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Growth of large-area atomically thin MoS2 film via ambient pressure chemical vapor deposition 被引量:1
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作者 Caiyun Chen Hong Qiao +5 位作者 Yunzhou Xue Wenzhi Yu Jingchao Song Yao Lu Shaojuan Li Qiaoliang Bao 《Photonics Research》 SCIE EI 2015年第4期110-114,共5页
Atomically thin MoS2 films have attracted significant attention due to excellent electrical and optical properties.The development of device applications demands the production of large-area thin film which is still a... Atomically thin MoS2 films have attracted significant attention due to excellent electrical and optical properties.The development of device applications demands the production of large-area thin film which is still an obstacle.In this work we developed a facile method to directly grow large-area MoS2 thin film on Si O2 substrate via ambient pressure chemical vapor deposition method. The characterizations by spectroscopy and electron microscopy reveal that the as-grown MoS2 film is mainly bilayer and trilayer with high quality. Back-gate field-effect transistor based on such MoS2 thin film shows carrier mobility up to 3.4 cm2V-1s-1 and on/off ratio of 105. The large-area atomically thin MoS2 prepared in this work has the potential for wide optoelectronic and photonic device applications. 展开更多
关键词 Mo Growth of large-area atomically thin mos2 film via ambient pressure chemical vapor deposition area
原文传递
Vacuum current-carrying tribological behavior of MoS2-Ti films with different conductivities
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作者 裴露露 鞠鹏飞 +4 位作者 吉利 李红轩 刘晓红 周惠娣 陈建敏 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第6期563-571,共9页
Current-carrying sliding is widely applied in aerospace equipment,but it is limited by the poor lubricity of the present materials and the unclear tribological mechanism.This study demonstrated the potential of MoS_(2... Current-carrying sliding is widely applied in aerospace equipment,but it is limited by the poor lubricity of the present materials and the unclear tribological mechanism.This study demonstrated