期刊文献+
共找到77篇文章
< 1 2 4 >
每页显示 20 50 100
脒基钛(Ⅲ)配合物制备N/C-TiO_2薄膜及其光学性能研究
1
作者 程兰云 杜立永 丁玉强 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期125-129,共5页
以TiCl_3(3THF)为原料合成脒基钛(Ⅲ)配合物1,将其作为前驱体通过LPCVD沉积N/C-TiO_2薄膜。利用1HNMR、元素分析以及热重分析(TGA)探究配合物1的结构和热化学性质。结果表明,配合物1具有良好的热稳定性和合适的挥发性,满足CVD的要求。通... 以TiCl_3(3THF)为原料合成脒基钛(Ⅲ)配合物1,将其作为前驱体通过LPCVD沉积N/C-TiO_2薄膜。利用1HNMR、元素分析以及热重分析(TGA)探究配合物1的结构和热化学性质。结果表明,配合物1具有良好的热稳定性和合适的挥发性,满足CVD的要求。通过EDS和UV-Vis吸收光谱表征了薄膜的成分及光学性能,结果表明,当沉积温度为350℃时,N/C-TiO_2薄膜的N、C质量分数最高,其禁带宽度降低为2. 82 e V,对可见光的吸收最强。与纯的二氧化钛薄膜相比,N/C-TiO_2薄膜对亚甲基蓝的降解率显著提高到90%。 展开更多
关键词 脒基钛(Ⅲ)配合物 前驱体 热化学性质 n/c-tio2薄膜 光学性能
下载PDF
含碳纳米C-TiO2薄膜光催化降解气相甲苯研究 被引量:4
2
作者 谢洪勇 张亚宁 徐巧莲 《环境科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期19-22,共4页
对以工业丙烷为燃料、空气为氧化剂、TiCl4为先驱物的火焰CVD法制备的含碳纳米C-TiO2光催化剂,用沉降法在石英玻璃管内壁制备C-TiO2纳米薄膜,以管式反应器为光催化氧化装置,实验研究了含碳纳米C-TiO2的纳米薄膜对甲苯气体的光催化降解... 对以工业丙烷为燃料、空气为氧化剂、TiCl4为先驱物的火焰CVD法制备的含碳纳米C-TiO2光催化剂,用沉降法在石英玻璃管内壁制备C-TiO2纳米薄膜,以管式反应器为光催化氧化装置,实验研究了含碳纳米C-TiO2的纳米薄膜对甲苯气体的光催化降解规律。探讨了甲苯初始浓度和相对湿度等因素对降解率的影响。实验结果表明,相对湿度约为60%时,对甲苯有最佳的光催化降解效果。在催化剂负载量约为4.9mg、主波长为254nm和365nm的8W紫外灯各一盏、甲苯初始浓度约为60mg/m3、气体流量为400mL/min(甲苯在光催化器中停留时间约为3.45s)的条件下,甲苯的降解率可达45%。 展开更多
关键词 含碳纳米c-tio2 薄膜 光催化降解 管式反应器 甲苯
下载PDF
Y_2O_3薄膜处理对3Cr25Ni7N合金的抗高温氧化性能的影响 被引量:5
3
作者 马静 何业东 +1 位作者 王俊 孙宝德 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期765-768,共4页
采用电沉积-热解法在3Cr25Ni7N合金表面制备了Y2O3薄膜,并研究了薄膜处理对合金在1000℃空气中的抗高温氧化性能的影响。氧化动力学曲线、SEM及XRD分析结果表明,Y2O3薄膜处理使合金表面氧化膜以尖晶石结构为主,氧化膜致密,有效地抑制了C... 采用电沉积-热解法在3Cr25Ni7N合金表面制备了Y2O3薄膜,并研究了薄膜处理对合金在1000℃空气中的抗高温氧化性能的影响。氧化动力学曲线、SEM及XRD分析结果表明,Y2O3薄膜处理使合金表面氧化膜以尖晶石结构为主,氧化膜致密,有效地抑制了Cr2O3的挥发反应,且氧化膜与基体的附着性好,因此合金在高温下的抗氧化性能得到提高,这与氧化钇薄膜在较低温度下抗高温氧化性能提高的机制是不同的。在不同温度下,Y2O3薄膜处理均可以有效提高合金的抗高温氧化性能。 展开更多
