致发光
原文传递
衬底温度对Zn_(0.85)Mg_(0.13)Al_(0.02O)薄膜结构和发光特性的影响
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作者 潘峰 陈长乐 +4 位作者 文军 金克新 罗炳成 韩立安 陈钊 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期447-451,共5页
采用射频磁控溅射方法,在Si(111)基片上制备出Zn0.85Mg0.13Al0.02O薄膜。X射线衍射(XRD)证实Zn0.85Mg0.13Al0.02O薄膜为单相六角钎锌矿结构,衬底温度从室温升高到500℃,薄膜沿c轴择优生长。原子力显微镜(AFM)测量显示薄膜表面粗糙度随... 采用射频磁控溅射方法,在Si(111)基片上制备出Zn0.85Mg0.13Al0.02O薄膜。X射线衍射(XRD)证实Zn0.85Mg0.13Al0.02O薄膜为单相六角钎锌矿结构,衬底温度从室温升高到500℃,薄膜沿c轴择优生长。原子力显微镜(AFM)测量显示薄膜表面粗糙度随衬底温度的升高由9.32nm增加到19.94nm。荧光光谱仪(PL)测量显示薄膜在397nm附近有强的紫光发射,在486nm处有弱的蓝光峰,随衬底温度的升高紫峰强度提高15倍。在可见光范围内,薄膜平均透过率随衬底温度的升高由75%增加到95%,薄膜光学带隙分别为3.18,3.18和3.19eV。分析表明紫峰来自于自由激子复合,蓝峰由俘获在施主能级Zn填隙中的电子与俘获在受主能级Zn空位中的空穴复合而产生发光。 展开更多
关键词 zn0.85mg0.13Al0.02o薄膜 衬底温度 结构 光致发光
原文传递
Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜制备和光学性能研究
13
作者 张继德 刘成有 +4 位作者 董振江 马宏源 张新 秦杰明 蒋大勇 《吉林师范大学学报(自然科学版)》 2012年第2期78-80,84,共4页
采用溶胶-凝胶技术在石英衬底上制备了Mg0.1Zn0.9O薄膜并研究了退火温度对薄膜结构、形貌和光学性能的影响.XRD结果表明,所有薄膜均呈六角钎锌矿结构,当退火温度高于700℃时,薄膜结晶质量变差;AFM结果显示,随退火温度升高,晶粒尺寸增大... 采用溶胶-凝胶技术在石英衬底上制备了Mg0.1Zn0.9O薄膜并研究了退火温度对薄膜结构、形貌和光学性能的影响.XRD结果表明,所有薄膜均呈六角钎锌矿结构,当退火温度高于700℃时,薄膜结晶质量变差;AFM结果显示,随退火温度升高,晶粒尺寸增大,当退火温度高于700℃时,薄膜表面出现团聚颗粒;UV-Vis结果表明,所有薄膜均在紫外区存在较强带边吸收,随退火温度升高吸收边红移;PL谱显示,所有薄膜均存在较强的紫外发射峰,随着退火温度升高,紫外发射峰逐渐红移且在700℃退火处理下紫外发射最强. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 mg0.1zn0.9o薄膜 光学性能
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