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Fizeau Interferometery for THz-Waves' Frequency and Intensity Measurement
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作者 西迪科 杨苏辉 +1 位作者 李卓 李萍 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2007年第3期326-329,共4页
A terahertz-wave generator based on optical parametric oscillator principle, detection based on combination of Fizeau wedged interferometer and an electro-optical crystal ZnTe has been studied. The analytical solution... A terahertz-wave generator based on optical parametric oscillator principle, detection based on combination of Fizeau wedged interferometer and an electro-optical crystal ZnTe has been studied. The analytical solution based on the basic principle of operation of solid wedge Fizeau interferometer has been realized. The mathematical calculations for THz frequency and intensity measurement dependent on wedge angle and fringe spacing have been considered. The efficiency of THz wave detection depends upon optimized wedge angle has been also realized. The feasibility of detection of THz waves' frequency and intensity by solid Fizeau interferometer (THz-waves' range of 1 - 3 THz) has been studied. By optimization of other parameters like thickness of Fizeau film, refractive index, material of Fizeau film, we can proceed towards the design of Fizeau interferometer for required research plans as it is a simple and inexpensive interferometer. 展开更多
关键词 TERAHERTZ fizeau interferometer electro-optical crystal
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Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析 被引量:9
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作者 王平 王汝冬 +3 位作者 田伟 王立朋 隋永新 杨怀江 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期2100-2107,共8页
搭建了光-机-热耦合模型,用于分析Fizeau干涉仪光机系统的热稳定性,并研究了该系统的计算流程、环境温度和系统光学质量的随机性、系统光学质量与环境温度的关系等。首先,根据实验室温控条件,建立环境温度的随机分布模型,进行了光-机-... 搭建了光-机-热耦合模型,用于分析Fizeau干涉仪光机系统的热稳定性,并研究了该系统的计算流程、环境温度和系统光学质量的随机性、系统光学质量与环境温度的关系等。首先,根据实验室温控条件,建立环境温度的随机分布模型,进行了光-机-热耦合分析并计算不同温度下光机结构的热分布和结构变形;然后,通过Zernike多项式拟合透镜表面面形和曲率半径,利用光学仿真软件分析变形后的光学系统;最后,对系统光学质量进行概率分析,评价了系统的热稳定性。分析结果表明,温度控制在(22±0.1)℃时,在2σ的置信水平下,Fizeau干涉仪的出射光波前的重复性可以达到0.016%λ,基本满足干涉仪主机光机系统的重复性要求。 展开更多
关键词 fizeau干涉仪 光机稳定性 重复性 光-机-热耦合分析
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利用Fizeau干涉仪进行激光风速测量的原理分析 被引量:6
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作者 沈法华 孙东松 +5 位作者 陈敏 夏海云 董晶晶 王邦新 钟志庆 周小林 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期330-334,共5页
导出了激光多普勒雷达基于Fizeau干涉仪及CCD探测器进行测风时,每个CCD元最终接收到信号的一般表达式。对系统的参数做了整体优化,得出一组优化参数。在0-3 km高度,得出系统风速误差小于0.16 m/s。对最终的风速反演分别运用最小二乘... 导出了激光多普勒雷达基于Fizeau干涉仪及CCD探测器进行测风时,每个CCD元最终接收到信号的一般表达式。对系统的参数做了整体优化,得出一组优化参数。在0-3 km高度,得出系统风速误差小于0.16 m/s。对最终的风速反演分别运用最小二乘拟合法和重心法。分析表明最小二乘拟合法只适用于风速较小的情况。详细分析了运用重心法计算风速必然会引起的误差,并提出一种解决方法。修正后,在±30 m/s 风速范围内,该方法产生的误差小于0.25 m/s。 展开更多
