期刊文献+
共找到105篇文章
< 1 2 6 >
每页显示 20 50 100
Suppressing the mechanical quadrature error of a quartz double-H gyroscope through laser trimming 被引量:2
1
作者 赵克 冯立辉 +4 位作者 王茜蒨 刘明智 王本国 崔芳 孙雨南 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期622-628,共7页
In this paper, we introduce a z-axis quartz gyroscope using a double-H tuning fork, which has a high sensitivity. However, it also causes a large mechanical quadrature error. The laser trimming method is used to suppr... In this paper, we introduce a z-axis quartz gyroscope using a double-H tuning fork, which has a high sensitivity. However, it also causes a large mechanical quadrature error. The laser trimming method is used to suppress this error at quartz level. The trimming law is obtained through the finite element method (FEM). A femtosecond laser processing system is used to trim the gold balancing masses on the beams, and experimental results are basically consistent with the simulated ones. The mechanical quadrature error is suppressed by 96%, from 26.3° s-1 to 1.1° s-1. Nonlinearity changes from 1.48% to 0.30%, angular random walk (ARW) is reduced from 2.19° h-1/2 to 1.42° h-1/2, and bias instability is improved by a factor of 7.7, from 197.6° h-1 to 25.4° h-1. 展开更多
关键词 femtosecond laser trimming micro-electro-mechanical system (mems gyroscope finite elementmethod (FEM) simulation
下载PDF
Noise estimation and filtering method of MEMS gyroscope based on EMMAP 被引量:1
2
作者 CHEN Guangwu YU Yue +1 位作者 LI Wenyuan LIU Hao 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2021年第2期170-176,共7页
Aiming at the problems of low measurement accuracy,uncertainty and nonlinearity of random noise of the micro electro mechanical system(MEMS)gyroscope,a gyroscope noise estimation and filtering method is proposed,which... Aiming at the problems of low measurement accuracy,uncertainty and nonlinearity of random noise of the micro electro mechanical system(MEMS)gyroscope,a gyroscope noise estimation and filtering method is proposed,which combines expectation maximum(EM)with maximum a posterior(MAP)to form an adpative unscented Kalman filter(UKF),called EMMAP-UKF.According to the MAP estimation principle,a suboptimal unbiased MAP noise statistical estimation model is constructed.Then,EM algorithm is introduced to transform the noise