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高深宽比微细结构电铸时传质过程数值分析
被引量:
7
1
作者
明平美
朱荻
+1 位作者
胡洋洋
曾永彬
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期195-201,共7页
针对高深宽比微细结构电铸时存在严重传质受限的问题,以微深槽特征为分析对象建立液相传质两种数学模型——维扩散模型和二维对流—扩散模型,并分别用Matlab专用工具箱和Fluent 6.2流体仿真软件进行数值求解,依次分析以扩散、强制对流-...
针对高深宽比微细结构电铸时存在严重传质受限的问题,以微深槽特征为分析对象建立液相传质两种数学模型——维扩散模型和二维对流—扩散模型,并分别用Matlab专用工具箱和Fluent 6.2流体仿真软件进行数值求解,依次分析以扩散、强制对流-扩散、复合对流(强制对流和自然对流)-扩散等为主导传质模式作用下微细电铸时,流场和离子浓度场的空间变化规律及其对液相传质效果的影响,并进行试验验证。结果表明:微细结构电铸时,单一扩散作用仅能用于深宽比小于2且电流密度小于2A/dm^2的液相传质场合;槽外强制对流只能对深宽比小于2的微槽内电解液产生一定搅拌作用;强化槽内自然对流作用并与槽外强制对流协同配合时,槽(深宽比为5)内可形成独特的单个或多个占据整个槽空间的涡流循环胞,涡流流速约为强制对流流速的1/20~1/2,明显改善传质效果,试验结果与此相印证。
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关键词
微细电铸
对流-扩散传质
高深宽比
微细结构
下载PDF
职称材料
题名
高深宽比微细结构电铸时传质过程数值分析
被引量:
7
1
作者
明平美
朱荻
胡洋洋
曾永彬
机构
河南理工大学机械与动力工程学院
南京航空航天大学机电工程学院
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期195-201,共7页
基金
江苏省自然科学基金(BK2004214)
文摘
针对高深宽比微细结构电铸时存在严重传质受限的问题,以微深槽特征为分析对象建立液相传质两种数学模型——维扩散模型和二维对流—扩散模型,并分别用Matlab专用工具箱和Fluent 6.2流体仿真软件进行数值求解,依次分析以扩散、强制对流-扩散、复合对流(强制对流和自然对流)-扩散等为主导传质模式作用下微细电铸时,流场和离子浓度场的空间变化规律及其对液相传质效果的影响,并进行试验验证。结果表明:微细结构电铸时,单一扩散作用仅能用于深宽比小于2且电流密度小于2A/dm^2的液相传质场合;槽外强制对流只能对深宽比小于2的微槽内电解液产生一定搅拌作用;强化槽内自然对流作用并与槽外强制对流协同配合时,槽(深宽比为5)内可形成独特的单个或多个占据整个槽空间的涡流循环胞,涡流流速约为强制对流流速的1/20~1/2,明显改善传质效果,试验结果与此相印证。
关键词
微细电铸
对流-扩散传质
高深宽比
微细结构
Keywords
micro electroforming convection-diffusion transport high-aspect-ratio microstructure
分类号
TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高深宽比微细结构电铸时传质过程数值分析
明平美
朱荻
胡洋洋
曾永彬
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
7
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职称材料
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