关键词 大气光学 风速测量 激光雷达 fizeau干涉仪 气溶胶散射
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基于Fizeau干涉仪多普勒激光雷达测量的实验研究 被引量:4
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作者 杨春沪 沈法华 孙东松 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2009年第7期724-727,共4页
实验实现了基于Fizeau干涉仪和线列探测器的条纹技术对多普勒频移和速度的测量。结果表明:在非常大的动态范围内,标准误差是4.2 m.s-1,等于探测器分辨率的6.4%。进一步优化Fizeau干涉仪的系统参数,能够满足测风激光雷达的精度要求。
关键词 多普勒频移 测风雷达 fizeau干涉仪 条纹技术 重心法
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基于ZEMAX的Fizeau干涉仪模型 被引量:2
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作者 杨鹏 伍凡 +1 位作者 侯溪 吴高峰 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期98-102,共5页
Fizeau干涉仪由于具有参考光与测试光共光程的优点成为多数干涉仪采用的结构形式,对于干涉仪的结构及其影响因素在理论上已进行了较广泛的研究。但如何对Fizeau干涉仪进行仿真是干涉仪检测所面临的问题。本文首先简要介绍Fizeau干涉仪... Fizeau干涉仪由于具有参考光与测试光共光程的优点成为多数干涉仪采用的结构形式,对于干涉仪的结构及其影响因素在理论上已进行了较广泛的研究。但如何对Fizeau干涉仪进行仿真是干涉仪检测所面临的问题。本文首先简要介绍Fizeau干涉仪及相位解包裹的基本原理并利用Matlab编写了基于矩形域的解包裹程序。然后利用Zemax光学设计软件建立起Fizeau干涉仪通用模型,利用四步相移法对干涉仪的面形检测进行仿真并利用编写的解包裹程序计算出待测面的面形。仿真面形检测结果与真实情况一致表明Fizeau干涉仪通用模型能较好的对实际干涉仪面形检测进行仿真。 展开更多
关键词 光学设计 干涉仪 仿真分析
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光纤Fizeau干涉仪的声发射检测研究 被引量:5
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作者 梁艺军 邓虎 徐彦德 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期681-685,共5页
验证了一种基于光纤Fizeau干涉仪的声发射传感器,可用于固体表面传播的超声波的检测.这种传感器的特点是能够精确地检测由固体表面传播的超声波产生的微弱振动.当超声波信号通过光纤传感器到达探测器时,干涉仪的输出光强度受到了超声信... 验证了一种基于光纤Fizeau干涉仪的声发射传感器,可用于固体表面传播的超声波的检测.这种传感器的特点是能够精确地检测由固体表面传播的超声波产生的微弱振动.当超声波信号通过光纤传感器到达探测器时,干涉仪的输出光强度受到了超声信号的调制.通过检测干涉仪的输出光强度并利用Fourier变换,测得了超声信号的振幅和频率.对传感系统的相位调制特性进行了仿真,并对实验结果进行了分析. 展开更多
关键词 fizeau干涉仪 光纤传感器 声发射 相位调制特性
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短相干光源偏振移相Fizeau干涉仪的实验研究 被引量:2
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作者 徐晨 陈磊 左芬 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第S1期26-29,共4页
研究了一种偏振移相Fizeau干涉仪,以中心波长为650nm的多纵模半导体激光器作为光源,利用光源短相干特性和一套偏振延迟装置分出一对偏振方向正交参考光和测试光,采用巴比列-索列尔补偿器作为偏振移相器,采集四幅移相干涉图按照传统移相... 研究了一种偏振移相Fizeau干涉仪,以中心波长为650nm的多纵模半导体激光器作为光源,利用光源短相干特性和一套偏振延迟装置分出一对偏振方向正交参考光和测试光,采用巴比列-索列尔补偿器作为偏振移相器,采集四幅移相干涉图按照传统移相算法图,测试了一块平行平板的前表面面形。PV值为0.0682λ,RMS值为0.0127λ。该方法的优点是移相精度高,移相时无须推动参考镜,可适用于大口径系统的干涉测试,同时消除了多表面干涉杂散条纹的影响。 展开更多
关键词 光干涉计量 偏振fizeau干涉仪 巴比涅-索列尔补偿器 短相干光源
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具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪
8
作者 龚柯安 付天坤 +3 位作者 何晨嵩 张成悌 付宁 李华 《中国测试》 CAS 北大核心 2024年第S01期106-109,共4页
本文利用具有F-P标准具的管状基准的等倾干涉原理,设计了两种具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪。这两种干涉仪通过气泵来增压或者减压管状基准主体内的气压,从而改变管状基准内介质折射率,进一步改变参考光和测量光的光程差... 本文利用具有F-P标准具的管状基准的等倾干涉原理,设计了两种具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪。这两种干涉仪通过气泵来增压或者减压管状基准主体内的气压,从而改变管状基准内介质折射率,进一步改变参考光和测量光的光程差,以此实现相移技术,完成对平晶平面度的测量。两种干涉仪分为立式和卧式,分别对应不同使用场景。相较于等倾干涉仪测量系统,本文设计的干涉仪系统改善了热交换的环境,测量点数增多,可给出被测平晶平面地形图;相较于利用压电陶瓷实现相移技术的菲索平面干涉仪,本文设计的干涉仪系统在测量中没有机械运动的移相,且造价更低,安全性更高。 展开更多