estimation problem into the mathematical expectation maximization problem,which can dynamically adjust the variance of the observed noise.Finally,the estimation and filtering of gyroscope random drift error can be realized.The performance of the gyro noise filtering method is evaluated by Allan variance,and the effectiveness of the method is verified by hardware-in-the-loop simulation. 展开更多
关键词 micro electro mechanical system(mems)gyroscope expectation maximization(EM)algorithm noise estimation unscented Kalman filter(UKF)
下载PDF
Novel On-Line North-Seeking Method Based on a Three-Axis MEMS Gyroscope 被引量:1
3
作者 Yu Liu Gaojun Xiang +1 位作者 Junqi Guo Min Zhou and Hongzhi Liu 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2018年第4期623-629,共7页
A novel on-line north-seeking method based on a three-axis micro-electro-mechanical system(MEMS)gyroscope is designed.This system processes data by using a Kalman filter to calibrate the installation error of the thre... A novel on-line north-seeking method based on a three-axis micro-electro-mechanical system(MEMS)gyroscope is designed.This system processes data by using a Kalman filter to calibrate the installation error of the three-axis MEMS gyroscope in complex environment.The attitude angle updating for quaternion,based on which the attitude instrument will be rotated in real-time and the true north will be found.Our experimental platform constitutes the dual-axis electric rotary table and the attitude instrument,which is developed independently by our scientific research team.The experimental results show that the accuracy of north-seeking is higher than 1°,while the maximum root mean square error and the maximum mean absolute error are 0.906 7 and 0.910 0,respectively.The accuracy of north-seeking is much higher than the traditional method. 展开更多
关键词 micro-electro-mechanical system(mems)gyroscope QUATERNION rotating system in realtime NORTH-SEEKING
下载PDF
电容式MEMS陀螺电极间隙标定方法研究
4
作者 刘高 侯占强 +2 位作者 邝云斌 肖定邦 吴学忠 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期499-503,共5页
