期刊文献+
共找到163篇文章
< 1 2 9 >
每页显示 20 50 100
Dynamic Stiffness Analysis and Experimental Verification of Axial Magnetic Bearing Based on Air Gap Flux Variation in Magnetically Suspended Molecular Pump 被引量:1
1
作者 Jinji Sun Wanting Wei +1 位作者 Jiqiang Tang Chun‑E Wang 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第4期139-149,共11页
Current and displacement stiffness are important parameters of axial magnetic bearing(AMB)and are usually considered as constants for the control system.However,in actual dynamic work situations,time-varying force lea... Current and displacement stiffness are important parameters of axial magnetic bearing(AMB)and are usually considered as constants for the control system.However,in actual dynamic work situations,time-varying force leads to time-varying currents and air gap with a specific frequency,which makes the stiffness of appear decrease and even worsens control performance for the whole system.In this paper,an AMB dynamic stiffness model considering the flux variation across the air gap due to frequency is established to obtain the accurate dynamic stiffness.The dynamic stiffness characteristics are analyzed by means of the dynamic equivalent magnetic circuit method.The analytical results show that the amplitude of current and displacement stiffness decreases with frequency increasing.Moreover,compared with the stiffness model without considering the variation of flux density across the air gap,the improved dynamic stiffness results are closer to the actual results.Through the dynamic stiffness measurement method of AMB,experiments of AMB in magnetically suspended molecular pump(MSMP)are carried out and the experimental results are consistent with theoretical analysis results.This paper proposes the dynamic stiffness model of axial magnetic bearing considering the variation of flux density across the air gap,which improves the accuracy of the AMB stiffness analysis. 展开更多
