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Study on Inertial Response Performance of A Micro Electrical Switch for Fuze 被引量:11
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作者 Wei-rong NIE Zhan-wen XI +1 位作者 Wei-qing XUE Zhi-jian ZHOU 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2013年第4期187-192,共6页
The design,modeling,and simulation of a micro electrical switch for fuze are presented.It consists of springemass system with zigzag slot in mass,latching and electrical connection mechanism and movement-limit mechani... The design,modeling,and simulation of a micro electrical switch for fuze are presented.It consists of springemass system with zigzag slot in mass,latching and electrical connection mechanism and movement-limit mechanism.The switch keeps off-state until it is subjected to an acceleration when fuze is launched normally.The acceleration is simulated as half-sine pulse with specific amplitude and duration.The dynamics model of the switch is studied.Based on zigzag slot in mass,the methods used for recognizing acceleration load are established and analyzed according to the dynamics theory.Two typical half-sine accelerations are loaded on the switch in simulation.The simulation results are in accordance with those of theoretical analysis.The inertial response characteristics of the switch can ensure that the fuze power supply and circuit are connected safely and reliably. 展开更多
关键词 引信电源 响应性能 电开关 惯性 弹簧质量系统 模拟交换机 微机 动力学模型
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Sensitivity analysis of pull-in voltage for RF MEMS switch based on modified couple stress theory 被引量:1
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作者 Junhua ZHU Renhuai LIU 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI CSCD 2015年第12期1555-1568,共14页
An approximate analytical model for calculating the pull-in voltage of a stepped cantilever-type radio frequency (RF) micro electro-mechanical system (MEMS) switch is developed based on the Euler-Bernoulli beam an... An approximate analytical model for calculating the pull-in voltage of a stepped cantilever-type radio frequency (RF) micro electro-mechanical system (MEMS) switch is developed based on the Euler-Bernoulli beam and a modified couple stress theory, and is validated by comparison with the finite element results. The sensitivity functions of the pull-in voltage to the designed parameters are derived based on the proposed model. The sensitivity investigation shows that the pull-in voltage sensitivities increase/decrease nonlinearly with the increases in the designed parameters. For the stepped cantilever beam, there exists a nonzero optimal dimensionless length ratio, where the pull-in voltage is insensitive. The optimal value of the dimensionless length ratio only depends on the dimensionless width ratio, and can be obtained by solving a nonlinear equation. The determination of the designed parameters is discussed, and some recommendations are made for the RF MEMS switch optimization. 展开更多
关键词 stepped cantilever beam pull-in voltage modified couple stress theory radio frequency (RF) micro electro-mechanical system (MEMS) switch analytical solution sensitivity analysis
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Research on Seamless Switching Control Strategy Based on Virtual Synchronous Generator 被引量:1
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作者 Wei Kang Jibo Wan +1 位作者 Lixia Zhang Qilong Zhang 《Energy and Power Engineering》 2017年第4期436-444,共9页
This paper studies the voltage, phase and current tracking strategy to eliminate voltage and current mutations when the virtual synchronous generator is switching between grid-connected and islanded. By using these st... This paper studies the voltage, phase and current tracking strategy to eliminate voltage and current mutations when the virtual synchronous generator is switching between grid-connected and islanded. By using these strategies the inverter can realize secondary frequency regulation and voltage regulation. If the phase is near 0 or 2π a little disturbance may made the PLL output a big error, so a new PLL is proposed by this paper. A sine module is added in the PLL to avoid this error. In order to verify the strategy proposed by this paper a simulation model is built in Matlab/Simulink. The simulation results show that the control strategy can realize seamless switching. 展开更多
关键词 Virtual SYNCHRONOUS GENERATOR PLL SEAMLESS switchING micro GRID
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Study of Multi-Function Micro-Plasma Spraying Technology 被引量:3
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作者 汪刘应 王汉功 +1 位作者 华绍春 曹小平 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第1期52-56,共5页
A multi-functional micro-arc plasma spraying system was developed according to aerodynamics and plasma spray theory. The soft switch IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) invert technique, micro-computer control ... A multi-functional micro-arc plasma spraying system was developed according to aerodynamics and plasma spray theory. The soft switch IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) invert technique, micro-computer control technique, convergent-divergent nozzle structure and axial powder feeding techniques have been adopted in the design of the micro-arc plasma spraying system. It is not only characterized by a small volume, a light weight, highly accurate control, high deposition efficiency and high reliability, but also has multi-functions in plasma spraying, welding and quenching. The experimental results showed that the system can produce a supersonic flame at a low power, spray Al2O3 particles at an average speed up to 430 m/s, and make nanostructured AT13 coatings with an average bonding strength of 42.7 MPa. Compared to conventional 9M plasma spraying with a higher power, the coatings with almost the same properties as those by conventional plasma spray can be deposited by multi-functional micro-arc plasma spraying with a lower power plasma arc due to an improved power supply design, spray gun structure and powder feeding method. Moreover, this system is suitable for working with thin parts and undertaking on site repairs, and as a result, the application of plasma spraying will be greatly extended. 展开更多
关键词 micro-plasma spraying soft-switch invert technology nanostructured coating high-pressure high-current plasmas (plasma spray arc welding etc.)
