期刊文献+
共找到92篇文章
< 1 2 5 >
每页显示 20 50 100
An improved Monte Carlo method of low-energy electron scattering in solids
1
作者 谭震宇 柯延才 杨进 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1996年第9期783-788,共6页
The studies on the theories and calculation method of low-energy electron scattering(LEES) in solids have provided a basis for the development of electron microscopy andelectron beam lithography. In the energy region ... The studies on the theories and calculation method of low-energy electron scattering(LEES) in solids have provided a basis for the development of electron microscopy andelectron beam lithography. In the energy region where the primary energy of incident elec- 展开更多
关键词 LOW-energy electron SCATTERING monte carlo method INELASTIC scattering.
原文传递
Monte Carlo方法模拟低能电子束曝光电子散射轨迹 被引量:8
2
作者 任黎明 陈宝钦 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期1519-1524,共6页
建立了一个适用于描述低能电子散射的物理模型 ,利用 Monte Carlo方法对低能电子在多元多层介质中的散射过程进行模拟 .低能电子弹性散射采用较严格的 Mott截面描述 ,为了节约机时 ,利用查表与线性插值方法获得 Mott截面值 ;低能电子非... 建立了一个适用于描述低能电子散射的物理模型 ,利用 Monte Carlo方法对低能电子在多元多层介质中的散射过程进行模拟 .低能电子弹性散射采用较严格的 Mott截面描述 ,为了节约机时 ,利用查表与线性插值方法获得 Mott截面值 ;低能电子非弹性散射能量损失采用 Joy修正的 Bethe公式计算 ,并对其加以改进 ,引入多元介质平均电离电位、平均原子序数、平均原子量概念 ,利用线性插值方法给出光刻胶 PMMA对应的 k值 .对电子穿越多层介质提出一种新的边界处理方法 .在此基础上运用 Monte Carlo方法模拟高斯分布低能电子束在 PMMA-衬底中的复杂散射过程 .模拟结果表明低能电子束曝光具有曝光效率高、邻近效应低、对衬底损伤轻等优点 ,与 L ee、Peterson等人通过实验得出的结论相符 . 展开更多
关键词 电子束曝光 电子散射 蒙特卡洛法 半导体工艺
下载PDF
基于Monte Carlo模拟法快速计算电子束放射治疗的剂量分布 被引量:3
3
作者 翁学军 罗立民 汪家旺 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期454-456,共3页
本文运用MC(MonteCarlo)方法来计算电子束放疗的三维剂量分布 ,以EGS4和PENELOPE为基础编制了专门计算电子束剂量分布的MC模拟程序LISTMC ,以克服目前临床上采用的算法在处理人体复杂几何结构和不均匀介质时误差较大的问题 .针对EGS4计... 本文运用MC(MonteCarlo)方法来计算电子束放疗的三维剂量分布 ,以EGS4和PENELOPE为基础编制了专门计算电子束剂量分布的MC模拟程序LISTMC ,以克服目前临床上采用的算法在处理人体复杂几何结构和不均匀介质时误差较大的问题 .针对EGS4计算时间过长的缺陷 ,采取了取消体元边界对电子步长限制和代码优化等措施来提高计算速度 ,当入射电子能量为 6MeV时 ,用时只有EGS4 PRESTA的 1/ 10左右 ; 展开更多
关键词 剂量计算 放射治疗 电子束 蒙特卡洛法 肿瘤治疗
下载PDF
Monte Carlo模拟电子在球壳模型中的能量沉积分布 被引量:2
4
作者 肖中银 王传珊 罗文芸 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2001年第4期371-373,共3页
