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椭偏光谱法研究激光脉冲沉积MgO薄膜材料生长
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作者 张曰理 莫党 +3 位作者 陈晓原 MAKChee-leng WONGKin-hung CHOYChung-loong 《中山大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期18-22,共5页
用激光脉冲沉积技术生长、制备出了一系列不同真空度、不同衬底温度和不同激光脉冲能量的MgO薄膜.对生长、制备出的一系列MgO薄膜进行了椭偏光谱测量研究,在300～800nm光谱波长范围内,得到了不同条件下生长制备的MgO薄膜的光学常数谱和... 用激光脉冲沉积技术生长、制备出了一系列不同真空度、不同衬底温度和不同激光脉冲能量的MgO薄膜.对生长、制备出的一系列MgO薄膜进行了椭偏光谱测量研究,在300～800nm光谱波长范围内,得到了不同条件下生长制备的MgO薄膜的光学常数谱和膜厚,其结果显示:真空度、衬底温度和激光脉冲能量对生长MgO薄膜的折射率、膜厚均有影响,高真空、高衬底温度和适中的激光脉冲能量有利于生长制备高折射率、高密度和高质量的MgO薄膜. 展开更多
关键词 mgo薄膜材料 激光脉冲沉积法 椭偏光谱法 光学常数 膜厚 薄膜生长 铁电薄膜
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