该文以蝶翼式陀螺为研究对象,研究了电容式微机电系统(MEMS)陀螺电极间隙标定的方法。提出了一种基于谐振测量的电学标定方法,设计了基于调制解调技术的高精度微弱电容检测电路,并可以通过开关控制实现蝶翼式陀螺不同接口电容电极间隙... 该文以蝶翼式陀螺为研究对象,研究了电容式微机电系统(MEMS)陀螺电极间隙标定的方法。提出了一种基于谐振测量的电学标定方法,设计了基于调制解调技术的高精度微弱电容检测电路,并可以通过开关控制实现蝶翼式陀螺不同接口电容电极间隙的测量与标定。基于陀螺工作原理建立了电极间隙理论分析模型,推导了电容间隙与输出电压之间的关系,搭建了电极间隙测量与标定平台,测量了多个陀螺不同电极的间隙,并与采用电容-电压(CV)分析仪、台阶仪的测试结果进行了对比。与CV分析仪测试方法相比,该方法可有效地避免寄生电容的影响,在寄生电容未知的情况下可准确测量出有效电极间隙,同时具有更高的分辨率。与台阶仪测试方法相比,该方法可以准确反映实际电极位置的间隙大小。被测陀螺的电极间隙理论设计值为2μm,采用该文提出的方法测试值分布范围为1.92~2.2μm,采用CV分析仪测试结果为2.004μm(寄生电容已知),采用台阶仪平均测试值为2.11μm。 展开更多
关键词 电容式 微机电系统(mems)陀螺 谐振测量 电极间隙 标定方法
下载PDF
基于GSA-SVR算法的MEMS温度漂移补偿方法
5
作者 梅方玉 顾生闯 仇海涛 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期629-634,共6页
针对微机电系统(MEMS)仪表零偏受温度变化影响较大的问题,该文提出了一种基于引力搜索算法-支持向量回归(GSA-SVR)的MEMS零偏温度漂移补偿方法。先通过小波变换对MEMS陀螺和MEMS加速度计输出信号进行预处理,再采用GSA-SVR算法对MEMS在... 针对微机电系统(MEMS)仪表零偏受温度变化影响较大的问题,该文提出了一种基于引力搜索算法-支持向量回归(GSA-SVR)的MEMS零偏温度漂移补偿方法。先通过小波变换对MEMS陀螺和MEMS加速度计输出信号进行预处理,再采用GSA-SVR算法对MEMS在不同工作状态下进行温度建模并补偿。实验结果表明,在稳定工作阶段,与补偿前相比,补偿后加速度计和陀螺的输出标准差分别降低了90%和85%。与传统SVR相比,该文方法准确性较高,实用性较好,GSA-SVR算法将加速度计和陀螺输出的标准差分别降低了6%和10%。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 引力搜索算法-支持向量回归(GSA-SVR) 温度漂移补偿 小波变换 陀螺 加速度计
下载PDF
基于压缩感知理论的MEMS陀螺仪信号降噪研究 被引量:12
6
作者 程承 潘泉 +1 位作者 王申龙 程咏梅 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期769-773,共5页
通过分析传统小波阈值滤波的局限性,将基于压缩感知的小波滤波方法应用于低精度MEMS(micro electro mechanicalsystem)陀螺仪信号降噪中,并与小波阈值滤波方法进行了实验对比,实验结果表明:基于压缩感知的小波滤波方法可以有效地去除MEM... 通过分析传统小波阈值滤波的局限性,将基于压缩感知的小波滤波方法应用于低精度MEMS(micro electro mechanicalsystem)陀螺仪信号降噪中,并与小波阈值滤波方法进行了实验对比,实验结果表明:基于压缩感知的小波滤波方法可以有效地去除MEMS陀螺仪输出信号中的噪声,并且在压缩比较大时基于压缩感知的滤波方法去噪效果优于小波阈值滤波方法,改善了低精度MEMS陀螺仪零偏稳定性,为工程中解决低精度MEMS陀螺仪降噪问题提供了新思路。 展开更多
关键词 mems陀螺仪 小波滤波 压缩感知 信号噪声
下载PDF
MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准 被引量:8
7
作者 吴俊杰 李源 +2 位作者 李东升 卢歆 何明轩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3087-3094,共8页
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动... 由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。 展开更多
关键词 微触觉测头 微电容传感器 微机电系统 校准装置 纳米测量机
下载PDF
双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真 被引量:12
8
作者 李建利 房建成 +1 位作者 盛蔚 董海峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期484-491,共8页
提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利... 提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利用马蒂厄方程分析了双端音叉谐振器的运动数学表达式及陀螺仪标度因数方程。ANSYS分析表明:谐振器固有谐振频率为4.0431×106Hz;在谐振器端部施加1×106Pa预载荷后,谐振频率偏移量为20.7 kHz。仿真结果验证了理论推导的正确性。该陀螺仪减少了振动噪声及能量损耗,消除了外界共模加速度引起的误差。 展开更多
关键词 微机电系统 陀螺仪 双质量块 双端音叉谐振器 频率输出
下载PDF
MEMS陀螺仪芯片级温控系统的设计 被引量:5
9
作者 曹慧亮 杨波 +2 位作者 徐露 李宏生 王寿荣 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期55-59,共5页
