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刻蚀波导粗糙面散射的矩量法数值分析 被引量:3
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作者 宋军 何赛灵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1312-1315,共4页
用矩量法对刻蚀波导粗糙面的散射特性做出了精确的数值分析 基于MonteCarlo方法建立高斯粗糙面数学模型 ,证明矩量法在分析刻蚀波导散射问题时 ,是可以应用于不同起伏高度、不同入射角的一种精确而高效的数值方法 对不同起伏高度的两... 用矩量法对刻蚀波导粗糙面的散射特性做出了精确的数值分析 基于MonteCarlo方法建立高斯粗糙面数学模型 ,证明矩量法在分析刻蚀波导散射问题时 ,是可以应用于不同起伏高度、不同入射角的一种精确而高效的数值方法 对不同起伏高度的两种偏振态 ,分别在小角度入射和大角度入射两种情况的随机散射特性应用矩量法做出了分析 并以基于二氧化硅波导的EDG器件为例 。 展开更多
关键词 粗糙面 散射 矩量法 moilte CARLO方法 平面波导 刻蚀衍射光栅(EDG)
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