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微悬臂梁传感器用于测量酵母菌弹性模量 被引量:4
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作者 徐文奎 黄海波 李相鹏 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第1期25-30,59,共7页
在微尺度方面,力反馈能实现有效和可靠的操作,陈述了基于压阻式微悬臂梁传感器在微操作方面对酵母菌弹性模量的定量测量。采用惠斯通电桥采集微悬臂梁传感器信号,通过信号调理电路模块可以实现高分辨率的微力测量。在传感器力标定上,依... 在微尺度方面,力反馈能实现有效和可靠的操作,陈述了基于压阻式微悬臂梁传感器在微操作方面对酵母菌弹性模量的定量测量。采用惠斯通电桥采集微悬臂梁传感器信号,通过信号调理电路模块可以实现高分辨率的微力测量。在传感器力标定上,依靠激光多普勒干涉仪准确得出传感器探针变形量,校准探针能给出微悬臂梁作用力的大小,两者呈现较好的线性关系,分辨率达到纳牛级。基于此测力装置,实现了对酵母菌弹性模量的测量,测得酵母菌弹性模量为(2.9±2.2)MPa,表明该压阻式悬臂梁传感器能对微米级尺度的细胞进行力学测量。该传感器具有良好的稳定性、准确性、高精度和低成本等优点。 展开更多
关键词 压阻式微悬臂梁传感器 力反馈 弹性模量 酵母菌 纳牛分辨率
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微纳力值测量技术发展现状与分析 被引量:1
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作者 钟山 高炳涛 +2 位作者 岑格 王小三 任大呈 《宇航计测技术》 CSCD 2021年第6期68-75,共8页
介绍了近年来微纳力值测试技术的发展现状。微纳力值测量方法、测量及研究成果,并进行了不同测试方法的对比,指出了不同测试方法的特点和适用性。基于当前微纳测量领域发展趋势,结合行业发展需求,提出了微纳力值测试技术研究应注意的问题。
关键词 微纳力值 测量技术 测量不确定度
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