the potential of MoS_(2)-based materials with excellent lubricity as space sliding electrical contact materials by doping Ti to improve its conductivity.The tribological behavior of MoS_(2)-Ti films under current-carrying sliding in vacuum was studied by establishing a simulation evaluating device.Moreover,the noncurrent-carrying sliding and static current-carrying experiments in vacuum were carried out for comparison to understand the tribological mechanism.In addition to mechanical wear,the current-induced arc erosion and thermal effect take important roles in accelerating the wear.Arc erosion is caused by the accumulation of electric charge,which is related to the conductivity of the film.While the current-thermal effect softens the film,causing strong adhesive wear,and good conductivity and the large contact area are beneficial for minimizing the thermal effect.So the moderate hardness and good conductivity of MoS_(2)-Ti film contribute to its excellent current-carrying tribological behavior in vacuum,showing a significant advantage compared with the traditional ones. 展开更多
关键词 mos2-Ti films CONDUCTIVITY current-carrying tribological behavior VACUUM
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Ag-MoS2复合材料电磨损表面膜结构和形成机理研究(英文) 被引量:8
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作者 李庶 凤仪 +2 位作者 杨茜婷 陈淑娴 王娟 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1881-1885,共5页
采用粉末冶金方法制备了Ag-MoS2复合材料。初压压力300MPa,在H2保护气氛下烧结并保温1h,经500MPa压力的复压过程制得复合材料,用XRD对烧结后的材料进行了物相分析。对材料进行电磨损实验,并对磨损后的材料表面进行XPS分析。结果表明,复... 采用粉末冶金方法制备了Ag-MoS2复合材料。初压压力300MPa,在H2保护气氛下烧结并保温1h,经500MPa压力的复压过程制得复合材料,用XRD对烧结后的材料进行了物相分析。对材料进行电磨损实验,并对磨损后的材料表面进行XPS分析。结果表明,复合材料在烧结过程中Ag基体和MoS2并未发生化学反应,而在磨损过程中,由于电流和化学作用,材料表面产生了MoO3,MoO2,同时由粘着作用从对磨环转移到电刷表面的铜与大气分子发生化学反应产生了Cu2O,CuOandCu2S。表面膜的存在降低了材料的摩擦系数,影响着材料的电磨损性能。 展开更多
关键词 Ag-mos2复合材料 电磨损 表面膜
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水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究 被引量:2
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作者 董春萌 高晓明 +5 位作者 余兵 姜栋 胡明 王德生 翁立军 孙嘉奕 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期166-174,共9页