关键词 Axial magnetic bearing(AMB) Dynamic stiffness Magnetically suspended molecular pump(MSMP)
下载PDF
用Pump-dump-probe瞬态吸收光谱监测分子高振动激发态动力学(英)
2
作者 程继新 何国钟 +3 位作者 沈振文 双丰 赵仪 严以京 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1998年第6期519-524,共6页
给出了监测外场激发下分子动力学过程的瞬态吸收信号的确切理论表述。在数值计算中,采用I2的一个二势能面系统,得到了监测基电子态高振动激发波包的吸收光谱。I2的B电子激发态被用作双光子pump-dump过程的中间态。提出了一个二阶差... 给出了监测外场激发下分子动力学过程的瞬态吸收信号的确切理论表述。在数值计算中,采用I2的一个二势能面系统,得到了监测基电子态高振动激发波包的吸收光谱。I2的B电子激发态被用作双光子pump-dump过程的中间态。提出了一个二阶差谱探测方案,即从弱响应区域的第5阶(pump-dump-probe)非线性光谱中提取分子动力学信息。 展开更多
关键词 pump-dump 瞬态吸收光谱 分子动力学 激发态
下载PDF
磁悬浮分子泵转子振动抑制研究
3
作者 姚润晖 周瑾 +2 位作者 丁嵩 张越 徐园平 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期116-122,共7页
磁悬浮分子泵具有工作转速高、转子极转动惯量大等特点,针对磁悬浮分子泵转子在升速过程中出现的弯曲模态振动以及涡动模态振动,提出了一种基于滤波交叉反馈与陷波器的大转动惯量磁悬浮转子控制方法。建立磁悬浮轴承-大转动惯量刚性转... 磁悬浮分子泵具有工作转速高、转子极转动惯量大等特点,针对磁悬浮分子泵转子在升速过程中出现的弯曲模态振动以及涡动模态振动,提出了一种基于滤波交叉反馈与陷波器的大转动惯量磁悬浮转子控制方法。建立磁悬浮轴承-大转动惯量刚性转子系统数学模型,求解得出转子涡动模态频率,根据该模型分析了滤波交叉反馈控制器对涡动模态振动的抑制效果,并且设计了陷波器用于抑制不同转速下的转子弯曲模态振动。试验结果表明,磁悬浮分子泵稳定升速至工作转速18000 r/min,转子振动位移为35μm,弯曲模态振动以及涡动模态振动得到了有效抑制。 展开更多
关键词 磁悬浮分子泵 交叉反馈控制 陷波滤波器 振动抑制
下载PDF
基于改进BP的分子泵故障诊断研究
4
作者 周阳 袁啸林 +6 位作者 江明 左桂忠 刘鹏 侯吉磊 陈跃 庄会东 成志新 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期220-228,共9页
分子泵为EAST装置提供洁净的真空环境,其运行状态影响EAST实验的顺利开展。由于在EAST实验运行过程中,分子泵设备可能会出现异物坠入或者真空泄漏故障,对装置造成次生危害。针对分子泵故障数据集不平衡导致故障诊断精度低以及模型过拟... 分子泵为EAST装置提供洁净的真空环境,其运行状态影响EAST实验的顺利开展。由于在EAST实验运行过程中,分子泵设备可能会出现异物坠入或者真空泄漏故障,对装置造成次生危害。针对分子泵故障数据集不平衡导致故障诊断精度低以及模型过拟合问题,提出一种基于时域频域预处理与改进BP相结合的算法,实现分子泵故障诊断。通过在BP神经网络的基础上,引入粒子群算法(PSO)并结合五折交叉验证优化模型。首先在模拟分子泵故障的破坏性测试平台上,采集正常态、真空泄漏以及异物坠入故障振动信号,然后对数据进行时域频域特征提取融合,将得到的特征向量集作为优化算法的输入,对模型进行训练,实现分子泵故障诊断。经实验验证,所提出改进BP算法在诊断精确率上可以达到96.84%,优于支持向量机(SVM)、K近邻(KNN)和BP算法。 展开更多
关键词 分子泵 时域频域分析 粒子群算法 交叉验证 故障诊断
下载PDF
基于模态分析和神经网络的分子泵故障检测方法研究
5
作者 郑悦 周盈 +1 位作者 綦磊 李一博 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期687-694,共8页