关键词 管状基准 斐索干涉仪 相移技术 平面度测量
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Fizeau型偏振移相干涉仪的实验研究 被引量:3
9
作者 徐晨 陈磊 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期894-896,共3页
研究了一种Fizeau型偏振移相干涉仪。以中心波长为650nm的多纵模半导体激光器作为光源,利用光源的短相干特性和一套偏振延迟装置分出一对偏振方向正交的参考光和测试光,采用巴比涅-索列尔补偿器作为偏振移相器。测试了一块平行平板的前... 研究了一种Fizeau型偏振移相干涉仪。以中心波长为650nm的多纵模半导体激光器作为光源,利用光源的短相干特性和一套偏振延迟装置分出一对偏振方向正交的参考光和测试光,采用巴比涅-索列尔补偿器作为偏振移相器。测试了一块平行平板的前表面面形,面形PV值为0.0682λ,RMS值为0.0127λ。该方法的优点是移相精度高,移相时无须推动参考镜,适用于大口径光学系统的干涉测试,可消除多表面干涉杂散条纹的影响。 展开更多
关键词 光学测量 偏振fizeau干涉仪 巴比涅-索列尔补偿器 短相干光源
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干涉仪仪器传递函数噪声容限分析与优化
10
作者 樊耀轩 张文喜 +2 位作者 伍洲 杨帅 覃日康 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1653-1666,共14页
在高精度平面干涉仪系统评价标准中,仪器传递函数(Instrument Transfer Function,ITF)已经逐渐成为干涉仪性能的重要评价指标,它准确地反映了光学系统对于测量形貌不同空间频率的分辨能力。然而,ITF测试过程中的实验环境要求较为严格,... 在高精度平面干涉仪系统评价标准中,仪器传递函数(Instrument Transfer Function,ITF)已经逐渐成为干涉仪性能的重要评价指标,它准确地反映了光学系统对于测量形貌不同空间频率的分辨能力。然而,ITF测试过程中的实验环境要求较为严格,干涉仪系统噪声会导致测试结果产生较大失真。为了能够准确表征干涉仪系统的性能,通过仿真分析与实际实验结合的方式,将仿真干涉图引入不同量级的高斯随机噪声,探究了噪声对于ITF测试结果的影响,提出测试误差的评价指标ITF_(RMS)值,分析了干涉仪系统的噪声容限,依据评价指标提出了几种不同的ITF测试优化方法,并搭建实验系统进行分析验证。实验结果表明,在未优化的ITF测试流程中,所搭建的干涉仪系统ITF测试的ITF_(RMS)值为0.1112,而优化后同样噪声量级的干涉仪系统所得ITF_(RMS)值则分别降至0.0693,0.0367,0.0579。此结果证明了优化方案的可行性,该方案能有效抑制干涉仪系统ITF测试过程中的噪声干扰影响。 展开更多
关键词 干涉测量 斐索干涉仪 仪器传递函数 噪声容限
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Fiber Fabry-Perot Demodulation System Based on Dual Fizeau Interferometers
11
作者 Deyi KONG Zengyu SONG +4 位作者 Ning WANG Zhiqi WANG Peijian HUANG Yong ZHU Jie ZHANG 《Photonic Sensors》 SCIE EI CSCD 2023年第2期56-68,共13页
In this study,we present a dual-Fizeau-interferometer-based high-speed and wide-range fiber-optic Fabry-Perot(F-P)demodulation system.We employ two Fizeau interferometers with air cavity thickness satisfying the quadr... In this study,we present a dual-Fizeau-interferometer-based high-speed and wide-range fiber-optic Fabry-Perot(F-P)demodulation system.We employ two Fizeau interferometers with air cavity thickness satisfying the quadrature requirement to increase the demodulation speed and broaden the demodulation range in order to address the issues of the existing fiber F-P demodulation system's sluggish demodulation rate and limited range.In order to investigate the demodulation properties of the dual-Fizeau-interferometer-based demodulation system,we derive and create a theoretical model of the system.The theoretical model,which primarily consists of the structural design of the interferometer and the study of the center wavelength of the light sources and their bandwidth selection,is