关键词 Y2O3薄膜 抗高温氧化 3Cr25ni7n合金 电沉积-热解法 稀土
下载PDF
辉弧共溅射Ar/N_2流量比对TiN薄膜结构及硬度的影响 被引量:3
4
作者 林晶 钱锋 +1 位作者 孙智慧 傅鹏飞 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期1173-1177,共5页
采用辉光弧光协同共放电混合镀方法在A3碳钢基体上沉积氮化钛薄膜,通过改变Ar/N2流量比,研究Ar/N2流量比对TiN薄膜结构及硬度的影响。X射线衍射谱图表明制备的TiN有明显的(111)晶面择优取向;Ti2p的X射线光电子谱谱峰拟合分析表明Ti2p1/... 采用辉光弧光协同共放电混合镀方法在A3碳钢基体上沉积氮化钛薄膜,通过改变Ar/N2流量比,研究Ar/N2流量比对TiN薄膜结构及硬度的影响。X射线衍射谱图表明制备的TiN有明显的(111)晶面择优取向;Ti2p的X射线光电子谱谱峰拟合分析表明Ti2p1/2峰和Ti2p3/2峰均有双峰出现,可知氮化物中的Ti存在不同的化学状态,整个膜层是由TiN,TiO2,TiNxOy化合物组成的复合体系,Ar/N2流量比影响各成分的含量。对比硬度的变化和组成成分之间的关系发现,膜层硬度随着含TiN量的增多而增大,当Ar/N2流量比为3∶1时,硬度最大。 展开更多
关键词 辉弧共溅射 Ar/n2流量比 TIn薄膜 硬度
下载PDF
N掺杂TiO_2对聚乙烯复合薄膜的光催化降解研究 被引量:4
5
作者 苗超林 杨书廷 +1 位作者 尹艳红 刘山虎 《化学研究》 CAS 2011年第4期11-14,共4页
以快速溶胶-凝胶法制备了具有不同N掺杂量的TiO2光催化剂,在室温光照240 h条件下,用于固相光催化降解碳酸钙填充聚乙烯复合材料薄膜;采用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见光漫反射仪(UV-Vis)、傅立叶变换红外光谱仪... 以快速溶胶-凝胶法制备了具有不同N掺杂量的TiO2光催化剂,在室温光照240 h条件下,用于固相光催化降解碳酸钙填充聚乙烯复合材料薄膜;采用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见光漫反射仪(UV-Vis)、傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)等手段分析了催化剂和薄膜的形貌及化学特征,并测定了复合材料薄膜的失重.结果表明,未掺杂的TiO2光催化剂使复合材料薄膜失重0.97%,掺杂的TiO2光催化剂使其最大失重达到21.3%.这是由于掺杂的TiO2光催化剂加速复合材料薄膜碳链的断裂和光氧化腐蚀、在薄膜表面形成大量的凹坑所致.与此同时,0.5%质量分数N掺杂的TiO2光催化剂光催化降解聚乙烯复合材料薄膜的活性最高. 展开更多
关键词 聚乙烯复合薄膜 纳米TIO2 n掺杂 光催化降解
下载PDF
染料N719和Q-PbS复合敏化Zn_2TiO_4纳米晶薄膜电极的研究 被引量:3
6
作者 何祖明 夏咏梅 +1 位作者 唐斌 江兴方 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期7084-7087,共4页
为了有效的利用太阳能,提高纳米晶薄膜太阳能电池的效率,针对太阳的发射光谱和纳米薄膜的吸收光谱,设计出复合敏化的薄膜太阳能电池。采用溶胶-凝胶法在FTO玻璃上制备了Zn_2TiO_4纳米晶薄膜,用XRD和SEM分别对其物相及形貌进行了表征;以... 为了有效的利用太阳能,提高纳米晶薄膜太阳能电池的效率,针对太阳的发射光谱和纳米薄膜的吸收光谱,设计出复合敏化的薄膜太阳能电池。