为考察水介质对二硫化钼(MoS2)薄膜结构和摩擦学性能的影响,采用沸腾蒸馏水对溅射MoS2薄膜进行水浴处理,并对水浴处理前后薄膜的微观结构、摩擦学性能进行了研究.研究发现,薄膜中同时存在晶体结构和非晶结构.随着水浴处理时间的延长,XR... 为考察水介质对二硫化钼(MoS2)薄膜结构和摩擦学性能的影响,采用沸腾蒸馏水对溅射MoS2薄膜进行水浴处理,并对水浴处理前后薄膜的微观结构、摩擦学性能进行了研究.研究发现,薄膜中同时存在晶体结构和非晶结构.随着水浴处理时间的延长,XRD分析结果中观察到薄膜中非晶相减少,微晶相增加,同时晶粒尺寸先减小后增大.另外,薄膜的枝状晶上产生了更多的细小枝状晶.薄膜中的残余应力也随水浴时间延长而发生明显变化.薄膜的摩擦学性能受到水浴的明显影响,当水浴处理时间为20 min时,MoS2薄膜的耐磨寿命达到未水浴处理薄膜的约2倍.分析认为,水浴处理导致溅射MoS2薄膜内应力、组织结构和晶体结构的变化,引起了其摩擦学性能的变化. 展开更多
关键词 溅射mos2薄膜 水浴 结构 耐磨寿命
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MoS2/Pb-Ti多层薄膜的结构和摩擦学性能 被引量:7
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作者 赵晓宇 张广安 +1 位作者 王立平 薛群基 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期97-106,共10页
目的设计Mo S_2/Pb-Ti多层薄膜,改善真空和大气环境下的摩擦学性能。方法采用磁控溅射技术沉积Mo S_2/Pb-Ti多层薄膜,通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、纳米压痕仪、真空和大气摩擦磨损实验,分别评价MoS_2/Pb-Ti多层薄膜的表面形貌... 目的设计Mo S_2/Pb-Ti多层薄膜,改善真空和大气环境下的摩擦学性能。方法采用磁控溅射技术沉积Mo S_2/Pb-Ti多层薄膜,通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、纳米压痕仪、真空和大气摩擦磨损实验,分别评价MoS_2/Pb-Ti多层薄膜的表面形貌、微观结构、力学性能、真空和大气环境下的摩擦学性能,并通过光学显微镜、能谱仪(EDS)、Raman光谱仪对磨痕及磨斑进行分析。结果随着MoS_2层厚度的增加,MoS_2/Pb-Ti多层薄膜的表面颗粒逐渐细化,变得更加光滑。同时,微观结构由金属相主导转变为由MoS_2相主导,弹性模量逐渐降低,硬度则先升高后降低。在真空环境下,Mo S_2/Pb-Ti多层薄膜的摩擦系数低至0.01,磨损率低至2.2×10^(-7) mm^3/(N·m),大气环境下摩擦系数低至0.07左右,磨损率低至2.7×10^(-7) mm^3/(N·m)。结论在真空摩擦磨损实验中,MoS_2层厚度过薄时,MoS_2/Pb-Ti多层薄膜的磨损机制为粘着磨损,MoS_2层厚度增加有助于形成稳定的转移膜,使得摩擦磨损大幅降低。在大气摩擦磨损实验中,Ti保护MoS_2的结构免于H_2O和O_2的破坏,使体系具有低而稳定的摩擦磨损。 展开更多
关键词 mos2 多层薄膜 真空 潮湿 摩擦 磨损
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MoS2/C复合薄膜多环境摩擦学行为的研究 被引量:4
6
作者 康皓 郭鹏 +4 位作者 蔡胜 李晓伟 段香梅 汪爱英 柯培玲 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期229-237,共9页
目的考察不同摩擦环境(真空、PAO、不同对磨副和温度)对MoS2/C复合薄膜摩擦性能的影响,并探究其摩擦磨损机理。方法使用直流磁控溅射技术(DCMS)和高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)在高速钢和硅基底上沉积MoS2/C复合薄膜。利用多功能摩擦... 目的考察不同摩擦环境(真空、PAO、不同对磨副和温度)对MoS2/C复合薄膜摩擦性能的影响,并探究其摩擦磨损机理。方法使用直流磁控溅射技术(DCMS)和高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)在高速钢和硅基底上沉积MoS2/C复合薄膜。利用多功能摩擦试验机表征薄膜在空气、PAO、不同温度条件下的摩擦学行为。利用真空摩擦试验机表征薄膜在真空及不同对磨副条件下的摩擦性能。利用场发射扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)及共聚焦激光拉曼光谱仪,分析摩擦测试后,薄膜和对磨副上的形貌、磨屑成分等。结果真空下,除氧化锆外,其他对磨副均使薄膜迅速失效。MoS2含量超过50%时,薄膜可以在真空中维持较低的摩擦系数,约为0.1。PAO环境下,边界润滑阶段摩擦系数为0.08,流体润滑阶段摩擦系数最高为0.1。随着温度从25℃升高至450℃,薄膜摩擦系数由0.09降低至0.026,450℃下,薄膜在700 s时失效。结论真空下,氧化锆和氧化铝作为对磨副可以降低MoS2/C复合薄膜的粘着性,且复合薄膜中MoS2含量超过50%,可以展示出更好的摩擦性能。PAO油润滑环境下,摩擦行为主要取决于PAO的性质。高温环境下,更高的石墨化程度与MoS2再结晶可以降低薄膜的摩擦系数。 展开更多