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A Novel Approach in RF-MEMS Switch Analysis Using Time Domain TLM Method
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作者 Alireza Haghshenas Changiz Ghobadi +2 位作者 Javad Nourinia Davod Ahmadian Saber Soltani 《Journal of Electromagnetic Analysis and Applications》 2011年第10期395-398,共4页
In this paper the transmission line matrix (TLM) method is exploited to evaluate the electromagnetic field distribution over a new radio frequency micro electromechanical system (RF-MEMS). A hybrid symmetrical condens... In this paper the transmission line matrix (TLM) method is exploited to evaluate the electromagnetic field distribution over a new radio frequency micro electromechanical system (RF-MEMS). A hybrid symmetrical condensed node is used to analyze S-parameters of the switch in on and off states. Furthermore, the effects of spring zigzag cuts over the bridge are analyzed. Results have authorized that TLM method offers a much faster and more reliable results compare to other numerical methods because of its time domain behavior and transmission line basis. 展开更多
关键词 TRANSMISSION LINE MATRIX micro ELECTROMECHANICAL System switch Analyze
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低g值MEMS惯性开关研究进展
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作者 熊壮 张凤田 +3 位作者 谢晋 张照云 杨杰 赵宝林 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第8期908-917,共10页
微机电系统(MEMS)惯性开关是集传感与执行为一体的无源电子器件,具有体积小、重量轻、易集成、加工一致性好、免装配等优势,在汽车工业、航空航天、武器装备等领域具有广阔的应用前景。低g值MEMS惯性开关的应用场景主要为飞行器加/减速... 微机电系统(MEMS)惯性开关是集传感与执行为一体的无源电子器件,具有体积小、重量轻、易集成、加工一致性好、免装配等优势,在汽车工业、航空航天、武器装备等领域具有广阔的应用前景。低g值MEMS惯性开关的应用场景主要为飞行器加/减速过程特定功能的触发,在设计时应保证弹簧刚度低,质量块体积大,在结构设计与加工工艺中存在一定难度。本文介绍了低g值MEMS惯性开关的基本物理模型和工作原理,对国内外研究现状进行了阐述,总结了现阶段迫切需要解决的关键问题,并提出相应解决思路,为后续研究提供有益参考。 展开更多
关键词 微机电系统 惯性开关 低g值 微纳加工
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Noise analysis and characterization of a full differential CMOS interface circuit for capacitive closed-loop micro-accelerometer
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作者 刘晓为 李海涛 +3 位作者 尹亮 陈伟平 索春光 周治平 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2010年第5期684-689,共6页