采用溶胶-凝胶法在FTO玻璃上制备了Zn_2TiO_4纳米晶薄膜,用XRD和SEM分别对其物相及形貌进行了表征;以染料N719和Q-PbS为敏化剂,制备了多种Zn_2TiO_4纳米晶薄膜电极,分别测试了他们的UV-Vis吸收光谱;优选出敏化效果好的电极为光阳极组装了太阳能电池,并进行了光电性能测试。研究结果表明,纳米晶薄膜为尖晶石结构的Zn_2TiO_4,呈球形多孔,平均晶粒约80nm;染料N719和Q-PbS敏化的电极,光响应范围均扩展到可见光区,出现了明显的红移,而且复合敏化的电极在可见光区具有较强的吸收;制备了多种染料敏化太阳能电池(DSSC),在模拟太阳光下,Zn_2TiO_4+Q-PbS(2min)+N719薄膜电极组成的DSSC的性能最优,其开路电压0.65V,电流密度3.3mA/cm^2,填充因子77%和转化效率达1.61%。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 Zn2TiO4薄膜电极 量子点 染料n719 染料敏化太阳能电池
下载PDF
靶电流密度对热丝增强等离子磁控溅射制备Cr_2N薄膜结构与性能的影响 被引量:2
7
作者 张鑫 王晓明 +3 位作者 高健波 郭媛媛 解志文 周艳文 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期3070-3075,共6页
采用等离子体增强平衡磁控溅射技术在316L奥氏体不锈钢基体表面制备了不同靶电流密度条件下的Cr_2N薄膜,并检测分析了靶电流密度对薄膜表面形貌、相结构、力学性能、膜基结合力和摩擦磨损性能的影响。结果表明,薄膜呈致密柱状结构,以Cr_... 采用等离子体增强平衡磁控溅射技术在316L奥氏体不锈钢基体表面制备了不同靶电流密度条件下的Cr_2N薄膜,并检测分析了靶电流密度对薄膜表面形貌、相结构、力学性能、膜基结合力和摩擦磨损性能的影响。结果表明,薄膜呈致密柱状结构,以Cr_2N(111)择优取向为主。当靶电流密度为0.132 mA/mm^2时,WN相与Cr_2N并存;随着靶电流密度的增加,薄膜厚度逐渐增加,硬度、弹性模量略有下降,膜基结合增强。薄膜与基体结合处呈脆性失效。靶电流密度0.132 mA/mm^2时,最高薄膜硬度及模量分别为33及480GPa,且磨损量最小。靶电流密度0.264mA/mm^2时,最大膜机结合力为36.6N。经过镀Cr_2N薄膜后,试样表面硬度、耐磨性明显提高。 展开更多
关键词 等离子体增强磁控溅射 Cr2n薄膜 靶电流密度 结构 性能
下载PDF
N掺杂TiO_2薄膜光催化性能的研究 被引量:1
8
作者 崔海萍 闫军 +1 位作者 张力 游毓聪 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期876-878,共3页
采用溶胶-凝胶法,以Ti(OC4H9)4和氨水等为原料制备纯二氧化钛、N掺杂以及N,Zn2+共掺杂的二氧化钛光催化薄膜。用X射线衍射和X光电子能谱等对薄膜进行了表征,紫外光和可见光下催化剂降解甲基橙溶液的实验结果表明,掺杂TiO2薄膜比无掺杂T... 采用溶胶-凝胶法,以Ti(OC4H9)4和氨水等为原料制备纯二氧化钛、N掺杂以及N,Zn2+共掺杂的二氧化钛光催化薄膜。用X射线衍射和X光电子能谱等对薄膜进行了表征,紫外光和可见光下催化剂降解甲基橙溶液的实验结果表明,掺杂TiO2薄膜比无掺杂TiO2薄膜的光催化效率明显提高,并且可见光下对甲基橙溶液有一定的光催化活性,但Zn2+的存在对掺杂薄膜的光催化效率没有显著改善。分析原因可能是N掺杂在价带和导带之间形成了缺陷能级,减小了TiO2的禁带能隙,从而使TiO2的吸收带发生红移,实现可见光响应。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 n掺杂 光催化 TIO2薄膜
下载PDF
含N添加剂对水热法合成TiO_2薄膜的影响 被引量:1
9
作者 张一兵 封心建 江雷 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期709-711,722,共4页