关键词 mos2/C复合薄膜 摩擦 固体润滑 真空 PAO 温度
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MoS2/Ti复合固体润滑膜的力学性能与摩擦特性
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作者 孙静 段泽文 +1 位作者 安帅帅 李仕华 《轴承》 北大核心 2021年第1期22-29,共8页
采用非平衡磁控溅射法在9Cr18轴承钢基底上制备了厚度约3μm的MoS2/Ti复合固体润滑膜,基于球形压头纳米压痕试验,采用连续刚度法对MoS2/Ti复合固体润滑膜的力学性能进行研究,探究MoS2/Ti复合固体润滑膜力学性能随压痕深度的变化规律;根... 采用非平衡磁控溅射法在9Cr18轴承钢基底上制备了厚度约3μm的MoS2/Ti复合固体润滑膜,基于球形压头纳米压痕试验,采用连续刚度法对MoS2/Ti复合固体润滑膜的力学性能进行研究,探究MoS2/Ti复合固体润滑膜力学性能随压痕深度的变化规律;根据压痕试验载荷-位移曲线,采用Hertz接触理论计算MoS2/Ti复合固体润滑膜的弹性模量并与试验结果进行对比;利用CSM摩擦试验机对低速、低载下MoS2/Ti复合固体润滑膜的摩擦特性进行研究;基于压痕试验提出了一种能够更准确计算钢球加载时MoS2/Ti复合固体润滑膜接触应力的方法,并计算了摩擦试验不同载荷下的接触应力。结果表明:MoS2/Ti复合固体润滑膜的力学性能和摩擦特性都会受到表面形貌的影响;除表面初始压入阶段外,MoS2/Ti复合固体润滑膜的弹性模量和接触刚度都随着压痕深度的增大而增大;滑动速度和载荷共同影响MoS2/Ti复合固体润滑膜的摩擦特性。 展开更多
关键词 滚动轴承 固体润滑轴承 mos2/Ti复合固体润滑膜 球形压头 刚度法 力学性能 摩擦因数
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载荷对MoS2/C复合薄膜摩擦学行为的影响 被引量:13
8
作者 蔡胜 郭鹏 +4 位作者 左潇 张栋 智理 柯培玲 汪爱英 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期51-58,共8页
采用直流磁控溅射与高功率磁脉冲磁控溅射制备了以Ti为过渡层的MoS_2/C复合薄膜,并对其结构、组分、力学性能以及摩擦学行为进行了研究.摩擦测试结果表明:载荷增加时,摩擦系数与磨损率呈规律性降低趋势;通过赫兹接触模型对平均摩擦系数... 采用直流磁控溅射与高功率磁脉冲磁控溅射制备了以Ti为过渡层的MoS_2/C复合薄膜,并对其结构、组分、力学性能以及摩擦学行为进行了研究.摩擦测试结果表明:载荷增加时,摩擦系数与磨损率呈规律性降低趋势;通过赫兹接触模型对平均摩擦系数进行分析拟合,发现载荷的变化带来赫兹接触面积与接触压强的不同,导致了摩擦系数的变化;通过对摩擦产物的拉曼光谱分析发现不同载荷对非晶碳石墨化程度影响不明显;借助透射电子显微镜对转移膜的微结构进行分析,发现转移膜主要是排列有序且基面平行于滑移界面的MoS_2层,使其在较高载荷下仍具有低的剪切强度,因而获得低的摩擦系数.进一步采用同一磨球、磨痕体系从高载荷到低载荷变化的连续摩擦验证式试验,可以得出,MoS_2/C复合薄膜在所有高载荷条件下获得低摩擦系数,赫兹接触起着主导作用. 展开更多
关键词 mos2/C复合薄膜 载荷 赫兹接触 摩擦产物
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MoS2薄膜负极材料的制备及其电化学行为 被引量:1
9
作者 邓文昕 吴爱民 +3 位作者 周抒予 黄慧慧 邱治文 黄昊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期8105-8110,共6页
采用射频磁控溅射技术,以MoS2为溅射靶材,在不同溅射功率下制备了系列MoS2薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜进行表征,探讨循环过程中薄膜结构与形貌变化及其对电池循... 采用射频磁控溅射技术,以MoS2为溅射靶材,在不同溅射功率下制备了系列MoS2薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜进行表征,探讨循环过程中薄膜结构与形貌变化及其对电池循环性能的影响。结果表明,所制备的薄膜为富S的MoS2非晶态薄膜;SEM分析表明薄膜中S与Mo元素分布均匀,不存在偏聚现象;XPS分析表明所制备的薄膜中存在单质S相,单质S相在整体薄膜中含量大体占14%(原子分数)左右。在初始充放电循环过程中,这些均匀分布的单质S和Li^+反应生成多硫化锂,产生不可逆损耗,从而原位形成分布均匀的多孔结构,可有效缓解薄膜后续循环过程中的体膨胀,同时增加活性材料比表面积,有利于改善薄膜比容量及循环稳定性。当靶功率为100 W时,薄膜电极循环20圈,放电比容量为429.8 mAh/g,经300圈循环,放电比容量仍可保持在420.4 mAh/g,表现出优异的循环稳定性。 展开更多
