从美国ASTeX Inc．公司的发展看微波等离子体在高新技术领域的应用前景

本文就美国“应用科学技术公司ＡＳＴｅＸＩｎｃ．”近几年来在研制、生产和销售先进的微波源，系列反应腔和成套微波等离子体加工设备等方面的快速发展状况，说明微波等离子体在新材料、微电子等高新科技领域的应用前景，并对比分析我国的现状和发展方向。