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微密封真空微电子二极管 被引量:1
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作者 刘卫东 罗恩泽 《微电子学》 CAS CSCD 1994年第5期55-56,共2页
本文介绍了一种微密封真空微电子二极管的工艺及实验结果。
关键词 微密封 真空微电子器件 二极管 微电子
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微密封真空微电子二极管阵列
2
作者 刘卫东 罗恩泽 《电子器件》 CAS 1994年第3期69-69,共1页
本文介绍了一种微密封真空微电子二极管阵列的工艺及实验结果。
关键词 微密封 真空微电子器件 二极管 封装 工艺
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