微机械加工微型葡萄糖传感器

用微机械加工技术和微电子平面工艺制备了微型Ｃｌａｒｋ型氧电极。外型尺寸为１５×２×０７ｍｍ３，敏感面积为１×０５ｍｍ２。在敏感区固定葡萄糖氧化酶（ＧＯＤ），构成了微型葡萄糖传感器。传感器的主要性能：灵敏度２２ｎＡ／（ｍｍｏｌ／Ｌ）；响应时间＜１ｍｉｎ，线性范围０１～１０ｍｍｏｌ／Ｌ，变动系数９７％，稳定响应在二十天以上。