分子泵一种基于气体分子定向运动而产生真空环境的装置,在空间环境模拟等试验中至关重要,其内部结构精密而复杂,长期使用后可能会产生真空度不足等故障,如何及时准确地诊断分子泵的运行状态格外关键。文章提出了一种基于模态分析的降噪... 分子泵一种基于气体分子定向运动而产生真空环境的装置,在空间环境模拟等试验中至关重要,其内部结构精密而复杂,长期使用后可能会产生真空度不足等故障,如何及时准确地诊断分子泵的运行状态格外关键。文章提出了一种基于模态分析的降噪技术,并采用神经网络对采集到的信号数据进行故障诊断与识别。实验结果表明,该方法的平均诊断准确率达到了90.0%,有效地实现了分子泵的故障检测和状态评估。 展开更多
关键词 分子泵 故障诊断 小波包能量 BP 神经网络
下载PDF
分子泵用无位置传感器无刷直流电机控制器设计
6
作者 王彦劼 李强 陶继忠 《机械》 2024年第2期65-71,共7页
首先介绍了无刷直流电机的基本模型和特性,对无位置传感器控制方式的基本原理进行研究。随后据此设计了一种分子泵用无位置传感器无刷直流电机控制系统,该系统采用反电势过零点检测方法获取转子位置信息,以进行换相逻辑控制,改进了电机... 首先介绍了无刷直流电机的基本模型和特性,对无位置传感器控制方式的基本原理进行研究。随后据此设计了一种分子泵用无位置传感器无刷直流电机控制系统,该系统采用反电势过零点检测方法获取转子位置信息,以进行换相逻辑控制,改进了电机的预定位及启动方式,降低了分子泵电机结构设计的复杂度,提高了分子泵的可靠性。接着从硬件设计和软件控制策略部分详细介绍了该控制系统。最后在实验平台上进行验证。使用所设计的控制器对分子泵进行驱动实验,结果表明,分子泵能够稳定启动并进入额定工作状态,分子泵额定转速可达90 000 r/min,且转速波动可稳定在±60 r/min内。 展开更多
关键词 无位置传感器 无刷直流电机 分子泵 电机控制器
下载PDF
分子泵体积流率检测标准方法的探讨
7
作者 乔忠路 王玲玲 +3 位作者 李智慧 刘诗梦 宋青竹 战春鸣 《真空》 CAS 2024年第4期58-64,共7页
全面论述了分子泵的发展、体积流率检测方法及应用等内容。介绍了分子泵体积流率测量的国内外标准,重点探讨了流量法和小孔法两种体积流率测试方法,以FF-160/620C分子泵为对象,分别用这两种方法测量了其在特定压力下的体积流率,详细介... 全面论述了分子泵的发展、体积流率检测方法及应用等内容。介绍了分子泵体积流率测量的国内外标准,重点探讨了流量法和小孔法两种体积流率测试方法,以FF-160/620C分子泵为对象,分别用这两种方法测量了其在特定压力下的体积流率,详细介绍了测量原理、流程、结果及不确定度。结果表明,在流量计满足要求的情况下,流量法更具优势。最后介绍了分子泵在特殊工况下如强磁、耐腐蚀等环境下的测量方法和意义。 展开更多
关键词 分子泵 体积流率 流量法 小孔法
下载PDF
用于深层组织分子成像的小型化光声/超声内窥成像探头
8
作者 张嘉禧 李凌峰 +1 位作者 钟洪文 肖嘉莹 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第21期133-141,共9页
结直肠癌是全球癌症死亡的主要原因之一,常用的光学或超声消化道内镜仍然存在穿透深度低、对比度差、功能/分子成像能力不足等问题.本文介绍了一种小型化的手持式光声/超声双模态内窥探头,旨在克服现有技术在穿透深度和分子成像能力方... 结直肠癌是全球癌症死亡的主要原因之一,常用的光学或超声消化道内镜仍然存在穿透深度低、对比度差、功能/分子成像能力不足等问题.本文介绍了一种小型化的手持式光声/超声双模态内窥探头,旨在克服现有技术在穿透深度和分子成像能力方面的限制.实验结果表明,该探头在组织12 mm深度下分别达到了345μm的光声横向分辨率和185μm的超声横向分辨率,并具有良好的对复杂结构目标成像的能力.本文还利用泵浦探测技术排除了血液背景的干扰,实现了肿瘤深层组织内亚甲基蓝分子的高特异性成像.这种小型化手持式光声/超声双模态内窥探头兼具大成像深度、高空间分辨和高特异性分子成像的特点,有望成为结直肠癌等消化道肿瘤诊断的重要工具,为早期诊断和治疗监测提供强有力的支持. 展开更多
关键词 光声内窥成像 多模态 泵浦探测 分子影像
下载PDF
踝泵训练联合低分子肝素钙治疗脑卒中偏瘫合并下肢深静脉血栓有效性及安全性
9
作者 李叶子 余平 《中国实用神经疾病杂志》 2024年第5期616-621,共6页