为了提高MEMS陀螺仪的温度性能,基于东南大学自主设计的TC10号温控陀螺表头,设计了一种芯片级温控系统.首先,研究了微加热丝和微热敏电阻的材料、结构以及表头的加工工艺,分析了温控系统的工作原理.然后,建立了表头内部的温度模型,利用Z... 为了提高MEMS陀螺仪的温度性能,基于东南大学自主设计的TC10号温控陀螺表头,设计了一种芯片级温控系统.首先,研究了微加热丝和微热敏电阻的材料、结构以及表头的加工工艺,分析了温控系统的工作原理.然后,建立了表头内部的温度模型,利用Ziegler-Nichols经验参数法,确定了PID参数并进行系统仿真,验证了控制系统的快速性和稳定性.最后,结合模型和仿真参数设计了温控电路,并通过温度实验得到了微热敏电阻的温度特性曲线.结果显示:温控系统可将表头内温度控制在设定温度点附近;表头腔内温度和驱动模态谐振频率在-20~60℃范围内的变化量分别由温控前的78.453℃和3.76 Hz下降到温控后的4.949℃和0.48 Hz,由此验证了芯片级温控技术的可行性. 展开更多
关键词 芯片级温控 mems陀螺仪 温度模型 谐振频率
下载PDF
梳状音叉MEMS陀螺非随机误差分析 被引量:4
10
作者 李荣冰 刘建业 +2 位作者 林雪原 华冰 刘瑞华 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期928-931,共4页
研究了一种典型结构的梳状音叉MEMS陀螺的非随机性误差特性。综合考虑梳状音叉MEMS陀螺质心偏移、硅的非等弹性等因素,分析该陀螺中的非随机性干扰力矩;从二阶欠阻尼控制系统的角度,讨论了干扰力矩在陀螺内调制、解调环节下对输出的影响... 研究了一种典型结构的梳状音叉MEMS陀螺的非随机性误差特性。综合考虑梳状音叉MEMS陀螺质心偏移、硅的非等弹性等因素,分析该陀螺中的非随机性干扰力矩;从二阶欠阻尼控制系统的角度,讨论了干扰力矩在陀螺内调制、解调环节下对输出的影响;推导出开环灵敏度随温度、比力和角速度的变化关系。在一定近似条件下,得到梳状音叉MEMS陀螺非随机性误差模型的形式。 展开更多
关键词 mems陀螺 非随机性误差 微电子机械系统 惯性导航
下载PDF
MEMS陀螺随机误差的建模与分析 被引量:27
11
作者 王新龙 李娜 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期170-174,共5页
为了更全面地了解微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical Systems)陀螺仪的随机漂移误差随时间变化的特性,利用动态Allan方差分析法对MEMS陀螺仪输出信号特性进行了全面分析.首先介绍了Allan方差和动态Allan方差分析法原理,然后分... 为了更全面地了解微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical Systems)陀螺仪的随机漂移误差随时间变化的特性,利用动态Allan方差分析法对MEMS陀螺仪输出信号特性进行了全面分析.首先介绍了Allan方差和动态Allan方差分析法原理,然后分别利用Allan方差分析法和动态Allan方差分析法对MEMS陀螺仪的实测数据进行了特性研究与性能分析.研究结果表明:速率斜坡、量化噪声和速率随机游走是MEMS陀螺的主要随机噪声,并且MEMS陀螺的随机漂移具有随时间变化的不稳定性.动态Allan方差不仅可以分离和辨识出MEMS陀螺的主要随机误差源,而且可以跟踪和描述信号随时间变化的稳定性,因此动态Allan方差较经典Allan方差分析法能够更全面地表征MEMS陀螺仪的性能. 展开更多
关键词 mems陀螺 漂移误差 ALLAN方差 动态Allan方差
下载PDF
改进的MEMS陀螺静态误差模型及标定方法 被引量:10
12
作者 李建利 房建成 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1614-1618,共5页
静态干扰力矩造成的陀螺角速度测量误差是MEMS(Micro Electromechanical System)陀螺主要的误差源之一,为了增强MEMS陀螺的抗干扰能力,根据外框架驱动式MEMS陀螺工作原理、具体结构,针对比力引起的干扰力矩,采用解析的方法分析了陀螺静... 静态干扰力矩造成的陀螺角速度测量误差是MEMS(Micro Electromechanical System)陀螺主要的误差源之一,为了增强MEMS陀螺的抗干扰能力,根据外框架驱动式MEMS陀螺工作原理、具体结构,针对比力引起的干扰力矩,采用解析的方法分析了陀螺静态误差,结合试验法确定了陀螺静态误差数学模型,讨论了各误差项的物理起因及误差影响大小,论证了静态多位置法不能标定陀螺与比力平方有关误差项,提出了改进的陀螺静态误差数学模型,设计了10位置静态误差标定方法。试验结果表明:补偿后陀螺在10个静态位置的误差平均值和均方差分别为补偿前的0.83%和40%,提高了陀螺实用精度,为MEMS陀螺的精确标定、补偿提供了理论依据。 展开更多
关键词 微机电陀螺 静态误差 比力 标定 补偿
下载PDF
多MEMS陀螺数据融合系统的设计和实现 被引量:13
13