used to construct the optical structure of the demodulation system.According to the calculation results,the demodulated signal exhibits the best contrast ratio when the two light sources'respective center wavelengths are 780nm and 850nm,and their bandwidths are 28nm and 30 nm.Finally,we finish evaluating the demodulation system's demodulation performance,parameter calibration,and assembly debugging.The test results demonstrate the constant operation of the demodulation system,an update rate of 100kHz,a demodulation range of 4.74μm,and a cavity length resolution of approximately 5 nm.Additionally,the system can perform high speed demodulation thanks to the light emitting diode's(LED's)nanosecond level switching speed and the usage of a single point detector. 展开更多
关键词 Fiber-optic Fabry-Perot sensor fizeau interferometer LED optical path difference quadrature requirement
原文传递
基于Fizeau干涉仪的直接探测多普勒测风激光雷达研究 被引量:1
12
作者 单坤玲 卜令兵 《鲁东大学学报(自然科学版)》 2007年第1期62-66,共5页
回顾了基于Fizeau干涉仪的多普勒测风激光雷达的基本原理,在对测风雷达的主要参数说明的基础上,分析了多通道探测器的选择以及由于干涉仪圆形口径引起的通道间的能量修正系数问题,最后对基于Fizeau干涉仪多普勒测风激光雷达雷达系统的... 回顾了基于Fizeau干涉仪的多普勒测风激光雷达的基本原理,在对测风雷达的主要参数说明的基础上,分析了多通道探测器的选择以及由于干涉仪圆形口径引起的通道间的能量修正系数问题,最后对基于Fizeau干涉仪多普勒测风激光雷达雷达系统的风速测量误差进行了数值模拟.结果显示,研制中的基于Fizeau干涉仪的多普勒测风激光雷达系统在5 km以下范围内,风速测量误差可以达到0.56 m/s(30s积分实际时间). 展开更多
关键词 fizeau干涉仪 直接探测 多普勒频移 PMT阵列 多普勒测风激光雷达
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基于Fizeau干涉仪的激光雷达测温方法研究 被引量:2
13
作者 刘延文 孙学金 +3 位作者 张传亮 李绍辉 周永波 李玉莲 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期3302-3307,共6页
气温是描述大气状态的基本参数之一,温度的准确测量对天气预报、气候预测及其他气象参数的反演都至关重要。激光雷达作为一种遥感仪器,已经用于气象要素的探测中(风、温度、气溶胶的光学厚度等)。目前,测温激光雷达主要有拉曼激光雷达(... 气温是描述大气状态的基本参数之一,温度的准确测量对天气预报、气候预测及其他气象参数的反演都至关重要。激光雷达作为一种遥感仪器,已经用于气象要素的探测中(风、温度、气溶胶的光学厚度等)。目前,测温激光雷达主要有拉曼激光雷达(振动和转动)、共振荧光激光雷达和Rayleigh散射激光雷达等,拉曼激光雷达需要大功率的激光器和复杂的背景滤波器;共振荧光激光雷达无法探测平流层内的温度;基于Rayleigh散射的测温激光雷达多应用于温度的相对测量,反演温度时需要建立响应函数和校准程序;基于固体腔扫描F-P干涉仪测量大气Rayleigh散射光谱来反演温度的方法,时间分辨率较低,并且该方法在测量过程中需要运动部件,所以不利于星载。在大气低层,分子的Rayleigh散射光谱会受到Brillouin散射的影响,两种散射信号叠加形成的Rayleigh-Brillouin散射光谱不再服从Gaussian分布,直接通过测量散射光谱的半高全宽来反演温度,会产生误差。基于回波能量的方法会受到气溶胶Mie散射信号的影响,所以在对流层中该方法并不适用。为了实现对流层内温度的高精度和高时间分辨率的测量,提出利用Fizeau干涉仪和PMT阵列对对流层内分子的Rayleigh-Brillouin散射光谱进行测量,并通过插值的方法来对回波信号中气溶胶Mie散射信号进行抑制,从而使Mie散射信号对温度反演的影响较小,最后将测量光谱和理论光谱进行全光谱匹配来实现温度的反演。除此之外,还对Fizeau干涉仪的自由光谱区、固体腔几何长度、腔体反射率、扫描间隔等参数进行了优化设计。为了验证本文提出方法的可行性,利用Matlab软件建立了一套仿真模型,通过模拟表明,在不考虑云、风和水汽含量的影响时,利用该方法测量对流层内的大气温度时,测量误差小于1K。该测温方法可以对对流层内的大气温度廓线实现高精度、高时间分辨率的测量,在测量过程中不需要使用运动部件,有较高的使用价值,并对同类高光谱激光雷达分光系统的研究具有借鉴意义,为我国高光谱激光雷达陆基及星载应用提供了一套可行的技术方案和温度反演方法。 展开更多
关键词 温度 Rayleigh-Brillouin散射 fizeau干涉仪 激光雷达
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大气湍流下光学平面面形的估计
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作者 李琳 刘永辉 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期704-710,共7页