在最佳条件下(TiCl3-0.15mol/L NaCl饱和溶液,170℃,4h,含N添加剂/Ti摩尔比1/10)用水热法尝试在玻璃基板上制备薄膜。SEM和XRD技术表征结果说明,加尿素添加剂制备了完美的TiO2薄膜,它由TiO2纳米棒阵列而成,TiO2晶体为金红石型。
关键词 TIO2 n添加剂 薄膜 水热法
下载PDF
n型Cu_2O薄膜的简易水热法制备及其光电化学性能 被引量:3
10
作者 熊良斌 李双明 +3 位作者 李必慧 曾庆栋 王波云 聂长江 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1271-1278,共8页
采用一种简单的水热法,通过控制反应时间,使用铜片在只含有Cl^-的非含铜前驱物的NaCl溶液中生长出了n型Cu_2O薄膜。对制备的样品进行了X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)和光电化学等表征或... 采用一种简单的水热法,通过控制反应时间,使用铜片在只含有Cl^-的非含铜前驱物的NaCl溶液中生长出了n型Cu_2O薄膜。对制备的样品进行了X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)和光电化学等表征或测试。本水热法相对其他的水热法工艺更简单,成本更低且能进行快速大规模化的生产。且得到的n型Cu_2O薄膜晶化程度高,经过Cl^-掺杂后,载流子浓度高达9.75×10^(17) cm^(-3),在可见光照射下表现出较好的光电转换性能。光电化学和电化学阻抗谱表明在中等浓度(0.1 mol·L^(-1))NaCl溶液中90℃的条件下水热反应50 h制备的Cu_2O薄膜具有最好的光电性能。 展开更多
关键词 简易水热法 n型Cu2O薄膜 光电化学性能 Cl-掺杂 截流子浓度
下载PDF
衬底温度对Al/Zn_3N_2薄膜制备的影响 被引量:1
11
作者 冯军勤 陈俊芳 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2287-2291,共5页
运用等离子体发射光谱,分析衬底温度对氮化锌薄膜制备过程中各等离子体活性基团的影响,随着温度升高,N*2第一正系B3Πg→A3Σ+u,N*2第二正系C3Πu→B3Πg,N+*2第一负系B2Σ+u→X2Σ+g,Zn*以及Zn+*活性基团等离子体发射光谱特征谱线强度... 运用等离子体发射光谱,分析衬底温度对氮化锌薄膜制备过程中各等离子体活性基团的影响,随着温度升高,N*2第一正系B3Πg→A3Σ+u,N*2第二正系C3Πu→B3Πg,N+*2第一负系B2Σ+u→X2Σ+g,Zn*以及Zn+*活性基团等离子体发射光谱特征谱线强度逐渐增强;由于衬底温度升高,腔室中各离子动能增加,使得碰撞电离加剧,导致N*2,N+*2,Zn*以及Zn+*活性基团的等离子体离子密度增加;等离子体发射光谱分析结果表明衬底温度在一定范围内升高有利于氮化锌薄膜生长。采用离子源辅助磁控溅射技术在Al薄膜上制备Zn3N2薄膜;X射线衍射图谱(XRD)分析结果表明:室温下,反应生长出单一择优取向面(321)氮化锌薄膜;随着温度的升高,在Al膜上反应生长的氮化锌薄膜择优取向面逐渐丰富,出现(222),(400),(600),(411),(332),(431)以及(622)择优取向面,体现出随着衬底温度的升高,薄膜的结晶度逐渐增加。XP-1台阶仪分析的结果表明,随着衬底温度的升高,氮化锌薄膜的沉积率逐渐增大。场效应扫描电子显微镜(SEM)图表明氮化锌薄膜晶粒尺寸随着衬底温度的升高逐渐变小,表面结构更加致密,晶粒排列更加有序;SEM断面扫描显示Al膜和氮化锌薄膜结合非常紧密。衬底温度影响薄膜性能实验分析结果与等离子体发射光谱分析的结果基本一致,体现出等离子体发射光谱了解等离子体内在特性的有效、快捷性。 展开更多
