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Fabrication of Superhydrophobic Micro Post Array on Aluminum Substrates Using Mask Electrochemical Machining 被引量:4
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作者 Jing Sun Wei Cheng +7 位作者 Jin-Long Song Yao Lu Yan-Kui Sun Liu Huang Xin Liu Zhu-Ji Jin Claire J-Carmalt Ivan P-Parkin 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第4期110-116,共7页
Surfaces with controllable micro structures are significant in fundamental development of superhydrophobicity. However,preparation of superhydrophobic surfaces with array structures on metal substrates is not effectiv... Surfaces with controllable micro structures are significant in fundamental development of superhydrophobicity. However,preparation of superhydrophobic surfaces with array structures on metal substrates is not effective using existing methods. A new method was presented to fabricate super-hydrophobic post arrays on aluminum(Al) substrates using mask electrochemical machining and fluoridation. Electrochemical etching was first applied on Al plates with pre-prepared photoresist arrays to make the post array structures. Surface modification was subsequently applied to reduce the surface energy, followed by interaction with water to realize superhydrophobicity. Simulation and experimental verification were conducted to investigate how machining parameters affect the array structures. Analysis of the water contact angle was implemented to explore the relationship between wettability and micro structures.The results indicate that superhydrophobic surfaces with controllable post structures can be fabricated through this proposed method, producing surfaces with high water static contact angles. 展开更多
关键词 SUPERHYDROPHOBICITY Aluminum substrates Mask electrochemical machining micro post arrays
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An Experimental Study on Electro Chemical Machining of Microelectrode
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作者 张辽远 刘尧 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2006年第3期206-210,共5页
关键词 微电极 化学加工 ecm 物理化学 纳米技术
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镀铬层表面微坑阵列PDMS掩膜电解加工研究
3
作者 刘金玲 张庆良 +1 位作者 张磊 曲宁松 《电加工与模具》 北大核心 2024年第4期33-39,共7页