目的 探讨踝泵训练联合低分子肝素钙治疗脑卒中偏瘫合并下肢深静脉血栓有效性及安全性。方法 随机选取2020-07—2022-09于武汉大学附属同仁医院/武汉市第三医院诊治的119例脑卒中偏瘫合并下肢深静脉血栓患者为研究对象,按照随机数字表... 目的 探讨踝泵训练联合低分子肝素钙治疗脑卒中偏瘫合并下肢深静脉血栓有效性及安全性。方法 随机选取2020-07—2022-09于武汉大学附属同仁医院/武汉市第三医院诊治的119例脑卒中偏瘫合并下肢深静脉血栓患者为研究对象,按照随机数字表法分为训练组40例、药物组40例及联合组39例,分别给予踝泵训练干预、低分子肝素钙干预及联合干预。分析患者治疗有效性及安全性。观察血液相关指标、肢体功能、日常生活能力变化。结果 联合组治疗有效率(92.31%)明显高于训练组(75.00%)及药物组(70.00%,P<0.05)。干预后,3组患者血液相关指标均明显降低(P<0.05),且联合组纤维蛋白原(FIB)、D-二聚体(D-D)、血浆黏度及全血黏度低于训练组与药物组(P<0.05),凝血酶原时间(PT)水平高于训练组与药物组(P<0.05)。干预后3组患者患者肢体功能均明显升高(P<0.05),联合组各指标高于训练组与药物组(P<0.05)。干预后3组患者患者ADL评分及BI评分均明显升高(P<0.05),联合组各指标高于训练组与药物组(P<0.05)。联合组不良反应发生率(2.56%)明显低于训练组(22.50%)及药物组(22.50%,P<0.05)。训练组与药物组各指标均无统计学差异(P>0.05)。结论 踝泵训练联合低分子钙素钙在脑卒中偏瘫合并下肢深静脉血栓患者的治疗中具有较高的有效性,能够显著减轻血液粘稠度,改善凝血功能与肢体运动功能,有利于提高患者的生活质量,且安全性较高。 展开更多
关键词 踝泵训练 低分子肝素钙 脑卒中 偏瘫 下肢深静脉血栓 肢体运动功能
下载PDF
膜分离技术在氢气纯化中的应用
10
作者 肖文涛 李非凡 +2 位作者 王杰鹏 张安然 刘岩岩 《山东化工》 CAS 2024年第10期180-182,共3页
随着全球变暖和世界人口日益增加,农业、工业以及其他人类活动均需能源提供动力。寻求有效方法来平衡能源产生与需求至关重要,风能和太阳能等能源具有不可调控性和难储存性,因此可再生能源的利用需要更合适的能源储存方式。氢是一种清... 随着全球变暖和世界人口日益增加,农业、工业以及其他人类活动均需能源提供动力。寻求有效方法来平衡能源产生与需求至关重要,风能和太阳能等能源具有不可调控性和难储存性,因此可再生能源的利用需要更合适的能源储存方式。氢是一种清洁高效的能源载体,氢经济被广泛认为是未来能源安全和可持续性发展的潜在解决方案。在工业体系中,氢也作为一种广泛应用的化工原料。本文重点关注膜分离技术在氢气纯化中的发展和应用,介绍技术优缺点,分析工业潜力和发展方向。 展开更多
关键词 氢气纯化 钯膜 碳分子筛膜 电化学氢泵 离子液体膜
下载PDF
分子泵的世纪回顾与展望 被引量:17
11
作者 杨乃恒 巴德纯 +1 位作者 王晓冬 于治明 《真空》 CAS 北大核心 2001年第2期1-14,共14页
分子泵自 1912年诞生以来 ,至今已快近一个世纪了。它在初期进展较缓慢 ,在 1970年以前 ,分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等领域。但近 2 0年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展 ,分子泵才被人们所重视 ,并得到了兴... 分子泵自 1912年诞生以来 ,至今已快近一个世纪了。它在初期进展较缓慢 ,在 1970年以前 ,分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等领域。但近 2 0年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展 ,分子泵才被人们所重视 ,并得到了兴旺和发达 ,现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段。本文回顾了分子泵近百年的发展历史 ;详细地介绍了分子泵在各个时期的发展状况 ;对初期的分子泵、涡轮分子泵、磁悬浮轴承和气体静压轴承式涡轮分子泵、复合式分子泵、低温型涡轮分子泵、新型牵引分子泵、陶瓷涡轮分子泵 ,抽反应生成物的涡轮分子泵和极高真空涡轮分子泵等做了重点的分析。最后指出分子泵的发展前景。 展开更多
关键词 分子泵 牵引分子泵 真空泵 涡轮分子泵 复合分子泵 磁悬浮轴承 气体静压轴承 陶瓷分子泵
下载PDF
现代涡轮分子泵的进展 被引量:21
12
作者 巴德纯 王晓冬 +1 位作者 刘坤 杨乃恒 《真空》 CAS 北大核心 2010年第4期1-6,共6页
