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多层共烧氮化铝基板尺寸精度影响因素 被引量:1
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作者 陈寰贝 梁秋实 +1 位作者 夏庆水 王子良 《真空电子技术》 2015年第5期11-13,共3页
尺寸精度是氮化铝多层共烧基板重要的考核指标,文章介绍了生产过程中影响氮化铝多层共烧基板尺寸精度的主要工艺因素,包括流延、层压、金属化、生切与烧结,以及如何改善控制这些工艺因素,从而获得较高尺寸精度的氮化铝多层共烧基板产品。
关键词 多层共烧 氮化铝 尺寸精度
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