以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为掩膜的微细电解加工能高效地加工出群微坑阵列,从而改善表面摩擦学性能,提高零件使用寿命,但因电场边缘效应,得到的微坑阵列尺寸均匀性较差。针对这一现象,采用厚层PDMS模板并利用高压静液进行掩膜电解加工,探... 以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为掩膜的微细电解加工能高效地加工出群微坑阵列,从而改善表面摩擦学性能,提高零件使用寿命,但因电场边缘效应,得到的微坑阵列尺寸均匀性较差。针对这一现象,采用厚层PDMS模板并利用高压静液进行掩膜电解加工,探究工艺参数对铬层表面的微坑阵列尺寸与加工精度的影响,并在耐磨的镀铬层表面进行加工以进一步验证铬层表面摩擦学性能,分析微坑尺寸对镀铬层表面摩擦性能的影响。结果表明,在占空比100%、直流电压30 V、加工时间30 s时,可加工出平均直径和深度分别为106.23μm和15.33μm的微坑阵列,在此基础上探究加工的减磨效果,发现不同直径的微坑阵列均在5μm的深度时达到最佳减磨效果。 展开更多
关键词 掩膜电解加工 镀铬层 微坑阵列
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深小孔电解加工阴极侧壁绝缘层制备及试验
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作者 钟紫鹏 苏国康 +2 位作者 李俊飞 王瑞祥 张永俊 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第12期102-109,共8页
航空发动机零部件中存在大量深小孔,不仅孔径小、深径比大,而且要求孔表面没有再铸层,这些特点给孔的加工带来了很多困难。电解加工是一种有效的加工方法,针对大深径比小孔电解加工所用的阴极侧壁绝缘层制备困难,且使用过程中容易损坏... 航空发动机零部件中存在大量深小孔,不仅孔径小、深径比大,而且要求孔表面没有再铸层,这些特点给孔的加工带来了很多困难。电解加工是一种有效的加工方法,针对大深径比小孔电解加工所用的阴极侧壁绝缘层制备困难,且使用过程中容易损坏的问题,尝试了多种材料、多种方式的绝缘层制备方法,并对其在加工过程中的性能稳定性进行了试验研究,最终提出了一种基于弹性石英毛细管的新型多层复合绝缘层制备方法,并借助该方法制作管阴极,在不锈钢材料上成功加工出直径1.1 mm、深径比达181的深小孔。 展开更多
关键词 大深径比小孔 电解加工 侧壁绝缘 弹性石英毛细管 不锈钢
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基于多孔喷嘴技术的阵列微织构仿真与实验
5
作者 陈朝大 巫少方 +3 位作者 单亮 李康兴 邹宝健 吴思洋 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第4期26-32,共7页
射流电解加工单孔喷嘴系统存在显著不足,不能适用于大规模表面微织构制造,因此提出多孔条形喷嘴加工工艺。利用不受加工结构限制的3D打印技术制作多孔喷嘴模型,搭建射流电解加工实验装置。利用Comsol软件进行流场与电场仿真,以喷嘴到工... 射流电解加工单孔喷嘴系统存在显著不足,不能适用于大规模表面微织构制造,因此提出多孔条形喷嘴加工工艺。利用不受加工结构限制的3D打印技术制作多孔喷嘴模型,搭建射流电解加工实验装置。利用Comsol软件进行流场与电场仿真,以喷嘴到工件表面流速大小和电流密度等为评价依据,对喷嘴腔体内部流道进行优化。研究表明,条形喷嘴结构能够形成形态稳定的射流,对工件实现高效加工。当加工电压为475 V、占空比为70%时,材料去除率达到峰值。 展开更多
关键词 射流电解加工 大规模微制造 多孔条形喷嘴 仿真与实验
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Electrochemical micromachining of micro-dimple arrays on cylindrical inner surfaces using a dry-film photoresist 被引量:15
6
作者 Qu Ningsong Chen Xiaolei +1 位作者 Li Hansong Zeng Yongbin 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第4期1030-1036,共7页
The application of surface textures has been employed to improve the tribological performance of various mechanical components. Various techniques have been used for the application of surface textures such as micro-d... The application of surface textures has been employed to improve the tribological performance of various mechanical components. Various techniques have been used for the application of surface textures such as micro-dimple arrays, but the fabrication of such arrays on cylindrical inner surfaces remains a challenge. In this study, a dry-film photoresist is used as a mask during through-mask electrochemical micromachining to successfully prepare micro-dimple arrays with dimples 94 lm in diameter and 22.7 lm deep