高能电子和物质相互作用是一个级联簇射 (shower)物理过程 .空间飞行器防护系统就是利用这一原理 ,通过宇宙中的电子在飞行器中产生的 shower电子 ,来了解其中半导体器件的有关信息 .该文利用 Monte Carlo方法 ,采用 PENEL OPE(Penetrat... 高能电子和物质相互作用是一个级联簇射 (shower)物理过程 .空间飞行器防护系统就是利用这一原理 ,通过宇宙中的电子在飞行器中产生的 shower电子 ,来了解其中半导体器件的有关信息 .该文利用 Monte Carlo方法 ,采用 PENEL OPE(Penetration and Energy L oss of Positrons and Electrons)软件包 ,对电子在飞行器中的运动过程进行模拟 ,给出球壳和半导体材料中的能量沉积分布 。 展开更多
关键词 电子束 monte carlo方法 PENELOPE 能量沉积 球壳模型 空间飞行器 防护系统 级联簇射物理过程
下载PDF
Monte Carlo模拟对放疗中电子反散射谱的研究 被引量:3
5
作者 林辉 宋钢 吴宜灿 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期17-20,共4页
电子束治疗腮、耳垂等敏感处肿瘤时,经常需要挡铅以保护正常组织,由此产生电子的反散射效应。本文用蒙特卡罗程序模拟了10MeV临床电子束谱随深度的变化;给出了多种散射体的反散射谱平均能量与基本电子谱平均能量的比值随平均束能量的变... 电子束治疗腮、耳垂等敏感处肿瘤时,经常需要挡铅以保护正常组织,由此产生电子的反散射效应。本文用蒙特卡罗程序模拟了10MeV临床电子束谱随深度的变化;给出了多种散射体的反散射谱平均能量与基本电子谱平均能量的比值随平均束能量的变化曲线。并从能谱的观点,对反散射效应强弱随深度的变化关系作了定性分析,得到与文献一致的结论。 展开更多
关键词 蒙特卡罗模拟 临床电子束 电子反散射效应 谱特征 平均束能量
下载PDF
低能电子束曝光中的Monte Carlo方法及沉积能分布 被引量:3
6
作者 谭震宇 何延才 《计算物理》 CSCD 北大核心 1997年第4期499-501,共3页
建立一个低能电子在多元多层介质中散射MonteCarlo模拟计算方法。低能电子在多元介质中弹性散射用Mot截面描述并应用作者提出的平均散射截面方法进行模拟计算;给出多元介质中修正的Bethe方程计算低能电子非弹性散射... 建立一个低能电子在多元多层介质中散射MonteCarlo模拟计算方法。低能电子在多元介质中弹性散射用Mot截面描述并应用作者提出的平均散射截面方法进行模拟计算;给出多元介质中修正的Bethe方程计算低能电子非弹性散射能量损失。计算了低能电子在电子束曝光胶中能量沉积分布。 展开更多
关键词 低能电子散射 电子束曝光 能量沉积 集成电路
下载PDF
NSRL电子储存环束流损失过程的Monte-Carlo计算 被引量:1
7
作者 李裕熊 邵贝贝 +1 位作者 田雨润 崔永刚 《辐射防护》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期238-241,共4页
高能电子和物质相互作用是一个级联簇射 (shower)物理过程。 NSRL电子储存环 (HLS)束流损失监测系统利用这一原理 ,通过探测束流损失电子在储存环真空室外表面产生的 shower电子 ,给出束流损失的有关信息。本文利用 Monte- Carlo方法 ,... 高能电子和物质相互作用是一个级联簇射 (shower)物理过程。 NSRL电子储存环 (HLS)束流损失监测系统利用这一原理 ,通过探测束流损失电子在储存环真空室外表面产生的 shower电子 ,给出束流损失的有关信息。本文利用 Monte- Carlo方法 ,采用 EGS4软件包 ,对束流损失电子与真空室壁相互作用的过程进行模拟 ,给出了真空室外表面 shower电子的分布特点 :(1) shower电子在真空室外表面是前冲性很强的粒子 ;(2 )在垂直方向的分布是比较窄的对称分布 ,对束流损失探测器的安装有一定的要求 ;(3)打在真空室内侧壁上的电子及其产生的 shower电子有机会反射到外侧壁 ,并进一步发生 shower过程 ,但其影响会低两个量级以上 ;(4) shower电子在真空室外表面上的分布 。 展开更多
关键词 monte-carlo方法 GS4 束流损失 加速器 Shower电子分布 NSRL电子储存环
下载PDF
Monte Carlo方法模拟低能电子在多元介质中散射——基于平均散射截面方法 被引量:3
8
作者 谭震宇 何延才 《计算物理》 CSCD 北大核心 2000年第3期331-336,共6页