针对大气湍流环境下光学元件平面面形PV值测量这一问题。首先建立了一种大气湍流下斐索干涉仪的模型,通过该模型得到1000张干涉条纹图像;然后提出了一种基于卷积神经网络估算PV值的方法,将干涉条纹图像作为卷积神经网络的输入,利用卷积... 针对大气湍流环境下光学元件平面面形PV值测量这一问题。首先建立了一种大气湍流下斐索干涉仪的模型,通过该模型得到1000张干涉条纹图像;然后提出了一种基于卷积神经网络估算PV值的方法,将干涉条纹图像作为卷积神经网络的输入,利用卷积神经网络提取图像的特征信息,得到PV值;最后将得到的结果与ASTM计算得到的结果、相位解包裹得到的结果以及BP神经网络得到的结果进行对比,发现利用卷积神经网络的方法偏差为2.25×10^(-4)λ,较ASTM、相位解包裹以及BP神经网络得到的结果偏差更小。实验结果表明此方法具有抗干扰性强、精度高、运算快的优点,是一种有效的抗大气湍流影响的光学检测方法。 展开更多
关键词 大气湍流 平面面形测量 卷积神经网络 斐索干涉仪
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Tilted Wave Fizeau Interferometer for flexible and robust asphere and freeform testing 被引量:2
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作者 Christian Schober Rolf Beisswanger +2 位作者 Antonia Gronle Christof Pruss Wolfgang Osten 《Light(Advanced Manufacturing)》 2022年第4期61-72,共12页
Tilted Wave Interferometry(TWI)is a measurement technique for fast and flexible interferometric testing of aspheres and freeform surfaces.The first version of the tilted wave principle was implemented in a Twyman-Gree... Tilted Wave Interferometry(TWI)is a measurement technique for fast and flexible interferometric testing of aspheres and freeform surfaces.The first version of the tilted wave principle was implemented in a Twyman-Green type setup with separate reference arm,which is intrinsically susceptible to environmentally induced phase disturbances.In this contribution we present the TWI in a new robust common-path(Fizeau)configuration.The implementation of the Tilted Wave Fizeau Interferometer requires a new approach in illumination,calibration and evaluation.Measurements of two aspheres and a freeform surface show the flexibility and also the increased stability in both phase raw data and surface measurements,which leads to a reduced repeatability up to a factor of three.The novel configuration significantly relaxes the tolerances of the imaging optics used in the interferometer.We demonstrate this using simulations on calibration measurements,where we see an improvement of one order of magnitude compared to the classical Twyman-Green TWI approach and the capability to compensate higher order error contributions on the used optics. 展开更多
关键词 Freeform measurement Asphere measurement Common-path interferometry Tilted wave interferometer fizeau interferometer
原文传递
条纹技术测风激光雷达研究 被引量:8
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作者 卜令兵 陈卫标 +4 位作者 周军 刘继桥 官莉 黄兴友 王振会 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期175-178,共4页
使用单纵模355nm激光作为发射光源,Fizeau干涉仪作为光谱鉴别设备,对条纹技术测风激光雷达进行了研究.对激光器频率抖动和Fizeau干涉仪光谱进行了分析,建立了条纹技术激光雷达系统,使用Fizeau干涉仪扫描的方法对系统进行了风速标定.利... 使用单纵模355nm激光作为发射光源,Fizeau干涉仪作为光谱鉴别设备,对条纹技术测风激光雷达进行了研究.对激光器频率抖动和Fizeau干涉仪光谱进行了分析,建立了条纹技术激光雷达系统,使用Fizeau干涉仪扫描的方法对系统进行了风速标定.利用研制的激光雷达系统对引入的参考光信号和大气后向散射信号进行同时测量,得到1.5km以内的大气风速剖面. 展开更多