To achieve a high precision capacitive closed-loop micro-accelerometer,a full differential CMOS based on switched-capacitor circuit was presented in this paper as the sensor interface circuit.This circuit consists of ... To achieve a high precision capacitive closed-loop micro-accelerometer,a full differential CMOS based on switched-capacitor circuit was presented in this paper as the sensor interface circuit.This circuit consists of a balance-bridge module,a charge sensitive amplifier,a correlated-double-sampling module,and a logic timing control module.A special two-path feedback circuit configuration was given to improve the system linearity.The quantitative analysis of error voltage and noise shows that there is tradeoff around circuit's noise,speed and accuracy.A detailed design method was given for this tradeoff.The noise performance optimized circuit has a noise root spectral density of 1.0 μV/Hz,equivalent to rms noise root spectral density of 1.63 μg/Hz.Therefore,the sensor's Brown noise becomes the main noise source in this design.This circuit is designed with 0.5 μm n-well CMOS process.Under a ±5 V supply,the Hspice simulation shows that the system sensitivity achieves 0.616 V/g,the system offset is as low as 1.456 mV,the non-linearity is below 0.03%,and the system linear range achieves ±5 g. 展开更多
关键词 low noise full differential switchED-CAPACITOR CLOSED-LOOP capacitive micro-accelerometer
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具有阈值可调功能的磁自锁MEMS惯性开关
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作者 王欣玥 李严军 +1 位作者 屈明山 熊壮 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第10期1161-1167,共7页
设计了一种阈值为5g的低g值磁自锁微机电系统(MEMS)惯性开关,具有阈值可调和自回复功能。该惯性开关的惯性敏感单元由1个方形质量块、1块固定在质量块下的方形棋盘状磁铁和4根支撑它的方形阿基米德螺旋梁组成。磁铁和4块位于移动电极下... 设计了一种阈值为5g的低g值磁自锁微机电系统(MEMS)惯性开关,具有阈值可调和自回复功能。该惯性开关的惯性敏感单元由1个方形质量块、1块固定在质量块下的方形棋盘状磁铁和4根支撑它的方形阿基米德螺旋梁组成。磁铁和4块位于移动电极下方的铁磁性固定电极、双层平面线圈一起共同实现磁自锁和阈值调节功能。通过有限元仿真软件ANSYS对其进行仿真分析,利用激光加工和PCB工艺制造样片机,并通过离心机对样品进行性能测试。测试结果显示,制作的MEMS惯性开关在垂直敏感方向上的阈值加速度为5.27g,通过施加−0.5~0.5 A范围的电流,阈值的调整范围为6g~3.75g。结果表明此结构能够在实现闭锁功能的同时,在无外力作用的情况下实现自回复,且在一定范围内阈值可调。 展开更多
关键词 微惯性开关 低g值开关 阈值可调 电磁执行器
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基于AMESim的压力调节器结构优化
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作者 侯松峰 李志珠 贾远成 《机床与液压》 北大核心 2024年第8期174-178,共5页