应用基于平均散射截面低能电子在多元介质中散射MonteCarlo方法 ,模拟E0 ≤ 5keV低能电子在多种多元介质中散射。计算了电子背散射系数 ,背散射电子能谱、角分布 ,入射电子、背散射电子在介质中的作用范围、沉积能分布 ,并与确定散射中... 应用基于平均散射截面低能电子在多元介质中散射MonteCarlo方法 ,模拟E0 ≤ 5keV低能电子在多种多元介质中散射。计算了电子背散射系数 ,背散射电子能谱、角分布 ,入射电子、背散射电子在介质中的作用范围、沉积能分布 ,并与确定散射中心方法的结果比较。两种方法计算结果广泛一致 ,进一步证明基于平均散射截面方法的有效性和可靠性。入射电子能量较低 ,介质平均原子序数较大时 ,计算的背散射电子角分布不服从余弦分布律。 展开更多
关键词 低能电子散射 多元介质 散射 原子 蒙特卡罗法
下载PDF
Monte Carlo方法计算低能电子作用下固体背散射电子发射及空间分布 被引量:1
9
作者 谭震宇 何延才 《计算物理》 CSCD 北大核心 2001年第3期253-258,共6页
应用MonteCarlo方法 ,对能量E0 5keV低能电子作用下固体Al、Cu、Ag、Au的背散射电子发射及表面空间分布作了计算 .模型应用Mott散射截面及修正的Bethe方程分别描述低能电子在固体中的弹性和非弹性散射 .计算了背散射电子能量分布、表... 应用MonteCarlo方法 ,对能量E0 5keV低能电子作用下固体Al、Cu、Ag、Au的背散射电子发射及表面空间分布作了计算 .模型应用Mott散射截面及修正的Bethe方程分别描述低能电子在固体中的弹性和非弹性散射 .计算了背散射电子能量分布、表面空间分布、深度分布和角分布规律及特征 ,还计算分析了背散射电子角分布与深度分布、表面空间分布及能量分布之间的关系 ,系统地描述了背散射电子的发射及分布规律 . 展开更多
关键词 monte carlo方法 低能电子散射 空间分布 背散射电子 发射
下载PDF
正负电子三光子湮灭中光子能谱的Monte Carlo计算 被引量:1
10
作者 程锦荣 许强 《计算物理》 CSCD 北大核心 1991年第1期30-36,共7页
用Monte Carlo方法计算正负电子三光子湮灭的光子能谱,并与量子电动力学(QED)理论谱及实验结果进行了比较,三种结果符合甚好。
关键词 电子 三光子湮灭 光子能谱
下载PDF
低能电子束光刻的Monte Carlo模拟 被引量:1
11
作者 肖沛 林季资 《佳木斯大学学报(自然科学版)》 CAS 2008年第4期476-478,共3页
利用Mott截面和介电函数模型,借助Monte Carlo方法模拟了电子在光刻胶PMMA和衬底中的弹性散射和非弹性散射.通过统计电子的能量沉积分布,发现低能电子的大部分能量沉积在光刻胶中而非衬底,所以在电子束光刻中有着更高的效率.并且还得到... 利用Mott截面和介电函数模型,借助Monte Carlo方法模拟了电子在光刻胶PMMA和衬底中的弹性散射和非弹性散射.通过统计电子的能量沉积分布,发现低能电子的大部分能量沉积在光刻胶中而非衬底,所以在电子束光刻中有着更高的效率.并且还得到了在不同的入射电子能量下,光刻胶完全曝光所对应的的最佳厚度. 展开更多
关键词 电子束光刻 能量沉积 monte carlo模拟
下载PDF
电子束曝光高斯分布束斑的Monte Carlo模拟 被引量:9
12
作者 任黎明 陈宝钦 《微细加工技术》 2001年第3期60-63,共4页
经过严格论证 ,提出一种计算简便 ,易于软件实现的电子束束斑直径定义方法 ,在此基础上运用MonteCarlo方法对高斯分布电子束斑进行模拟 ,给出模拟电子数分别为50 0 0、2 0 0 0 0、50 0 0 0、1 0 0 0 0 0时的模拟结果。
关键词 电子束曝光 蒙特卡洛法 高斯分布束斑
下载PDF
电子束曝光的Monte Carlo模拟 被引量:3
13
作者 任黎明 陈宝钦 《微细加工技术》 2002年第1期1-5,17,共6页
建立一个更为严格地描述电子散射过程的物理模型 ,运用MonteCarlo方法模拟高斯分布电子束在靶体PMMA -衬底中的散射过程 ,研究不同曝光条件对沉积能密度的影响 ,获得的沉积能分布规律是 :有利于降低邻近效应的高束能、薄胶层 。
关键词 电子束曝光 能量沉积 蒙特卡洛模拟
下载PDF
Monte Carlo方法计算薄膜厚度测定背散射常数C(E_0) 被引量:2
14
作者 谭震宇 何延才 《山东工业大学学报》 2000年第6期528-534,共7页
应用蒙特卡罗方法模拟 5 ke V以下低能电子在 Al,Cu,Ag,Au薄膜中的散射 .模型应用 Mott散射截面和 Joy方法修正的 Bethe方程描述和计算低能电子在固体中弹性和非弹性散射 .计算了薄膜背散射系数η随薄膜厚度 D的变化 ,获得不同能量下的... 应用蒙特卡罗方法模拟 5 ke V以下低能电子在 Al,Cu,Ag,Au薄膜中的散射 .模型应用 Mott散射截面和 Joy方法修正的 Bethe方程描述和计算低能电子在固体中弹性和非弹性散射 .计算了薄膜背散射系数η随薄膜厚度 D的变化 ,获得不同能量下的η~ D关系并给出相应线性区 Dmax分布 .分析了 η~D曲线初始线性区在低能时及随原子序数的变化 ,统计并应用最小二乘法计算得 E0 为 3,4,5 ke V下的背散射常数 C(E0 )以测定超薄膜厚度 .给出一个 E0 从几 ke V到几十 ke V能量范围计算背散射常数的经验公式 ,由此计算 Al,Cu,Au超薄膜、薄膜不同厚度时的η并与 Fitting,Cosslett的实验比较 。 展开更多