关键词 锂离子电池 负极材料 二硫化钼薄膜 多孔结构 循环性能 射频磁控溅射
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垂直型MoS2/C60范德华异质结的研究
10
作者 潘志伟 邓金祥 +5 位作者 张浩 白志英 李瑞东 王贵生 段苹 王吉有 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第1期20-26,共7页
研究了采用垂直堆垛方式构筑的MoS2/C60范德华异质结的特性。利用直流磁控溅射法制备Mo薄膜,对Mo薄膜进行硫化退火处理得到MoS2薄膜,采用真空蒸镀法在MoS2薄膜上沉积C60进而形成MoS2/C60范德华异质结,并制备了Au/MoS2/C60/Al结构的器件... 研究了采用垂直堆垛方式构筑的MoS2/C60范德华异质结的特性。利用直流磁控溅射法制备Mo薄膜,对Mo薄膜进行硫化退火处理得到MoS2薄膜,采用真空蒸镀法在MoS2薄膜上沉积C60进而形成MoS2/C60范德华异质结,并制备了Au/MoS2/C60/Al结构的器件。对MoS2薄膜的晶体结构进行了分析,对MoS2,C60及MoS2/C60薄膜的喇曼光谱及光吸收特性进行了测试和表征。结果表明:经过750℃退火后的MoS2晶型为2H型;由于在MoS2和C60薄膜之间范德华力的存在,相对于生长在Si/SiO2衬底上,沉积在MoS2上的C60薄膜喇曼特征峰发生红移;MoS2/C60薄膜在可见光范围内具有明显的光吸收特性;异质结表现出良好的整流特性,通过电子导电模型分析得出电子的传输机制包含热电子发射,空间电荷限制电流传导(SCLC)和隧穿现象。 展开更多
关键词 mos2 C60 薄膜 异质结 导电模型
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Influence of Negative Bias Voltage on the Mechanical and Tribological Properties of MoS_2/Zr Composite Films 被引量:1
11
作者 宋文龙 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2011年第3期412-416,共5页
MoS2/Zr composite films were deposited on the cemented carbide YT14 (WC+14%TiC+6%Co) by medium-frequency magnetron sputtered and coupled with multi-arc ion plated techniques.The influence of negative bias voltage ... MoS2/Zr composite films were deposited on the cemented carbide YT14 (WC+14%TiC+6%Co) by medium-frequency magnetron sputtered and coupled with multi-arc ion plated techniques.The influence of negative bias voltage on the composite film properties,including adhesion strength,micro-hardness,thickness and tribological properties were investigated.The results showed that proper negative bias voltage could significantly improve the mechanical and tribological properties of composite films.The effects of negative bias voltage on film properties were also put forward.The optimal negative bias voltage was -200 V under this experiment conditions.The obtained