本文叙述了涡轮分子泵近期迅速发展的原因,涡轮分子泵采用的轴承型式的演变过程,宽域型复合分子泵的开发与磁悬浮轴承在涡轮分子泵上的应用。
关键词 涡轮分子泵 磁悬浮轴承 轴承分类 宽域复合分子泵
下载PDF
涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析 被引量:12
13
作者 王晓冬 张磊 +2 位作者 巴德纯 蒋婷婷 陶继忠 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期432-435,共4页
采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算效率。分别采用涡轮叶片几何中值... 采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算效率。分别采用涡轮叶片几何中值参数计算方法、沿涡轮叶片齿长逐段积分方法,对单级涡轮叶片和涡轮分子泵的抽气性能进行了计算,并与实验结果进行了对比。发现:采用涡轮叶片几何中值参数计算涡轮叶片抽气性能存在误差,对涡轮分子泵抽气性能的计算值偏高,其计算误差远大于分段积分法的计算误差,后者更适用于对分子泵抽气性能的设计计算。 展开更多
关键词 涡轮分子泵 传输几率 数据回归 抽气性能 误差分析
下载PDF
螺旋槽式牵引泵过渡流态抽气特性的直接蒙特卡洛模拟 被引量:8
14
作者 王晓冬 金磊 +2 位作者 钟亮 巴德纯 杨乃恒 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期517-521,共5页
为研究螺旋槽式牵引分子泵(DMP)过渡流态下的抽气特性,采用直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对抽气通道内的流动规律进行了数值模拟。通过数值模拟,考察了抽气通道几何参数:入口、出口槽深,槽长,螺旋升角以及螺旋槽数量与泵抽气特性参数:传... 为研究螺旋槽式牵引分子泵(DMP)过渡流态下的抽气特性,采用直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对抽气通道内的流动规律进行了数值模拟。通过数值模拟,考察了抽气通道几何参数:入口、出口槽深,槽长,螺旋升角以及螺旋槽数量与泵抽气特性参数:传输几率的关系。模拟结果表明:增加抽气通道入口槽深可提高泵的抽速;出口槽深、螺旋倾角均存在最佳值,可获得大的抽速和压缩比;延长槽长、增加槽数对抽速影响不大,可以提高压缩比。本文的研究结果表明,直接模拟蒙特卡罗方法可以较好地模拟牵引分子泵三维抽气通道内过渡流态的流动特性,可用于优化设计抽气通道几何参数,提高牵引分子泵的抽气性能。 展开更多
关键词 牵引分子泵 螺旋槽式 过渡流态 蒙特卡洛方法 数值模拟
下载PDF
磁悬浮分子泵的振动抑制 被引量:8
15
作者 张剀 戴兴建 +3 位作者 张小章 武涵 邹蒙 李奇志 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期556-562,共7页
2000L磁悬浮分子泵研制中,遇到复杂振动问题:转子弯曲模态共振;陀螺效应造成动力学失稳;叶轮叶片导致转子颤振;成因复杂的机电耦合模态振动。它们同时出现,严重影响转子稳定性,给振动抑制带来困难,需进行精细的控制器设计。控制器中,对... 2000L磁悬浮分子泵研制中,遇到复杂振动问题:转子弯曲模态共振;陀螺效应造成动力学失稳;叶轮叶片导致转子颤振;成因复杂的机电耦合模态振动。它们同时出现,严重影响转子稳定性,给振动抑制带来困难,需进行精细的控制器设计。控制器中,对不同振动采用不同方法抑制:陀螺效应依靠交叉反馈控制;弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动,依靠各种不同的控制器传递函数相位整形方法。试验验证了方法的有效性,分子泵平稳升速到24000 r/min,样机达到了设计真空性能指标。 展开更多
关键词 分子泵 磁轴承 振动 控制器
下载PDF
盘型分子泵3D过渡流特性 被引量:3
16
作者 巴德纯 刘波 +2 位作者 王晓冬 杨乃恒 于治明 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期11-15,共5页
