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TFT-LCD Mura缺陷机器视觉检测方法
被引量:
55
1
作者
毕昕
丁汉
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期13-19,共7页
针对液晶显示器(Liquid crystal display,LCD)制程中Mura缺陷检测的重要性和人工检测的弊端,研究TFT-LCD Mura缺陷的机器视觉自动检测方法。基于国际半导体设备与材料组织(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)...
针对液晶显示器(Liquid crystal display,LCD)制程中Mura缺陷检测的重要性和人工检测的弊端,研究TFT-LCD Mura缺陷的机器视觉自动检测方法。基于国际半导体设备与材料组织(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)标准中Mura缺陷的测量规范和LCD视觉检测试验平台,针对Mura缺陷边缘模糊、对比度低、图像中存在重复纹理背景和整体的亮度不均匀等特点,分别研究基于实值Gabor小波滤波的纹理背景抑制方法、基于同态变换和独立分量分析的亮度不均匀校正方法、基于主动轮廓模型和水平集方法的缺陷分割以及基于SEMI标准的缺陷量化方法,综合几个方面的研究,建立Mura缺陷自动检测流程。检测试验证明,所提出方法能较好地抑制纹理背景、校正背景亮度不均匀和莫尔条纹,准确的分割缺陷并进行量化评定。该方法适用于Mura缺陷的自动检测,检测方法与人的视觉特性相似,具有较好的鲁棒性。对于50个带有Mura缺陷的LCD样本,有48个样本被成功检测。
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关键词
mura
缺陷
gabor
滤波
独立分量分析
主动轮廓模型
水平集
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职称材料
题名
TFT-LCD Mura缺陷机器视觉检测方法
被引量:
55
1
作者
毕昕
丁汉
机构
上海交通大学机械与动力工程学院
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期13-19,共7页
基金
国家自然科学基金(50805097)
国家高技术研究发展计划(863计划
+1 种基金
2007AA04Z316)
上海市科学技术委员会(075007004)资助项目
文摘
针对液晶显示器(Liquid crystal display,LCD)制程中Mura缺陷检测的重要性和人工检测的弊端,研究TFT-LCD Mura缺陷的机器视觉自动检测方法。基于国际半导体设备与材料组织(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)标准中Mura缺陷的测量规范和LCD视觉检测试验平台,针对Mura缺陷边缘模糊、对比度低、图像中存在重复纹理背景和整体的亮度不均匀等特点,分别研究基于实值Gabor小波滤波的纹理背景抑制方法、基于同态变换和独立分量分析的亮度不均匀校正方法、基于主动轮廓模型和水平集方法的缺陷分割以及基于SEMI标准的缺陷量化方法,综合几个方面的研究,建立Mura缺陷自动检测流程。检测试验证明,所提出方法能较好地抑制纹理背景、校正背景亮度不均匀和莫尔条纹,准确的分割缺陷并进行量化评定。该方法适用于Mura缺陷的自动检测,检测方法与人的视觉特性相似,具有较好的鲁棒性。对于50个带有Mura缺陷的LCD样本,有48个样本被成功检测。
关键词
mura
缺陷
gabor
滤波
独立分量分析
主动轮廓模型
水平集
Keywords
mura defect gabor filtering independent component analysis active contour model level set
分类号
TP274.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TFT-LCD Mura缺陷机器视觉检测方法
毕昕
丁汉
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
55
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职称材料
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参考文献
引证文献
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