针对现有某型涡桨飞机发动机的防冰系统配套压力调节器在真空环境下出口压力衰减及不能反馈开关位置信号的问题,采用真空波纹管结构对压力调节器先导阀进行结构改进,保证先导腔压力的稳定,并利用AMESim软件对压力调节器进行性能仿真,计... 针对现有某型涡桨飞机发动机的防冰系统配套压力调节器在真空环境下出口压力衰减及不能反馈开关位置信号的问题,采用真空波纹管结构对压力调节器先导阀进行结构改进,保证先导腔压力的稳定,并利用AMESim软件对压力调节器进行性能仿真,计算蝶板在正常工作压力状态下的最小开启角度,以此对微动开关进行调整,实现全部工作区下位置信号指示。试验结果表明:在真空环境下,真空波纹管结构压力调节器出口压力相对于地面环境波动较小,可满足要求;AMESim软件对蝶板开启角度的计算结果较为可靠,为开关状态信号的设置提供了有力支撑。 展开更多
关键词 防冰系统 压力调节器 微动开关 性能仿真
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基于螺旋弹簧的引信用低g值MEMS惯性开关
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作者 秦浩 蒋小华 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第4期459-466,共8页
微机电系统(MEMS)惯性开关在引信领域有广阔的应用前景,但可用于引信工作环境的低g值型MEMS惯性开关较少。对此,为低发射过载的弹药引信提出一种低闭合阈值的MEMS惯性开关设计方案,满足引信识别低g值冲击信号的功能需求,实现稳定接通引... 微机电系统(MEMS)惯性开关在引信领域有广阔的应用前景,但可用于引信工作环境的低g值型MEMS惯性开关较少。对此,为低发射过载的弹药引信提出一种低闭合阈值的MEMS惯性开关设计方案,满足引信识别低g值冲击信号的功能需求,实现稳定接通引信电源的功能,同时具备抵抗引信工作环境中高过载的能力,提高引信可靠性。依据触发信号特征和引信工作环境提出设计要求,对惯性开关的振荡模型进行理论分析,阐明惯性开关结构尺寸对开关性能的影响规律,给出开关整体设计方案,并应用ANSYS有限元软件对设计结果进行仿真验证。仿真结果表明,所设计的惯性开关能够监测幅值为20g、脉宽为1 ms的冲击信号,开关响应时间小于1 ms,电极接触时间长于30μs,抗过载性能达到12 000g,满足性能指标要求。 展开更多
关键词 低g值 微机电系统 惯性开关 螺旋弹簧
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场畸变气体火花开关电气性能与烧蚀过程研究
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作者 杨昊 孙凡 +4 位作者 张璐 范华峰 宋治波 张昊天 陈苗苗 《南方电网技术》 CSCD 北大核心 2024年第9期38-46,共9页
伴随着气体火花开关的广泛应用,选择工作稳定且使用寿命长的气体火花开关已经成为了脉冲功率系统稳定运行的重要保障。目前,国内外相关学者对于气体开关展开了大量研究,但多数都是基于从放电条件研究对气体火花开关烧蚀的影响。因此从... 伴随着气体火花开关的广泛应用,选择工作稳定且使用寿命长的气体火花开关已经成为了脉冲功率系统稳定运行的重要保障。目前,国内外相关学者对于气体开关展开了大量研究,但多数都是基于从放电条件研究对气体火花开关烧蚀的影响。因此从实际工程需求出发,全面研究了不同工作环境对气体火花开关的自击穿电压的分布、时延抖动、分散性的变化情况以及电极烧蚀现象与机制、宏/微观粗糙度变化规律。结果表明:相同气压条件下开关击穿电压的分散性随电极间隙的增大无明显规律变化。随着工作系数提高至90%,开关放电时延平均值基本不变,但呈现出数纳秒的波动,当间隙距离为10 mm、工作系数在60%以下时抖动的起始值及其减小的速率远高于其他间隙。随着电极间距的增大,对电极表面的烧蚀的影响较小,低气压长间隙的烧蚀程度相较于高气压短间隙的烧蚀更为明显。 展开更多
关键词 气体火花开关 时延抖动 电极烧蚀 宏/微观粗糙度
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基于微课的翻转课堂教学模式应用探索——以“路由与交换技术”课程为例
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作者 李昕 罗丹霞 《科教文汇》 2024年第20期118-121,共4页
基于微课的“路由与交换技术”课程翻转课堂教学模式,通过多媒体技术、计算机技术和现代教育技术,为学生创设生动的教学情境,实现基于“学”的“教”,基于“互动”的“传授”,并从教学模式的应用思路和注意事项的角度对其具体实施方法... 基于微课的“路由与交换技术”课程翻转课堂教学模式,通过多媒体技术、计算机技术和现代教育技术,为学生创设生动的教学情境,实现基于“学”的“教”,基于“互动”的“传授”,并从教学模式的应用思路和注意事项的角度对其具体实施方法加以探讨,让教学改革真正落地。作者对比传统教学模式后发现,基于微课的翻转课堂教学模式能够增强教学的灵活性和针对性,帮助学生更好地掌握理论知识,促进学生同教师之间的互动与合作,从而提升整体教学效果。 展开更多
关键词 微课 翻转课堂 路由与交换技术
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基于非硅衬底的微机电系统惯性开关的研制 被引量:11