on cylindrical inner surfaces, with a machining time of 9 s and an applied voltage of 8 V. The versatility of this method is demonstrated, as are its potential low cost and high efficiency. It is also shown that for a fixed dimple depth, a smaller dimple diameter can be obtained using a combination of lower current density and longer machining time in a passivating sodium nitrate electrolyte. 展开更多
关键词 Dry-film photoresist electrochemical machining electrochemical micromachining Inner surface micro-dimple arrays Texture
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Machining of circular micro holes by electrochemical micro-machining process 被引量:6
7
作者 Alok Kumar Das P. Saha AlokKumarDas·ParthaSaha 《Advances in Manufacturing》 SCIE CAS 2013年第4期314-319,共6页
Machining of micro holes with micro electro- chemical machining (micro ECM) process has been carried out with an indigenously developed set up. This paper describes relevant problems and solutions for the circular m... Machining of micro holes with micro electro- chemical machining (micro ECM) process has been carried out with an indigenously developed set up. This paper describes relevant problems and solutions for the circular micro holes machining process on 304 stainless steel sheets with 60 μm thickness using high speed steel cylindrical tool of diameter 500 ~tm and using dilute I-I2SO4 as elec- trolyte. The taper angle variation of the machined hole is analyzed and reported for different experimental setting parameters. The minimum value of the taper angle of machined holes is achieved at the parameter setting of 0.4 mol/L H2504, 700 kHz, 600 ns and 21 V, for stainless steel sheets and HSS tool. 展开更多
关键词 micro machining - micro ecmmicro-hole ~ electrochemical dissolution ~Short pulse voltage ~ Pulse power supply
原文传递
线阴极滚印式掩膜电解加工微坑阵列试验研究
8
作者 秦歌 李蒙 +6 位作者 李永亮 明平美 张新民 韩磊 闫亮 郑兴帅 牛屾 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期261-269,共9页
目的为了解决现有电解加工技术中难以使用同一装置在多种型面零件表面一次性大面积制备高精度微坑阵列的现状。方法提出一种可用于多种型面零件批量加工微坑阵列的线阴极滚印式掩膜电解加工技术,设计了一种滚筒式掩膜复合线阴极的阴极... 目的为了解决现有电解加工技术中难以使用同一装置在多种型面零件表面一次性大面积制备高精度微坑阵列的现状。方法提出一种可用于多种型面零件批量加工微坑阵列的线阴极滚印式掩膜电解加工技术,设计了一种滚筒式掩膜复合线阴极的阴极工具装置,采用铜丝(直径500μm)作为阴极,图形化的聚氯乙烯(PVC)作为掩膜,在10%NaNO_(3)电解液、0.1 mm极间间隙条件下,在不锈钢304材料工件表面进行电解微坑试验,探究电压、阴极工具旋转速度、阴极尺寸对加工微坑阵列形貌的影响,通过超景深显微镜、扫描电子显微镜以及奥林巴斯显微镜对电解后的工件试样表面进行表面微观形貌观测。结果选用10.5 V的电压、0.2 r/min的旋转速度可在工件表面加工出高精度、高一致性的微坑阵列,其微坑直径分布范围为402.8~440.3μm,深度范围为66.2~74.2μm,微坑粗糙度范围为0.42~0.83μm。与传统的圆环型阴极电解加工结果对比,线阴极电解加工出的微坑阵列直径偏离掩膜孔尺寸小、定域性高。结论使用线阴极滚印式掩膜电解加工方法可在不锈钢304材料工件平面、内圆柱面及外圆柱面制备大批量、高精度、高一致性的微坑阵列。 展开更多