关键词 多普勒测风激光雷达 条纹技术 fizeau干涉仪 对流层风
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白光干涉解调光纤MEMS压力传感器 被引量:9
17
作者 江小峰 林春 +3 位作者 谢海鹤 颜黄苹 张建城 黄元庆 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期187-191,共5页
为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量,进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本,提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器,实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术,采用光刻、阳极键合... 为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量,进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本,提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器,实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术,采用光刻、阳极键合以及化学腐蚀的方法制作了以硅和玻璃构成的法布里-珀罗腔体,使用二氧化碳激光器对法布里-珀罗腔体与光纤进行焊接.基于白光干涉解调技术,利用斐索干涉仪与法布里-珀罗腔体的互相关关系对传感器进行了解调,并做了压力实验.实验结果表明:传感器在120~300kPa范围内具有较高的腔长变化灵敏度和线性度,分别为9.012 7nm/kPa和99.9%;传感器分辨率为0.1nm,重复性为0.1%.研究成果对低成本、高一致性光纤F-P传感器的批量制作具有一定的参考价值. 展开更多
关键词 F-P干涉 白光干涉 斐索干涉仪 MEMS 激光焊接
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菲索干涉仪中精确移相的实现 被引量:6
18
作者 苏志德 史振广 +2 位作者 彭吉 隋永新 杨怀江 《中国光学》 EI CAS 2013年第2期244-250,共7页
为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度。针对PZT移相器在移相过程中会引入离焦误差,并存在... 为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度。针对PZT移相器在移相过程中会引入离焦误差,并存在加速段和减速段的问题,详细设计了移相器的行进过程。最后,对移相器的性能进行了标定。在改造后的干涉仪上开展了重复性验证实验,结果表明:干涉仪可以获得λ/11 340的RMS测量重复性。对改造后干涉仪与Zygo公司生产的Verifire XP/D干涉仪的测量精度做了比对实验,结果显示:相同元件下两者测量结果的面形RMS之差约为0.9 nm,表明提出的移相系统及移相方法在重复性和准确度方面都能满足纳米级面形测量的要求,为研制高精度移相干涉仪奠定了基础。 展开更多
关键词 菲索干涉仪 移相系统 同步采集 面形测量 标定
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基于斐索干涉仪的直接探测多普勒测风激光雷达 被引量:14
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作者 刘继桥 陈卫标 胡企铨 《大气科学》 CSCD 北大核心 2004年第5期762-770,共9页
提出结合多光束斐索 (Fizeau)干涉仪和CCD探测器的条纹图像技术 ,测量地球边界层下的三维风场的直接探测多普勒激光雷达技术。在分析Fizeau干涉仪的物理特性和光谱特性以及影响测量多普勒频移的因数和改进方法的基础上 ,提出一套切合实... 提出结合多光束斐索 (Fizeau)干涉仪和CCD探测器的条纹图像技术 ,测量地球边界层下的三维风场的直接探测多普勒激光雷达技术。在分析Fizeau干涉仪的物理特性和光谱特性以及影响测量多普勒频移的因数和改进方法的基础上 ,提出一套切合实际的直接探测多普勒激光雷达系统参数。并利用该参数进行性能评估分析 ,模拟不同干涉仪参数对风速精度的影响 ,得出一个优化的干涉仪物理参数。模拟结果显示 ,系统可以获得小于1ms- 1 的水平风速精度。这些分析 ,为建立实际的激光雷达系统提供设计依据。 展开更多
关键词 斐索干涉仪 直接探测 多普勒测风激光雷达 风速
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基于光强自标定移相算法检测光学面形 被引量:8
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作者 刘江 苗二龙 +2 位作者 曲艺 隋永新 杨怀江 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2007-2013,共7页
考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据... 考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据最小二乘判据,推导出了波长移相干涉仪的光强自标定移相算法。最后,实施了仿真实验,通过计算机生成背景光强具有一定变化的12幅干涉图,利用所提出的算法进行了相位恢复。结果表明,提出的算法可以很好地免疫激光器的光强变化,实现高精度的相位恢复。对口径为100mm的平面镜的测量结果显示RMS为0.005λ,PV为0.073λ。与ZYGO干涉仪测量结果的比较显示,两次测量面形的偏差RMS为0.0014λ,PV为0.022λ。得到的结果证明了算法的可行性及在菲佐型波长移相干涉仪中的实用性。 展开更多
关键词 菲佐干涉仪 波长移相 移相算法 光强自标定 面形检测
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