作者 柯熙政 张伟志 刘娟花 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期2062-2070,共9页
微机电系统陀螺仪以其成本低廉和小巧方便已经广泛应用于军民领域,但是其仍然面临着零偏稳定性不够高的问题。针对这种现象,设计了一套空间大小仅为45 mm×55 mm×30 mm的可扩展可移植的硬件平台,在此平台上利用小波域多尺度融... 微机电系统陀螺仪以其成本低廉和小巧方便已经广泛应用于军民领域,但是其仍然面临着零偏稳定性不够高的问题。针对这种现象,设计了一套空间大小仅为45 mm×55 mm×30 mm的可扩展可移植的硬件平台,在此平台上利用小波域多尺度融合算法,对4个微机电陀螺仪所采集的原始数据进行实时小波融合处理。分别对该集成系统在静态和动态环境下进行测试,实验结果表明,该系统运行稳定可靠,融合处理后的数据标准差都比融合前降低了一个量级。 展开更多
关键词 微机电陀螺仪 零偏稳定性 小波融合 多尺度分析
下载PDF
改进的内框架驱动式硅MEMS陀螺温度误差模型 被引量:5
14
作者 房建成 李建利 盛蔚 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1277-1280,1303,共5页
温度误差是MEMS(M icro E lectronic Mechanical System)陀螺仪的主要误差源之一,为了消除温度对内框架驱动式硅MEMS陀螺仪性能的影响,提出了一种改进的温度误差模型.基于硅材料的赛贝克(Seebeek)效应,结合表头温度变形,分析了陀螺仪零... 温度误差是MEMS(M icro E lectronic Mechanical System)陀螺仪的主要误差源之一,为了消除温度对内框架驱动式硅MEMS陀螺仪性能的影响,提出了一种改进的温度误差模型.基于硅材料的赛贝克(Seebeek)效应,结合表头温度变形,分析了陀螺仪零偏误差;利用温度引起的干扰力矩,分析了陀螺仪输出与比力及角加速度有关项误差;针对温度引起系统谐振频率的变化,分析了陀螺仪标度因数误差.试验结果表明:在温度变化过程中,比力引起的干扰力矩是导致陀螺仪温度误差的主要因素,验证了改进的温度误差模型的正确性,补偿后陀螺仪的零偏稳定性提高了53.75倍,标度因数精度提高了19.6倍,改进的温度误差模型也适用于其它MEMS陀螺仪. 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 陀螺仪 温度误差 零偏 与比力有关项误差 标度因数
下载PDF
改进的MEMS陀螺随机噪声自适应滤波算法 被引量:13
15
作者 唐晓红 赵鲁阳 +2 位作者 李鲁明 何为 王沛 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第10期133-136,共4页
针对微机电系统(MEMS)陀螺仪随机噪声建模时,自回归滑动平均(ARMA)模型中有色噪声白化问题,提出了将有色噪声作为系统状态方程控制项,以改进解耦自适应Kalman滤波算法,从而提高MEMS陀螺仪的噪声补偿效果。实验结果表明:经改进算法滤波后... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪随机噪声建模时,自回归滑动平均(ARMA)模型中有色噪声白化问题,提出了将有色噪声作为系统状态方程控制项,以改进解耦自适应Kalman滤波算法,从而提高MEMS陀螺仪的噪声补偿效果。实验结果表明:经改进算法滤波后,MEMS陀螺仪噪声均方差减小85.1%,随机误差项减小41.9%;与标准Kalman滤波算法、解耦自适应Kalman滤波算法相比,改进算法的随机误差项分别减小30.5%,10.1%,能更好地降低MEMS陀螺仪随机噪声。 展开更多
关键词 微机电系统陀螺仪 自回归滑动平均模型 ALLAN方差 KALMAN滤波 自适应滤波
下载PDF
微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术 被引量:3
16
作者 何小元 康新 +1 位作者 衡伟 黄庆安 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期447-451,共5页
介绍了微电子和微电子机械系统 (MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备。其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量 ,灵敏度可达到纳米量级。显微栅线投影技术用于MEMS的离面变形和形貌测量 ,灵敏度可达 0 .... 介绍了微电子和微电子机械系统 (MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备。其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量 ,灵敏度可达到纳米量级。显微栅线投影技术用于MEMS的离面变形和形貌测量 ,灵敏度可达 0 .1微米。 展开更多
关键词 微电子机械系统 微电子 光测力学
下载PDF
MEMS陀螺仪冗余配置故障检测方法 被引量:3
17