关键词 线阴极 滚印式 掩膜电解加工 多种型面 微坑阵列 定域性
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钛合金疏水表面微坑阵列的掩膜电解加工仿真与分析 被引量:1
9
作者 张宏伟 孟建兵 +5 位作者 周海安 曲凌辉 董小娟 李丽 关庆义 王帅柯 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2023年第1期106-112,共7页
为改善钛合金疏水性能,获得较高的接触角,使用掩膜电解技术对钛合金进行了凹坑阵列表面微织构的加工。首先,建立微坑阵列掩膜电解加工的数学模型并进行多物理场耦合仿真;其次,分析掩膜电解加工参数对微坑阵列的作用,并借助润湿理论模型... 为改善钛合金疏水性能,获得较高的接触角,使用掩膜电解技术对钛合金进行了凹坑阵列表面微织构的加工。首先,建立微坑阵列掩膜电解加工的数学模型并进行多物理场耦合仿真;其次,分析掩膜电解加工参数对微坑阵列的作用,并借助润湿理论模型获得微坑阵列的固-液接触面积比;最后,以该面积比为因变量,以电解质质量分数、电解电压和掩膜尺寸为自变量,进行正交试验仿真和极差分析,获得最佳工艺参数组合。与仿真预测值相比,微坑阵列单元体直径、间距、深度、固-液接触面积比和表面接触角的测量值误差均小于8%,从而表明该方法在未经低表面能材料修饰的情况下,成功制备了接触角约为140°的微坑阵列。 展开更多
关键词 掩膜电解加工 微坑阵列 疏水表面 钛合金 多物理场耦合
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安全滤网阵列网孔激光-电解组合加工 被引量:2
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作者 葛声宏 申继文 曾永彬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期1774-1784,共11页
安全滤网阵列网孔的高效、高品质和高适应性加工至今仍面临重大技术挑战。基于此,提出采用激光-电解组合加工技术制备安全滤网阵列网孔结构。介绍了激光-电解组合加工技术的试验加工系统,探究了工艺参数对微孔形貌质量和加工精度的影响... 安全滤网阵列网孔的高效、高品质和高适应性加工至今仍面临重大技术挑战。基于此,提出采用激光-电解组合加工技术制备安全滤网阵列网孔结构。介绍了激光-电解组合加工技术的试验加工系统,探究了工艺参数对微孔形貌质量和加工精度的影响规律,并开展了安全滤网阵列网孔的制备。试验结果表明:激光加工路径显著影响微孔出口的形貌,采用同心圆轨迹(外径270μm,内径230μm,线间距2.5μm)能够显著改善微孔出口的圆度;激光功率越大、切割速度越小,微孔直径及其热影响区均越来越大;NaNO3-乙二醇溶液作为电解抛光液能够在加工表面形成扩散层发生电解抛光,将激光加工产生的喷溅物和毛刺等缺陷去除;基于优化工艺参数,加工出253个直径0.31 mm的阵列网孔结构,出入口直径方差仅为2.02和1.71,展示出较高的尺寸一致性。激光-电解组合加工技术在薄壁件上高效、高品质制备阵列网孔结构方面具有很强工艺能力和发展潜力。 展开更多
关键词 组合加工 激光加工 电解加工 安全滤网 阵列网孔
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掩膜电解微坑阵列对钛合金表面疏水性能的影响
11
作者 张宏伟 孟建兵 +3 位作者 周海安 董小娟 李丽 曲凌辉 《机床与液压》 北大核心 2023年第2期17-23,共7页
为了提高钛合金表面的疏水性能,采用润湿理论模型与多物理场耦合仿真相结合的方法,建立接触角与掩膜电解加工工艺参数之间的直接映射关系,揭示微坑阵列掩膜电解加工对表面疏水性能的作用。建立接触角与微坑阵列几何尺寸间的表面疏水理... 为了提高钛合金表面的疏水性能,采用润湿理论模型与多物理场耦合仿真相结合的方法,建立接触角与掩膜电解加工工艺参数之间的直接映射关系,揭示微坑阵列掩膜电解加工对表面疏水性能的作用。建立接触角与微坑阵列几何尺寸间的表面疏水理论模型,对掩膜电解加工进行多物理场耦合仿真;理论模型与仿真结果相结合,获得了接触角与掩膜电解加工工艺参数之间的直接映射关系。此外,以表面接触角为因变量,以电解质质量分数、掩膜尺寸和电解电压为自变量,进行正交试验仿真和计算,获得了最佳工艺参数组合并进行试验验证。与仿真计算相比,试验测量得到的微坑阵列直径、间距、深度、表面接触角误差分别为2.49%、6.87%、7.40%、6.01%,从而表明该方法在未经低表面能材料修饰的情况下,成功制备接触角约为141°的微坑阵列疏水表面。 展开更多
关键词 掩膜电解 表面织构 微坑阵列 钛合金 疏水性能
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基于流体动压效应的扫描阴极掩膜电解加工试验
12
作者 王涛 余志强 +2 位作者 王峰 何亚峰 康敏 《电加工与模具》 2023年第5期34-39,53,共7页
针对目前掩膜电解加工深度溶解能力受限问题,以微凹坑阵列为研究对象,提出了基于流体动压效应的扫描阴极掩膜电解加工新方法。利用高流速电解液冲刷微凹坑表面堆积的电解产物,提高深度溶解能力,并且借助扫描阴极射流产生的流体动压效应... 针对目前掩膜电解加工深度溶解能力受限问题,以微凹坑阵列为研究对象,提出了基于流体动压效应的扫描阴极掩膜电解加工新方法。利用高流速电解液冲刷微凹坑表面堆积的电解产物,提高深度溶解能力,并且借助扫描阴极射流产生的流体动压效应使掩膜与工件表面动态贴合,从而简化工艺装置设计。基于加工试验,探讨了不同平底阴极结构和加工参数耦合作用对微凹坑尺寸变化的影响,最终实现直径259.8μm、深度44.1μm和直径418.1μm、深度102.7μm微凹坑阵列的加工,论证了扫描阴极掩膜电解加工方法具有提高深度溶解的能力。 展开更多