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作者 蔡豪刚 杨卓青 +1 位作者 丁桂甫 刘瑞 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期156-161,共6页
以非硅表面微加工技术为基础,在玻璃衬底上设计和制造一种简单可靠并有反向冲击保护的单向一次触发微机电系统(Microelectro-mechanical system,MEMS)惯性电学开关。该设计采用连体蛇形弹簧将可动电极(质量块)悬空固定,用挡块作为反向... 以非硅表面微加工技术为基础,在玻璃衬底上设计和制造一种简单可靠并有反向冲击保护的单向一次触发微机电系统(Microelectro-mechanical system,MEMS)惯性电学开关。该设计采用连体蛇形弹簧将可动电极(质量块)悬空固定,用挡块作为反向冲击保护,其敏感方向为平行于衬底面的水平方向,整个器件使用成本较低而又方便的叠层电镀镍工艺制作。通过对弹簧-质量块系统运动过程的理论分析和有限元仿真,研究器件阈值加速度与其质量块厚度的关系,并用落锤试验对封装器件的阈值加速度以及峰值为100g(g=9.8m/s2)半正弦冲击下的响应进行了测试,得到该微开关的阈值加速度分布在58g~72g,基本符合预期设计的60g阈值加速度要求,响应时间约为10–4s量级,与有限元仿真结果吻合较好。 展开更多
关键词 惯性开关 微机电系统 非硅表面微加工 阈值加速度 仿真
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微机电系统惯性电学开关的设计与制作 被引量:7
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作者 杨卓青 丁桂甫 +2 位作者 蔡豪刚 刘瑞 赵小林 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1033-1036,共4页
基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵... 基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。 展开更多
关键词 非硅表面微加工 微型惯性开关 设计与制作 微机电系统(MEMS)
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电网电压不平衡条件下微网PQ控制策略研究 被引量:25
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作者 吕志鹏 罗安 +1 位作者 荣飞 郭镥 《电力电子技术》 CSCD 北大核心 2010年第6期71-74,共4页
基于平衡假设的前馈解耦PQ控制是微网典型的控制策略,通过对该策略进行功率分析,并利用开关函数法分析并网逆变器输出性能,得出基于该控制策略在电网电压不平衡条件下逆变器的输出会包含3次谐波和负序分量。作为改进,在原有的PQ控制结... 基于平衡假设的前馈解耦PQ控制是微网典型的控制策略,通过对该策略进行功率分析,并利用开关函数法分析并网逆变器输出性能,得出基于该控制策略在电网电压不平衡条件下逆变器的输出会包含3次谐波和负序分量。作为改进,在原有的PQ控制结构基础上叠加前馈负序电压控制环以抵消电网电压负序分量从而维持三相平衡,通过改进的开关函数调制法降低3次谐波分量输出。仿真验证了理论分析并证明了所采取控制措施的有效性。 展开更多
关键词 控制 三相不平衡 微网 开关函数 负序补偿
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五位分布式MEMS传输线移相器的优化设计 被引量:3
16
作者 高杨 贾小慧 +1 位作者 秦燃 官承秋 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第10期655-659,共5页
通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5°两种微桥,单元在Ka波段的插入损耗均大于... 通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5°两种微桥,单元在Ka波段的插入损耗均大于-0.8 dB,回波损耗均小于-15 dB,相移精度小于0.4°,新的五位移相器以2种单元、19个微桥的结构替代了传统单一单元、31个微桥的结构,可减少微桥的总数;二是CPW传输线采用折叠布局,通过共用部分地线,移相器平面尺寸减小至1.81 mm×3.84 mm,相比传统五位分布式移相器,面积减小了56%,实现了器件的小型化;三是设计了一种新型的直流偏置结构,结构简单、工艺容易实现。 展开更多
关键词 射频微电子机械系统(RF MEMS) 移相器 传输线 微开关 微桥
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抗高过载微流体惯性开关 被引量:3
17
作者 黄刘 聂伟荣 +1 位作者 王晓锋 沈腾 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期526-532,共7页