关键词 蒙特卡罗方法 电子束 薄膜 背散射常数 厚度
下载PDF
Monte Carlo方法模拟背散射电子固体表面空间分布 被引量:2
15
作者 谭震宇 蒋定举 何延才 《山东工业大学学报》 1995年第2期101-107,共7页
应用MonteCarlo方法模拟低能电子在固体中的散射过程;电子的弹性散射用较严格的Mott截面计算;非弹性散射分为等离子激发、导带电子激发及壳层电子激发并由Quinn,Streitwolf及Gryzinski的截面... 应用MonteCarlo方法模拟低能电子在固体中的散射过程;电子的弹性散射用较严格的Mott截面计算;非弹性散射分为等离子激发、导带电子激发及壳层电子激发并由Quinn,Streitwolf及Gryzinski的截面描述.对不同能量低能电子作用下不同元素固体中背散射电子、低能损背散射电子表面空间分布作了计算,结果表明低能损背散射电子具有较好的空间分辨率,这对改善背散射电子图象以及电子束曝光检测技术较有意义. 展开更多
关键词 电子束 弹性散射 固体 背散射电子 蒙特卡罗法
下载PDF
Fixed-node Quantum Monte Carlo: A Novel Approach
16
作者 Hong Xin HUANG Zhen Hua ZHAO 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2002年第1期55-58,共4页
In this paper, a novel method for fixed-node quantum Monte Carlo is given. We have derived an expansion of the eigenvalue of the energy for a system and proved that the value of the energy calculated using the tradit... In this paper, a novel method for fixed-node quantum Monte Carlo is given. We have derived an expansion of the eigenvalue of the energy for a system and proved that the value of the energy calculated using the traditional fixed-node quantum Monte Carlo method is only the zero order approximation of the eigenvalue of the energy. But when using our novel method, in the case of only increasing less computing amounts (<1%), we can obtain conveniently the first order approximation, second order approximation, and so on. We have calculated the values of the zero, first and second approximation (0, 1 and 2) of the energies of 11A1 state of CH2, 1Ag (C4h, acet) state of C8 and the ground-state of H2O using this novel method. The results indicate that for 11A1 state of CH2, 1Ag (C4h, acet) state of C8 and the ground-state of H2O it needs only the second order approximation to obtain electronic correlation energy with over 97%. This demonstrates that this novel method is very excellent in both the computing accuracy and the amount of calculation required. 展开更多
关键词 Fixed-node quantum monte carlo method electronic correlation energy.