composite films were dense,the adhesion strength was about 60 N,the thickness was about 2.4 μm,and the micro-hardness was about 9.0 GPa.The friction coefficient and wear rate was 0.12 and 2.1×10-7 cm3/N·m respectively after 60 m sliding operation against hardened steel under a load of 20 N and a sliding speed of 200 rev·min-1. 展开更多
关键词 medium-frequency magnetron sputtering multi-arc ion plating negative bias voltage mos2/Zr composite films tribological properties
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二维MoS2/石墨烯异质结对圆偏振光的光电响应 被引量:1
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作者 吴小虎 彭英姿 +1 位作者 郑奇烨 李源 《杭州电子科技大学学报(自然科学版)》 2020年第2期74-79,共6页
使用化学气相沉积法在石墨烯/SiO2/Si基底上沉积二维MoS2薄膜制备MoS2/石墨烯异质结,探究该异质结在不同偏振态圆偏振光照射下的光电响应。研究MoS2/石墨烯异质结在不同角度圆偏振光照射下Ⅰ-Ⅴ特性曲线和开路电压的变化规律。结果表明:... 使用化学气相沉积法在石墨烯/SiO2/Si基底上沉积二维MoS2薄膜制备MoS2/石墨烯异质结,探究该异质结在不同偏振态圆偏振光照射下的光电响应。研究MoS2/石墨烯异质结在不同角度圆偏振光照射下Ⅰ-Ⅴ特性曲线和开路电压的变化规律。结果表明:MoS2/石墨烯异质结电流随圆偏振光偏振角的变化周期为π,开路电压随圆偏振光偏振角的变化周期为π/2。实验揭示了在圆偏振光激发下,MoS2/石墨烯异质结的光电响应呈现出周期性变化。 展开更多
关键词 mos2/石墨烯异质结 原子层厚度mos2薄膜 圆偏振光 Ⅰ-Ⅴ特性
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工程导向固体超滑(超低摩擦)研究进展 被引量:4
13
作者 张斌 吉利 +2 位作者 鲁志斌 李红轩 张俊彦 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期3-17,共15页
实现“零”摩擦磨损是润滑的终极目标,是保障机械系统高精度、高可靠、长寿命稳定运行和促进节能减排的关键之一.超滑,工程上称之为“超低摩擦”,从理论模拟计算开始,人们对超滑的认识和理解日益加深,但工程导向的固体超滑实现是极具挑... 实现“零”摩擦磨损是润滑的终极目标,是保障机械系统高精度、高可靠、长寿命稳定运行和促进节能减排的关键之一.超滑,工程上称之为“超低摩擦”,从理论模拟计算开始,人们对超滑的认识和理解日益加深,但工程导向的固体超滑实现是极具挑战的技术问题.目前能够实现工程尺度固体超滑的材料候选者主要有有序二维材料和碳薄膜.本文作者从原理、试验到工程应用分别综述了这些材料的研究发展现状,并总结了工程导向超滑存在的问题,并对其未来的发展方向做出展望. 展开更多
关键词 超低摩擦 超滑 石墨烯 二硫化钼 碳薄膜 第一性原理
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W掺杂花状MoS2/PFPE润滑脂真空摩擦学性能研究
14
作者 祝榕 霍丽霞 +2 位作者 周晖 张凯峰 郑玉刚 《真空与低温》 2020年第6期508-515,共8页
为了改善PFPE润滑脂在真空环境下的摩擦学性能,用水热法制备了W掺杂花状MoS2粉末,将不同比例的粉末掺杂进PFPE润滑脂,采用真空四球摩擦试验机测试了润滑脂的真空摩擦学性能;采用光学显微镜、表面轮廓仪、扫描电子显微镜与X射线光电子能... 为了改善PFPE润滑脂在真空环境下的摩擦学性能,用水热法制备了W掺杂花状MoS2粉末,将不同比例的粉末掺杂进PFPE润滑脂,采用真空四球摩擦试验机测试了润滑脂的真空摩擦学性能;采用光学显微镜、表面轮廓仪、扫描电子显微镜与X射线光电子能谱对磨痕表面进行了表征。结果表明:制备的W掺杂花状MoS2晶型较好地符合Mo(W)S2的晶型,其结构为纳米片的花状堆垛。将W掺杂花状MoS2掺杂至PFPE润滑脂中能够显著地提高润滑脂的真空摩擦学性能,随着添加量的增加,真空摩擦学性能逐渐提升。W掺杂花状MoS2能够通过物理吸附作用以及与金属发生摩擦化学反应的形式在摩擦表面形成转移膜,并通过与润滑脂中的氟碳基稠化剂共同形成转移膜,产生协同润滑作用。 展开更多
