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微型自由活塞发动机发电系统催化燃烧特性研究 被引量:2
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作者 陈俊杰 王华 +2 位作者 刘志超 盛伟 温小萍 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第8期1268-1275,共8页
为了解催化对微型发动机燃烧室内甲烷燃烧特性的影响,采用甲烷和空气的预混合气体,对在活塞上表面和燃烧室顶部涂有Pt-La/γ-Al2O3催化剂的微型发动机的催化燃烧特性进行了实验研究及数值模拟,对比分析了有、无催化燃烧时微型发动机的... 为了解催化对微型发动机燃烧室内甲烷燃烧特性的影响,采用甲烷和空气的预混合气体,对在活塞上表面和燃烧室顶部涂有Pt-La/γ-Al2O3催化剂的微型发动机的催化燃烧特性进行了实验研究及数值模拟,对比分析了有、无催化燃烧时微型发动机的燃烧特性。结果表明:催化燃烧可以提高燃烧效率,着火时刻会有大幅度的提前,微型发动机具有更高的输出功率和能量密度;催化燃烧可以降低燃料的着火温度,扩展微燃烧的可燃界限。 展开更多
关键词 微型发动机 催化燃烧 燃烧特性 微动力机电系统
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应用于MOEMS集成的TSV技术研究 被引量:3
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作者 胡正高 盖蔚 +1 位作者 徐高卫 罗乐 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期649-653,共5页
硅通孔(TSV)通过缩短互连长度可实现低延迟、低功耗等目的。对应用于微光机电系统(MOEMS)集成的TSV工艺进行了研究,通过ICP-DRIE参数优化获得了陡直TSV通孔;通过金-金键合及bottom-up法,实现了TSV的无缺陷填充;对填充后的TSV进行电学表... 硅通孔(TSV)通过缩短互连长度可实现低延迟、低功耗等目的。对应用于微光机电系统(MOEMS)集成的TSV工艺进行了研究,通过ICP-DRIE参数优化获得了陡直TSV通孔;通过金-金键合及bottom-up法,实现了TSV的无缺陷填充;对填充后的TSV进行电学表征,测试结果表明,单个TSV的电阻平均值为0.199Ω、相邻两个TSV的电容在无偏压时为170.45 fF、TSV的漏电流在100 V时为9.43 pA,具有良好的电学特性。 展开更多
关键词 硅通孔(TSV) 微光机电系统(MOEMS) ICP刻蚀 键合 电镀
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脉冲激光冲击处理下电镀铜薄膜疲劳特性分析 被引量:1
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作者 刘小冬 尚德广 +3 位作者 柳会 徐明辉 徐姣 刘天亮 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期751-756,共6页
采用20 W光纤激光器对电镀铜薄膜双侧U形缺口试件进行激光冲击处理。试件采用准LIGA(lithographie,galvanformung,abformung)工艺电镀方法制备。在室温条件下,通过控制载荷对激光冲击处理前后的试件进行脉动拉伸疲劳试验,研究分析其机... 采用20 W光纤激光器对电镀铜薄膜双侧U形缺口试件进行激光冲击处理。试件采用准LIGA(lithographie,galvanformung,abformung)工艺电镀方法制备。在室温条件下,通过控制载荷对激光冲击处理前后的试件进行脉动拉伸疲劳试验,研究分析其机械疲劳特性变化的机理。通过对比冲击情况下同一周次的疲劳滞后环面积,发现激光束冲击到缺口边缘内侧的试件疲劳性能明显提高。研究表明,在各自一定的名义应力范围内,未经冲击处理强化试件的损伤要比激光冲击处理强化后试件的损伤大。激光冲击处理方式可使材料的疲劳性能增强,从而使疲劳寿命延长。 展开更多
关键词 电镀铜薄膜 激光冲击处理 疲劳寿命 滞后环 微机械电子系统
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眼动跟踪技术研究进展 被引量:13
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作者 石建军 许键 《光学仪器》 2019年第3期87-94,共8页
眼动跟踪是指通过测量眼睛注视点的位置或者眼球相对头部的运动而实现对眼球运动的追踪。介绍了眼动跟踪技术及近年来相关研究进展,分析了各种眼动跟踪技术原理,详细比较了各种测量方法的利弊。通过对几种最新眼动跟踪设备特性的比较,... 眼动跟踪是指通过测量眼睛注视点的位置或者眼球相对头部的运动而实现对眼球运动的追踪。介绍了眼动跟踪技术及近年来相关研究进展,分析了各种眼动跟踪技术原理,详细比较了各种测量方法的利弊。通过对几种最新眼动跟踪设备特性的比较,进一步了解国内外眼动跟踪发展趋势。最后介绍了眼动跟踪技术的研究方向,并对眼动跟踪技术应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 眼动跟踪 眼动测量 眼动仪 微机电(MEMS)
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频闪白光干涉技术(英文) 被引量:1
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作者 陈亮嘉 《计测技术》 2018年第3期1-30,共30页
频闪白光干涉技术(SWLI)能够对被测系统进行动态模式的重建和表征,在微机电系统(MEMS)或微光机电系统(MOEMS)等振动样品测量中具有很高的实用性。传统频闪方法不能预先检测或分析具有单个振动激励源的微结构,而频闪白光干涉技术则解决... 频闪白光干涉技术(SWLI)能够对被测系统进行动态模式的重建和表征,在微机电系统(MEMS)或微光机电系统(MOEMS)等振动样品测量中具有很高的实用性。传统频闪方法不能预先检测或分析具有单个振动激励源的微结构,而频闪白光干涉技术则解决了这一问题。为全面了解这一新开发的技术,本文从理论、技术方法和该技术各种应用的实验结果及分析进行了介绍。该技术为MEMS,MOEMS甚至微纳尺度生物体动态性能的重建和分析提供了一种有效的方法。实验结果和分析证明了频闪白光干涉技术在实际应用中具有良好的可行性和准确性。 展开更多