下载PDF
Ni,Ti及NiTi合金低能电子散射的Monte Carlo模拟
17
作者 沈海军 《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期694-698,共5页
采用MonteCarlo方法,模拟了低能电子束(能量E0≤5keV)作用下Ni,Ti及NiTi合金固体中的电子散射,分析了3种金属/合金中散射电子的能量与空间分布。研究表明:(1)入射电子能量E0越小,各材料的背散射电子(BSEs)深度、吸收电子(AEs)深度及散... 采用MonteCarlo方法,模拟了低能电子束(能量E0≤5keV)作用下Ni,Ti及NiTi合金固体中的电子散射,分析了3种金属/合金中散射电子的能量与空间分布。研究表明:(1)入射电子能量E0越小,各材料的背散射电子(BSEs)深度、吸收电子(AEs)深度及散射电子能量损失的深度均越小,分辨率越高;(2)相同E0下,各材料的BSEs,AEs及能量损失深度均有Ni<NiTi<Ti的排序,分辨率为Ni>NiTi>Ti;(3)NiTi合金的BSEs深度、AEs深度及能量损失的深度和分辨率分别近似于Ni,Ti固体相应量的平均值。 展开更多
关键词 NITI合金 电子散射 monte carlo方法 能量损失
下载PDF
低能电子束光刻过程的Monte Carlo模拟分析研究 被引量:2
18
作者 吴鹏 潘江涌 周再发 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第12期812-819,828,共9页
对低能电子在光刻胶和衬底中的复杂散射过程进行分析和物理建模,采用Monte Carlo方法进行模拟研究。利用Browning拟合公式来解决Mott弹性散射截面计算速度慢的问题,采用D.C.Joy和S.Luo修正的Bethe能量损耗公式计算低能电子在固体中的能... 对低能电子在光刻胶和衬底中的复杂散射过程进行分析和物理建模,采用Monte Carlo方法进行模拟研究。利用Browning拟合公式来解决Mott弹性散射截面计算速度慢的问题,采用D.C.Joy和S.Luo修正的Bethe能量损耗公式计算低能电子在固体中的能量损耗。通过跟踪电子的散射轨迹、计算电子的能量沉积密度、结合显影阈值模型,模拟出了电子束光刻的三维显影轮廓图。据此研究了入射电子束能量、剂量、光刻胶厚度、衬底材料、衬底和光刻胶形貌等不同条件下电子束曝光邻近效应的影响。此外,还将具有高斯分布特征的低能电子束入射产生的沉积能量密度进行移动处理,模拟一个以"T"字型为代表的较为复杂图形的电子束曝光过程,通过三维显影轮廓模拟图比较直观地显示了邻近效应的影响,并演示了采用电子束曝光剂量补偿的方法实现邻近效应校正的效果。 展开更多
关键词 电子束光刻 monte carlo模拟 低能电子束 显影轮廓图 邻近效应校正
下载PDF
电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验 被引量:1
19
作者 解孟涛 刘俊标 +2 位作者 王鹏飞 张雨露 韩立 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第18期2232-2240,共9页
电子束直写技术具有分辨率高、操作简单等优势,是制备微纳米曲面器件的一种理想工具。光刻胶的吸收能量沉积密度分布直接决定了直写后图形的精度和分辨率,由于曲面直写时吸收能量沉积密度分布非对称,因而现有的平面直写工艺不再适用于... 电子束直写技术具有分辨率高、操作简单等优势,是制备微纳米曲面器件的一种理想工具。光刻胶的吸收能量沉积密度分布直接决定了直写后图形的精度和分辨率,由于曲面直写时吸收能量沉积密度分布非对称,因而现有的平面直写工艺不再适用于曲面直写。本文采用基于立方体计算微元的Monte Carlo方法计算不同直写参数变化下的吸收能量沉积密度分布。仿真结果表明:随着入射能量或入射角度的增加,直写点的椭圆度也在增加;而减小束斑和薄胶层可以提升曲面直写的分辨率。实验结果表明:在其他参数不变下,以入射能量(5、10、15 keV)和入射角度(5°、10°、15°)进行单一变量实验,直写点的长宽比分别为1.458、2.323、2.924和1.014、1.113、1.173。可以看出,入射能量对椭圆度地增加更为明显。实验与仿真有了较好地验证,本文结果为曲面直写工艺参数选择提供理论依据。 展开更多
关键词 电子束直写 monte carlo模拟 吸收能量沉积密度 散射截面 曲面器件
下载PDF
电子束净化烟道气的Monte-Carlo模拟
20
作者 李达 王传珊 徐加强 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2003年第1期63-66,共4页
该文利用MonteCarlo方法,采用PENELOPE(PenetrationandEnergyLossofPositronsandElectrons)软件包,通过对电子束辐照烟道气物理过程的模拟,给出烟道气中的能量沉积分布.结果表明,二维Layer程序能用于气体的模拟,同时,也为加速器位置的... 该文利用MonteCarlo方法,采用PENELOPE(PenetrationandEnergyLossofPositronsandElectrons)软件包,通过对电子束辐照烟道气物理过程的模拟,给出烟道气中的能量沉积分布.结果表明,二维Layer程序能用于气体的模拟,同时,也为加速器位置的设计提供了理论依据. 展开更多
关键词 电子束净化法 烟道气 PENELOPE 能量沉积分布 加速器 montecarlo模拟 辐射化学反应
下载PDF
上一页 1 2 5 下一页 到第
使用帮助 返回顶部