作者 马龙 代超璠 +3 位作者 裴昕 黄超 张鸿燕 苏志刚 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2017年第10期2298-2304,共7页
针对姿态测量系统的可靠性问题,提出了一种冗余配置方式的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)陀螺仪故障检测方法。首先,基于三轴MEMS陀螺仪研究了冗余配置的形式,给出了相应的故障评价函数,并给出了最优配置角度的计算... 针对姿态测量系统的可靠性问题,提出了一种冗余配置方式的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)陀螺仪故障检测方法。首先,基于三轴MEMS陀螺仪研究了冗余配置的形式,给出了相应的故障评价函数,并给出了最优配置角度的计算方法;其次,根据冗余配置建立陀螺仪故障检测数学模型,设计了MEMS陀螺仪硬故障检测方法,并进一步证明了陀螺仪的软故障和陀螺仪输出噪声的相关性,通过最大似然估计给出了软故障检测判决函数;最后,利用自主构建的故障检测硬件平台进行了实验验证,成功实现了对发生硬故障及软故障陀螺仪敏感轴的检测。该方法将MEMS陀螺仪的冗余配置扩展到了敏感轴水平,提高了MEMS陀螺仪的数据利用率,增加了系统可靠性。 展开更多
关键词 冗余配置 三轴mems陀螺仪 故障检测 极大似然法
下载PDF
MEMS陀螺混合误差标定方法研究 被引量:3
18
作者 龚大伟 刘宇 +2 位作者 钟懿 向高林 吕玲 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期298-303,共6页
微机电系统(MEMS)陀螺仪具有尺寸小,可靠性强的特点,已广泛应用于各种微姿态仪中,而陀螺的安装误差是影响姿态仪输出精度的主要因素之一。现有的陀螺安装误差模型是建立在确定的刻度因子和零偏基础上,但实际应用中,陀螺的刻度因子存在误... 微机电系统(MEMS)陀螺仪具有尺寸小,可靠性强的特点,已广泛应用于各种微姿态仪中,而陀螺的安装误差是影响姿态仪输出精度的主要因素之一。现有的陀螺安装误差模型是建立在确定的刻度因子和零偏基础上,但实际应用中,陀螺的刻度因子存在误差,且零偏随温度和转速发生变化。该文提出了一种改进的误差标定和补偿方法,并针对模型中MEMS的零偏温度和转速非线性误差问题,运用BP神经网络,实现了模型零偏动态补偿。实验表明,采用该文提出的标定方法,陀螺的角速率误差由1.5(°)/s提高至0.05(°)/s。验证了标定方法的可行性。 展开更多
关键词 BP神经网络 微机电系统(mems)陀螺仪 安装误差 零偏补偿 温度 转速
下载PDF
MEMS的设计方法与系统模拟 被引量:10
19
作者 孟为民 李伟华 黄庆安 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第10期57-60,共4页
随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移 ,MEMS系统级模拟变得日益重要 .文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级 ,重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁———宏模... 随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移 ,MEMS系统级模拟变得日益重要 .文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级 ,重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁———宏模型的建立及系统级模拟的实现。 展开更多
关键词 微电子机械系统 结构化设计 系统模拟
下载PDF
具有扇区输入非线性的三轴MEMS陀螺仪鲁棒自适应控制 被引量:2
20
作者 王伟 赵清 +1 位作者 王犇 隋俊杰 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2014年第12期2504-2509,共6页
微机电系统(micro-electro-mechanic system,MEMS)陀螺仪在制造和应用过程中会受到系统参数不确定、外界干扰和力电换能器非线性效应的影响,降低MEMS陀螺仪的检测精度。提出一种基于增益自适应的滑模控制策略对MEMS陀螺仪3个轴向轨迹进... 微机电系统(micro-electro-mechanic system,MEMS)陀螺仪在制造和应用过程中会受到系统参数不确定、外界干扰和力电换能器非线性效应的影响,降低MEMS陀螺仪的检测精度。提出一种基于增益自适应的滑模控制策略对MEMS陀螺仪3个轴向轨迹进行控制,采用一种基于时变死区技术的积分自适应律估计参数不确定和干扰的上界以避免估计发散,选择合适的控制律消除非线性扇区输入的影响,实现陀螺3个轴向的轨迹跟踪指定的参考运动,从而提高检测精度。最后利用Lyapunov直接法证明了闭环误差系统的渐近稳定性和所有信号的有界性。仿真结果表明了该策略的有效性。 展开更多
关键词 微机电系统陀螺仪 滑模控制 扇区输入非线性 轨迹跟踪
下载PDF
上一页 1 2 6 下一页 到第
使用帮助 返回顶部