基于微连通器结构,提出了一种使用盐水(Na Cl溶液)作为工作流体且具有高的抗过载能力的微流体惯性开关。分析了液滴的分离机理,设计了开关的流道结构。然后,对开关进行了理论分析,建立了开关模型。最后,利用流体动力学仿真和样机实验相... 基于微连通器结构,提出了一种使用盐水(Na Cl溶液)作为工作流体且具有高的抗过载能力的微流体惯性开关。分析了液滴的分离机理,设计了开关的流道结构。然后,对开关进行了理论分析,建立了开关模型。最后,利用流体动力学仿真和样机实验相结合的方法,对开关结构和功能进行了验证。验证结果显示:在幅值为30 000 g阶跃型加速度作用下,开关的工作流体仍未发生分离,加速度的幅值与开关响应时间相关。另外,开关样机能够使盐水液面形成高度差,样机的静态加速度阈值为134.6 g^152.3 g,非常接近其理论计算的加速度阈值142.7 g。得到的结果表明,采用的微连通器结构能够极大地增强微流体惯性开关的抗液体分离能力,能够对加速度幅值进行区分,并实现闭锁功能,同时显示了高的抗过载能力。 展开更多
关键词 微流体惯性开关 微加速度开关 微连通器 抗高过载
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一种非接触式微加速度开关的研究 被引量:5
18
作者 郭涛 李丽华 劳永建 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期664-666,共3页
典型的微加速度开关至少包含一个电接触,当阈值加速度值达到时,该开关将闭合。一般为金属接触,比如金。但金属接触可能存在许多问题,如微焊接、电弧、氧化,这些问题可能导致开关工作失灵。鉴于此,本文介绍了一种低驱动电压的非接触式微... 典型的微加速度开关至少包含一个电接触,当阈值加速度值达到时,该开关将闭合。一般为金属接触,比如金。但金属接触可能存在许多问题,如微焊接、电弧、氧化,这些问题可能导致开关工作失灵。鉴于此,本文介绍了一种低驱动电压的非接触式微加速度开关(阈值为5gn)的设计理论、研究方法和主要加工工艺步骤,同时对非接触式微加速度开关结构的力电耦合进行理论计算,结合ANSYS软件仿真分析验证。 展开更多
关键词 微加速度开关 非接触式 低驱动电压 力电耦合分析
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基于MEMS技术的低g值微惯性开关的设计与制作 被引量:6
19
作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期653-657,共5页
惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn^30gn)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用A... 惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn^30gn)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用ANSYS有限元软件对其进行了仿真分析。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备,划片后芯片尺寸为7 mm×7 mm×1.5 mm。经离心实验测试,微惯性开关的闭合阈值约为4.28gn,导通电阻约为9.3Ω。多次测试结果表明,微惯性开关具有0.5gn的闭合精度,多次测试重复性较好,具有体积小,结构简单,加工容易实现等特点。 展开更多
关键词 平面矩形螺旋梁 微惯性开关 低g值开关 微机电系统(MEMS)
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硅基PZT压电驱动微开关的设计和优化 被引量:2
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作者 娄利飞 杨银堂 +1 位作者 李跃进 张军琴 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第4期445-448,共4页
采用压电多层微悬臂梁理论分析模型,研究了一种新型PZT压电复合多层膜微悬臂梁驱动微开关的机械性能,提出了一种新的硅基PZT压电复合多层薄膜微悬臂梁驱动微开关的制作方法。利用有限元分析软件AN SY S7.0对微悬臂梁结构进行了模态分析... 采用压电多层微悬臂梁理论分析模型,研究了一种新型PZT压电复合多层膜微悬臂梁驱动微开关的机械性能,提出了一种新的硅基PZT压电复合多层薄膜微悬臂梁驱动微开关的制作方法。利用有限元分析软件AN SY S7.0对微悬臂梁结构进行了模态分析,探讨了结构参数与微悬臂梁运动特性的关系及影响压电薄膜微开关性能的因素,进一步模拟了0.3 V工作电压下微开关的位移。结果表明,经优化后的压电薄膜微开关可进一步应用到集成化芯片系统中。 展开更多
关键词 压电薄膜 有限元分析 微开关
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