关键词 掩膜电解加工 微凹坑阵列 平底阴极 流体动压效应
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磁场对双相Ti-48Al-2Cr-2Nb合金电解加工表面微观形貌的影响
13
作者 隋浩男 林荣联 +2 位作者 马新周 胡纯蓉 廖翠姣 《包装学报》 2023年第2期59-68,77,共11页
为揭示电解加工表面成形规律,建立电-磁-热-流多场耦合微观材料模型,从电流密度分布、粗糙度、微观形貌等几个方面,动态跟踪阳极微观表面成形过程,揭示Ti-48Al-2Cr-2Nb合金在不同磁场条件下,电解加工微观表面的动态演变规律及影响机制,... 为揭示电解加工表面成形规律,建立电-磁-热-流多场耦合微观材料模型,从电流密度分布、粗糙度、微观形貌等几个方面,动态跟踪阳极微观表面成形过程,揭示Ti-48Al-2Cr-2Nb合金在不同磁场条件下,电解加工微观表面的动态演变规律及影响机制,并通过实验验证仿真结果。仿真结果表明:电解加工微观表面成形是一个表面膜生成与溶解的复杂竞争过程,在加工过程中,微观表面反复经历粗化与抛光阶段。无磁场作用时,表面粗糙度为0.121μm,多重分形谱的谱面积为0.0030;有磁场作用时,表面粗糙度为0.118μm,谱面积为0.0023。实验结果证实:无磁场时,表面粗糙度为1.16μm,多重分形谱的谱宽为0.87,谱面积为1.468;有磁场时,表面粗糙度为0.93μm,谱宽为0.84,谱面积为1.388。仿真结果与实验结果吻合,磁场降低了加工表面粗糙度,使表面微观形貌变简单、均匀,同时提高了加工稳定性。 展开更多
关键词 磁场 Ti-48Al-2Cr-2Nb合金 电解加工 微观形貌 动态演变
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微细电化学加工技术 被引量:42
14
作者 朱荻 王明环 +1 位作者 明平美 张朝阳 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2005年第2期151-155,共5页
开展了微细电化学加工技术的试验研究工作,内容包括微细电铸和微细电解加工.讨论了微细电化学加工的工艺特点和主要技术步骤.针对若干典型微结构,提出了相应的微细电化学加工方法和技术方案,采取了纳秒脉宽脉冲电流、电化学微铣削等手段... 开展了微细电化学加工技术的试验研究工作,内容包括微细电铸和微细电解加工.讨论了微细电化学加工的工艺特点和主要技术步骤.针对若干典型微结构,提出了相应的微细电化学加工方法和技术方案,采取了纳秒脉宽脉冲电流、电化学微铣削等手段,结合若干实例进行了加工试验,例如:微缝电解加工、微轴电解加工、微针尖电解加工及微齿轮模具模芯电铸成型等,获得了很好的试验结果.提出的加工方法在金属零件微制造方面有着重要的应用前景. 展开更多
关键词 加工技术 微细电化学加工 电解加工 加工方法 研究工作 主要技术 工艺特点 技术方案 脉冲电流 加工试验 电铸成型 齿轮模具 金属零件 试验结果 微结构 微制造 铣削
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脉冲电解加工技术在精微加工领域中的新发展 被引量:15
15
作者 王建业 张永俊 +1 位作者 余艳青 黄立勋 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期114-119,共6页
介绍了高频、窄脉冲成形加工技术新的研究成果,考察了国外微细加工技术的新发展状况,结果表明:精密窄脉冲电解加工近年来向提高频率、缩短脉宽方向发展;大电流、高频、窄脉冲电流源加工精密复杂型腔、型面的新工艺及新电源已投入模具、... 介绍了高频、窄脉冲成形加工技术新的研究成果,考察了国外微细加工技术的新发展状况,结果表明:精密窄脉冲电解加工近年来向提高频率、缩短脉宽方向发展;大电流、高频、窄脉冲电流源加工精密复杂型腔、型面的新工艺及新电源已投入模具、叶片的试生产中,显示出良好的技术经济效果,成形精度可达0.05mm;近期国外又发展了数百兆赫、数百纳秒级微小电流加工数十微米级零件的微细加工技术,开拓了电解加工用于微细加工的新领域,显示了脉冲电解加工巨大的发展潜势。试验研究表明,随着频率的提高、脉宽的变窄,引起阳极集中蚀除能力进一步加强,加工间隙进一步缩小,最终导致加工精度相应提高。所研制的1000A、20kHz矩形波电流源的脉冲前沿上升时间达微秒级,快速短路保护时间仅为数十微秒级。 展开更多
关键词 电解加工 高频 窄脉冲电流 精密加工 微细加工
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基于电化学加工方法的铝基超疏水表面制备技术研究 被引量:7
16
作者 徐文骥 窦庆乐 +2 位作者 孙晶 宋金龙 庞桂兵 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第19期2354-2359,共6页