采用直接模拟蒙特卡罗方法对过渡流态下盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究 ,并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响。指出了通过改变泵的尺寸参数提高抽气系数的途径。最后 ,进行了实验研究和模拟研究结果的对比 。
关键词 盘型分子泵 过渡流特性 抽气特性 直接模拟蒙特卡罗法 DSMC 麦氏分布
下载PDF
复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响 被引量:3
17
作者 王晓冬 张磊 +1 位作者 巴德纯 陶继忠 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1437-1440,共4页
建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型.依据该理论模型,在牵引级不同螺旋升角、转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下,对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系进行了研究.结果表明:压缩比随螺旋槽深的减小,先增加后减小,... 建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型.依据该理论模型,在牵引级不同螺旋升角、转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下,对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系进行了研究.结果表明:压缩比随螺旋槽深的减小,先增加后减小,存在最优螺旋槽深,使牵引级的压缩比达到最大;螺旋升角对最优螺旋槽深影响较小;最优螺旋槽深随转子-定子间隙减小而减小,随转子转速的增加而增加;当被抽气体为黏滞流时,最优槽深值更小. 展开更多
关键词 复合分子泵 牵引级 理论模型 压缩比 最优槽深
下载PDF
进气口导流叶列对M型分子/增压泵抽速的影响 被引量:3
18
作者 储继国 王雅婷 +2 位作者 陈列东 褚珍珍 龚建华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期396-400,共5页
分子/增压泵抽气槽的入口流导是限制抽速的主要原因。抽气槽进气口增设一组百叶窗式导流叶列,可以显著减少入口流导的影响,大幅度提高抽气槽的抽速。本文分析了导流叶列的工作机理,提出了叶列参数优化方法,优化后的抽速可以提高20%。实... 分子/增压泵抽气槽的入口流导是限制抽速的主要原因。抽气槽进气口增设一组百叶窗式导流叶列,可以显著减少入口流导的影响,大幅度提高抽气槽的抽速。本文分析了导流叶列的工作机理,提出了叶列参数优化方法,优化后的抽速可以提高20%。实测结果与理论值符合得很好。 展开更多
关键词 分子泵 分子/增压泵 抽速 导流叶列
下载PDF
分子泵对Xe气抽速的测试 被引量:5
19
作者 郭宁 邱家稳 江豪成 《真空》 CAS 北大核心 2007年第2期15-17,共3页
在不同Xe气流量下测量了F-400/3500和F-250/1500分子泵对Xe气的抽速,指出分子泵对Xe气的抽速是其对N2抽速的0.6~0.8倍。这一折算系数和泵的型号有关,和泵口真空度也相关。
关键词 分子泵 抽速 XE
下载PDF
基于FMECA的高速小型复合分子泵故障分析 被引量:2
20
作者 刘有海 张明君 +3 位作者 舒行军 王文升 陶继忠 孙鹏飞 《兵工自动化》 2017年第1期68-70,共3页
针对高速小型复合分子泵各组成单元潜在的各种故障模式及其对产品功能的影响,提出一种基于FMECA的预防或改进措施。通过分析高速小型复合分子泵的各种故障模式及其对整机性能的影响,绘制了高速小型复合分子泵的危害性矩阵图,并确定了支... 针对高速小型复合分子泵各组成单元潜在的各种故障模式及其对产品功能的影响,提出一种基于FMECA的预防或改进措施。通过分析高速小型复合分子泵的各种故障模式及其对整机性能的影响,绘制了高速小型复合分子泵的危害性矩阵图,并确定了支承单元和驱动单元是高速小型复合分子泵的可靠性关键件、薄弱环节。分析结果表明:该研究提出的相应预防或改进措施,为高速小型复合分子泵的优化设计、可靠性增长和故障分析定位提供了可信的参考依据。 展开更多
关键词 可靠性 故障模式 危害性分析 复合分子泵
下载PDF
上一页 1 2 9 下一页 到第
使用帮助 返回顶部