关键词 W掺杂花状mos2 PFPE 真空摩擦学性能 转移膜
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利用射频磁控溅射法制备多层MoS2薄膜
15
作者 滕世豹 杨瑞霞 +4 位作者 兰飞飞 陈春梅 田树盛 孙小婷 刘海萍 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第4期280-286,311,共8页
利用射频磁控溅射法结合退火工艺制备了多层结构的MoS2薄膜。优化溅射功率和工作气压条件,在溅射功率为30 W、工作气压为1.0 Pa条件下制备了致密度良好的MoS2薄膜,X射线衍射测量结果表明这种原生的薄膜是非晶态的。对原生的MoS2薄膜在... 利用射频磁控溅射法结合退火工艺制备了多层结构的MoS2薄膜。优化溅射功率和工作气压条件,在溅射功率为30 W、工作气压为1.0 Pa条件下制备了致密度良好的MoS2薄膜,X射线衍射测量结果表明这种原生的薄膜是非晶态的。对原生的MoS2薄膜在高纯氮气氛围下进行不同温度条件的退火,X射线衍射和拉曼散射测量结果表明,退火温度达到550℃时,MoS2薄膜开始结晶化;温度为650℃时,出现MoS2晶粒;当退火温度达到800~950℃时,薄膜转变成连续的多层MoS2薄膜,多层膜的X射线衍射峰半高宽为0.384°。这一结果表明,射频磁控溅射法结合热退火是一种制备多层MoS2薄膜的简单易行的方法。 展开更多
关键词 mos2 射频磁控溅射 退火温度 多层薄膜 溅射功率 工作气压
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固体-油脂复合润滑Ⅰ:二硫化钼膜在干摩擦及空间用油脂润滑下的摩擦学性能 被引量:16
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作者 郝俊英 翁立军 +1 位作者 孙嘉奕 刘维民 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期105-110,共6页
本文采用射频溅射技术制备了MoS2薄膜,用UMT-2MT摩擦试验机考察了MoS2膜/钢球摩擦副分别在干摩擦、氟丙基氯苯基硅油(115#油)和KK-5脂(由115#润滑油经聚四氟乙烯粉稠化制成)润滑条件下的摩擦学性能,并分析了其润滑和失效机制.结果表明:... 本文采用射频溅射技术制备了MoS2薄膜,用UMT-2MT摩擦试验机考察了MoS2膜/钢球摩擦副分别在干摩擦、氟丙基氯苯基硅油(115#油)和KK-5脂(由115#润滑油经聚四氟乙烯粉稠化制成)润滑条件下的摩擦学性能,并分析了其润滑和失效机制.结果表明:脂润滑状态下,MoS2+KK-5复合膜处于不连续的边界润滑,其摩擦学性能得到改善但不明显;115#油润滑条件下,由于连续、有效的边界润滑,使得MoS2+115#固体-油复合体系的摩擦系数低而平稳,其耐磨损寿命与单独MoS2薄膜相比提高了至少8倍;相对于上述2种情况,干摩擦条件下的MoS2膜磨损明显. 展开更多
关键词 mos2 固体-油脂复合润滑 边界润滑 摩擦磨损
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磁控溅射MoS_2薄膜的结构和微观摩擦磨损特性 被引量:11
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作者 王吉会 张化一 +1 位作者 路新春 温诗铸 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期25-27,共3页
利用磁控溅射法制取了MoS_2薄膜,通过X光电子能谱、X射线衍射和AFM/FFM方法对薄膜的表面形貌、成分、化学价态、结构和微观摩擦磨损性能进行了研究.实验结果表明:MoS_2薄膜表面呈蠕虫状,微观结构为(100)面平行于基面的非晶态,表面膜由Mo... 利用磁控溅射法制取了MoS_2薄膜,通过X光电子能谱、X射线衍射和AFM/FFM方法对薄膜的表面形貌、成分、化学价态、结构和微观摩擦磨损性能进行了研究.实验结果表明:MoS_2薄膜表面呈蠕虫状,微观结构为(100)面平行于基面的非晶态,表面膜由MoS_2和少量的MoO_3组成.在微观摩擦磨损过程中,MoS_2薄膜的摩擦系数较大,且而磨性能高;微摩擦过程中没有磨合阶段,不存在摩擦机理的转变. 展开更多
关键词 二硫化钼薄膜 结构 微观摩擦学 磁控溅射 润滑剂
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脂润滑下二硫化钼溅射膜的摩擦特性 被引量:4
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作者 罗虹 刘家浚 +2 位作者 刘芬 陈萦 胡兴中 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第4期314-319,共6页
