微波等离子体处理聚乙烯膜的表面结构分析

以ＥＳＣＡ和ＥＰＭＡ等为手段，探讨并比较了微波场下Ｎ２、Ｈｅ、ＣＯ２、Ｏ２、Ｈ２Ｏ及空气放电产生的等离子体对聚乙烯膜的表面改性与蚀刻作用。结果表明不同的等离子体处理均使样品表面引入化学形式相同但含量有所不同的含氧（－Ｃ－Ｏ－，－ＣＯ－Ｏ－）和含氮（－ＮＨ－，－ＮＨ２）极性基团，没有生成羰基（Ｃ＝Ｏ），并使样品受到不同程度的蚀刻；处理后的样品表面亲水性增强，其中以Ｎ２和Ｈｅ等离子体处理的样品亲水性提高较大；除样品表面生成了极性基团外，蚀刻作用亦是改善其亲水性的原因。

微波等离子体技术在ICF制靶中的应用

为了提高ICF精密制靶的质量,提出用微波等离子体(MP)技术,包括等离子体薄膜制备、等离子体反应性离子束刻蚀、聚焦离子束刻蚀、掺杂纳米金属粉末制备和掺杂纳米金属粉末的表面包覆改性等技术,去加以改进和解决。此方法与其它成膜技术相结合,在ICF精密制靶中得到广泛应用。