关键词 白光干涉法 动态测量 频闪白光干涉法(SWLI) 微机电系统(MEMS) 微光机电系统(MOEMS)
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A MEMS Design for an Intelligent Pacifier for Preventing Sudden Infant's Death Syndrome (SIDS Alarm)
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作者 Poorya Shobeiry 《Journal of Mechanics Engineering and Automation》 2012年第12期720-725,共6页
关键词 MEMS技术 死亡综合症 婴儿 报警 奶嘴 智能 设计 突发性
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基于哈达玛变换的新型傅里叶变换红外光谱探测系统 被引量:5
7
作者 李阳 朱永 +3 位作者 陈建君 杨艺宁 刘宇 王宁 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第13期434-439,共6页
基于哈达玛变换算法和微光机电系统(MOEMS)微镜的良好可编程性,提出了一种改善新型空间调制傅里叶变换光谱探测系统信噪比的方法。对哈达玛变换算法应用于该系统做了理论分析并搭建了实验系统进行验证。结果表明,经过哈达玛变换处... 基于哈达玛变换算法和微光机电系统(MOEMS)微镜的良好可编程性,提出了一种改善新型空间调制傅里叶变换光谱探测系统信噪比的方法。对哈达玛变换算法应用于该系统做了理论分析并搭建了实验系统进行验证。结果表明,经过哈达玛变换处理后的干涉信号噪声明显减小,复原光谱旁瓣得到明显抑制,信噪比显著提高。 展开更多
关键词 光谱学 哈达玛变换 傅里叶变换光谱仪 微光机电系统 信噪比
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Model-based robust estimation and fault detection for MEMS-INS/GPS integrated navigation systems 被引量:9
8
作者 Miao Lingjuan Shi Jing 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第4期947-954,共8页
In micro-electro-mechanical system based inertial navigation system(MEMS-INS)/global position system(GPS) integrated navigation systems, there exist unknown disturbances and abnormal measurements. In order to obta... In micro-electro-mechanical system based inertial navigation system(MEMS-INS)/global position system(GPS) integrated navigation systems, there exist unknown disturbances and abnormal measurements. In order to obtain high estimation accuracy and enhance detection sensitivity to faults in measurements, this paper deals with the problem of model-based robust estimation(RE) and fault detection(FD). A filter gain matrix and a post-filter are designed to obtain a RE and FD algorithm with current measurements, which is different from most of the existing priori filters using measurements in one-step delay. With the designed filter gain matrix, the H-infinity norm of the transfer function from noise inputs to estimation error outputs is limited within a certain range; with the designed post-filter, the residual signal is robust to disturbances but sensitive to faults. Therefore, the algorithm can guarantee small estimation errors in the presence of disturbances and have high sensitivity to faults. The proposed method is evaluated in an integrated navigation system, and the simulation results show that it is more effective in position estimation and fault signal detection than priori RE and FD algorithms. 展开更多
关键词 Fault detection Inertial navigation systems Integrated navigation micro-electro-mechanicalsystem Robust estimation
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