鉴于金属铝表面存在微米级的晶界和纳米级的位错,在外加电场和电解液的作用下,晶界位错处因具有更高的位能会使得阳极优先溶解,进而形成微纳米结构相结合的粗糙表面,提出一种新的铝基超疏水表面的电化学制备方法,实验研究了其加工质量... 鉴于金属铝表面存在微米级的晶界和纳米级的位错,在外加电场和电解液的作用下,晶界位错处因具有更高的位能会使得阳极优先溶解,进而形成微纳米结构相结合的粗糙表面,提出一种新的铝基超疏水表面的电化学制备方法,实验研究了其加工质量、加工效率和加工条件之间的关系,结果显示电化学加工方法能够在铝基底上制备出多阶层微/纳米结构,可用作超疏水表面基底。电化学加工比化学刻蚀法有更好的可控性,同时比光刻等方法更经济。所加工表面经过低表面能材料修饰后呈现超疏水的特性,与水滴的接触角达到167°,滚动角小于3°。 展开更多
关键词 电化学加工 超疏水表面 微/纳米结构 晶界 位错
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微螺旋电极在改善微细电解加工性能中的应用 被引量:24
17
作者 王明环 朱荻 徐惠宇 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2006年第3期348-351,共4页
改善电解加工的精度和稳定性是微细电解加工中一个重要的研究课题。本文详细分析了影响电解加工性能的因素,电解液采用混合电解液(NaC lO3+H2SO4),工具电极为带有螺旋槽的微螺旋电极。在微螺旋槽旋转所形成的“微螺杆泵”效应作用下,蚀... 改善电解加工的精度和稳定性是微细电解加工中一个重要的研究课题。本文详细分析了影响电解加工性能的因素,电解液采用混合电解液(NaC lO3+H2SO4),工具电极为带有螺旋槽的微螺旋电极。在微螺旋槽旋转所形成的“微螺杆泵”效应作用下,蚀除加工间隙内的产物,加工效率、加工精度和稳定性得到了极大的提高。 展开更多
关键词 微细电解加工 微螺杆泵 加工精度 加工电极
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振动进给对微尺度群缝电解加工过程的影响 被引量:5
18
作者 赵建社 李龙 +1 位作者 王峰 肖雄 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期44-48,78,共6页
为精确控制振动进给运动,研制了多参数可调的电解加工振动进给装置系统。通过对工具阴极振动进给方式对电解加工间隙内电解产物排出、电解液流场稳定性影响的分析,以剃须刀网罩上的微尺度阵列群缝的电解加工为研究对象开展了系列工艺试... 为精确控制振动进给运动,研制了多参数可调的电解加工振动进给装置系统。通过对工具阴极振动进给方式对电解加工间隙内电解产物排出、电解液流场稳定性影响的分析,以剃须刀网罩上的微尺度阵列群缝的电解加工为研究对象开展了系列工艺试验,研究了振动进给的运动参数对微尺度群缝的平均缝宽、侧壁锥度的影响,据此优选了工艺参数,并成功批量加工出了缝宽为0.26mm、侧壁锥度小于5%的微尺度阵列群缝。试验结果证明,振动进给能够有效提高微尺度群缝的电解加工精度和加工过程稳定性。 展开更多
关键词 电解加工 振动进给 群缝 微尺度 加工精度
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纳秒脉冲微细电化学加工的理论及试验 被引量:24
19
作者 张朝阳 朱荻 王明环 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期208-213,共6页
根据电化学反应原理,探讨纳秒脉冲电化学加工的特点及其实现微细加工的机理。建立纳秒脉冲微细电化学加工的理论模型,并分析电解液浓度、加工间隙、脉冲参数和加工电压等因素对微细电解加工的影响作用。构建微细电化学加工系统,包括微... 根据电化学反应原理,探讨纳秒脉冲电化学加工的特点及其实现微细加工的机理。建立纳秒脉冲微细电化学加工的理论模型,并分析电解液浓度、加工间隙、脉冲参数和加工电压等因素对微细电解加工的影响作用。构建微细电化学加工系统,包括微细加工机床、纳秒脉冲电源、电解液循环系统、运动控制部分和加工检测部分。试验研究了超短脉冲的电压幅值和脉冲宽度对侧面加工间隙的影响,结果表明减小脉冲宽度和降低加工电压可以提高微细电解加工的精度。在自制的微细电化学机床上,实现工具电极和工件微结构的连续加工。将加工间隙控制在5μm以内,加工出中间有20μm×30μm×30μm棱台的微型腔和30μm槽宽的十字形孔,分析加工起始点对成形精度的影响,并提出解决方法。试验证明纳秒脉冲微细电解加工可以很好地满足微机电系统(Micro e1ectro-mechanical system,MEMS)微器件的加工要求。 展开更多
关键词 微细电化学加工 纳秒脉冲 极间间隙 加工精度
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超声电解复合微细加工装置与试验研究 被引量:14
20
作者 朱永伟 王占和 云乃彰 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2008年第8期986-991,共6页
分析微细电解复合超声频振动加工过程机理,提出一种微细加工新方法--超声电解复合微细加工;设计、构造并完善复合微细加工装置;研究微细阴极制作工艺,利用微细组合电加工技术制作各类截面形状的微细阴极;进行超声电解复合微细加工试验,... 分析微细电解复合超声频振动加工过程机理,提出一种微细加工新方法--超声电解复合微细加工;设计、构造并完善复合微细加工装置;研究微细阴极制作工艺,利用微细组合电加工技术制作各类截面形状的微细阴极;进行超声电解复合微细加工试验,验证微细电解复合超声频振动实现微细加工的可行性及其在加工速度、精度、表面质量等方面的技术优势,探讨超声电解复合微细加工制作微结构的工艺规律。 展开更多
关键词 电解加工 超声振动 复合微细加工 微细加工系统
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