新型三维位移场测试理论及系统研究

研究建立了可同时进行三维位移场测试的新型光测力学实验系统。平面位移测试基于云纹干涉方法 ,但采用与普通云纹干涉不同的光路系统 ,利用试件光栅和平面反射镜组形成的两次衍射 ,使平面位移干涉条纹倍增 ,测量灵敏度是普通云纹干涉的 2倍。采用泰曼 /格林干涉光路测量离面位移。整个系统具有构造新颖、便于调节、位移场条纹对比度高等特点。用波前干涉理论 ,建立了位移条纹方程式 ,与由多普勒频移原理建立的位移条纹方程式取得了一致的表达结果。通过微电子器件三维热变形的测量 。