MoS_2溅射膜通常是用于干摩擦的场合,因而对它在脂润滑下的摩擦学行为,特别是对其在边界润滑状态下的作用都还很少有人进行研究。以解决空心圆柱滚子轴承早期磨损失效为主要目的,利用球-盘摩擦磨损试验机考察了在脂润滑下Mo... MoS_2溅射膜通常是用于干摩擦的场合,因而对它在脂润滑下的摩擦学行为,特别是对其在边界润滑状态下的作用都还很少有人进行研究。以解决空心圆柱滚子轴承早期磨损失效为主要目的,利用球-盘摩擦磨损试验机考察了在脂润滑下MoS_2溅射膜的摩擦特性。结果表明,脂加MoS_2溅射膜可以在比较宽的速度和载荷范围内表现出良好的减摩性能,此外,还利用X射线光电子能谱方法测定了射频溅射MoS_2固体润滑膜的元素化学状态、成分深度分布和膜层厚度等,分析了成膜条件对MoS_2溅射膜的影响,为获得理想的MoS_2薄膜提供了科学依据。 展开更多
关键词 脂润滑 mos2溅射膜 摩擦特性 光电子能谱
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二硫化钼溅射膜在潮湿空气中贮存后润滑性能的退化与失效机理 被引量:49
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作者 王均安 于德洋 欧阳锦林 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第1期25-32,共8页
为了探讨MoS_2溅射膜在潮湿空气中贮存期间所发生的化学变化这个长期争议未了的问题,以空间机械常用的9Cr18轴承钢为底材,利用rf溅射法沉积MoS_2薄膜,并且利用X射线光电子能谱仪、俄歇电子能谱仪和X射线衍射仪等... 为了探讨MoS_2溅射膜在潮湿空气中贮存期间所发生的化学变化这个长期争议未了的问题,以空间机械常用的9Cr18轴承钢为底材,利用rf溅射法沉积MoS_2薄膜,并且利用X射线光电子能谱仪、俄歇电子能谱仪和X射线衍射仪等对这种薄膜在室温(11-15℃)下于相对湿度为100%的潮湿空气中贮存不同时间后的组成、元素价态和晶体结构进行了分析,考察了它在潮湿贮存过程中所发生的化学变化及其润滑性能的退化与失效机理,检测发现,MoS_2溅射膜经潮湿贮存一天就有少量的Mo ̄(4+)氧化生成了Mo ̄(6+),在潮湿贮存5天时又发现有少量的SO生成,随着贮存时间的延长,不仅膜中Mo ̄(6+)/Mo ̄(4+)之比在不断地增大,表明有更多的Mo ̄(4+)发生了深度氧化,而且S ̄(2-)发生氧化生成的SO之含量也越来越大。由此可见,MoS_2溅射膜在室温下于潮湿空气中贮存期间与氧和水发生了化学反应,生成物是MoO_3和H_2SO_4.H_2SO_4的生成致使薄膜表面的凝聚水呈现出pH值为1.5-2.0的强酸性,从而造成了金属底材的腐蚀。MoS_2的深度氧化和金属底材的腐蚀是导致MoS_2溅射膜在潮湿环境中润滑性能退化与失效的主要原因。 展开更多
关键词 mos2溅射膜 潮湿贮存 润滑 轴承
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磁控溅射W-T-iN/MoS_2薄膜及其摩擦学性能研究 被引量:6
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作者 胡志立 李长生 +5 位作者 莫超超 唐华 孙建荣 杨峰 郭志成 李洪苹 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1061-1066,共6页
采用W靶、Ti靶及MoS2靶,先制备W-T-iN薄膜,然后再在其上面沉积MoS2纳米薄膜得到W-T-iN/MoS2纳米双层薄膜,通过多次实验得到溅射W-T-iN/MoS2薄膜的最佳工艺如下:溅射气压1.0 Pa,靶基距为100 mm,溅射功率为:W靶,Ti靶均为200W,MoS2靶为150... 采用W靶、Ti靶及MoS2靶,先制备W-T-iN薄膜,然后再在其上面沉积MoS2纳米薄膜得到W-T-iN/MoS2纳米双层薄膜,通过多次实验得到溅射W-T-iN/MoS2薄膜的最佳工艺如下:溅射气压1.0 Pa,靶基距为100 mm,溅射功率为:W靶,Ti靶均为200W,MoS2靶为150 W;制备W-T-iN薄膜溅射时间为1 h,样品台加热600℃;制备MoS2纳米层时间为0.5 h。使用X射线衍射仪,扫描电子显微镜对薄膜的成分和结构进行分析。采用纳米压痕测试系统测试薄膜的纳米硬度和弹性模量,采用VEECOWYKONT1100非接触光学表面轮廓仪测试薄膜的表面及磨痕粗糙度;UMT-3摩擦磨损试验机在大气、室温、无润滑条件下对薄膜摩擦磨损性能分析,结果表明:在大气环境中,W-T-iN/MoS2薄膜摩擦性能要优于纯W-T-iN薄膜。 展开更多
关键词 W-Ti-N mos2薄膜 磁控溅射 摩擦学性能
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