关键词 磁控反应溅射 等离子体发射光谱 Al/Zn3n2 双层薄膜
下载PDF
氮气流量对CuInS2薄膜微结构的影响
12
作者 阎有花 刘迎春 +4 位作者 方玲 赵海花 李德仁 卢志超 周少雄 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期412-414,共3页
采用硫化法制备出具有多晶结构的光吸收层CuInS2薄膜,研究了硫源处N2流量对CuInS2薄膜微结构的影响。利用SEM和EDS观察和分析了它们的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的结构。结果表明:N2流量增大到600ml/min制得具有黄铜矿结构... 采用硫化法制备出具有多晶结构的光吸收层CuInS2薄膜,研究了硫源处N2流量对CuInS2薄膜微结构的影响。利用SEM和EDS观察和分析了它们的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的结构。结果表明:N2流量增大到600ml/min制得具有黄铜矿结构且沿(112)晶向择优生长的CuInS2薄膜,晶粒尺寸为230nm。 展开更多
关键词 Cu-In薄膜 CuInS2薄膜 n2流量
下载PDF
NH_3-Ar气氛下制备的Zn_3N_2薄膜的结构和光学性能(英文)
13
作者 李宏光 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期695-699,共5页
Zn3N2是一种宽带隙半导体材料,在温度高于400°C氧化可生成p型ZnO:N,p型ZnO:N在电子学和光电子学领域有广泛的应用.在NH3-Ar气氛下,用RF磁控溅射金属Zn靶在玻璃衬底上室温制备了Zn3N2薄膜.用紫外-可见分光光度计、X射线衍射仪、X射... Zn3N2是一种宽带隙半导体材料,在温度高于400°C氧化可生成p型ZnO:N,p型ZnO:N在电子学和光电子学领域有广泛的应用.在NH3-Ar气氛下,用RF磁控溅射金属Zn靶在玻璃衬底上室温制备了Zn3N2薄膜.用紫外-可见分光光度计、X射线衍射仪、X射线光电子谱分析仪、荧光分光光度计对Zn3N2薄膜的光学透过、光学吸收、结构、化学键态和光致发光进行了测量,研究了NH3分压对Zn3N2薄膜的结构和光学特性的影响.XRD分析表明Zn3N2薄膜呈现多晶结构,具有(321)择优取向,Zn3N2(321)衍射峰强度随NH3分压增加而增强.在NH3分压5%~10%制备的Zn3N2薄膜有较低透过率,透过率随NH3分压增加而提高.Zn3N2薄膜是间接带隙半导体,当NH3分压从5%变化到25%时,光学带隙从2.33eV升高到2.70eV.XPS分析表明Zn3N2薄膜在潮湿空气中容易水解.室温下Zn3N2薄膜在437nm和459nm波长出现了发光峰. 展开更多
关键词 zn3n2薄膜 磁控溅射 nh3分压 光致发光
下载PDF
N_2流量对中频非平衡磁控溅射TiAlN薄膜结构及性能的影响 被引量:6
14
作者 吴劲峰 何乃如 +3 位作者 邱孟柯 吉利 李红轩 黄小鹏 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期32-35,共4页
采用非平衡磁控溅射技术在AISI202不锈钢片和P(111)单晶硅基底上制备了TiAlN薄膜,并利用场发射扫描电镜(FESEM)、三维轮廓仪、X射线衍射仪(XRD)、X射线电子能谱仪(XPS)、纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了考查。结果表明,随着N2流量... 采用非平衡磁控溅射技术在AISI202不锈钢片和P(111)单晶硅基底上制备了TiAlN薄膜,并利用场发射扫描电镜(FESEM)、三维轮廓仪、X射线衍射仪(XRD)、X射线电子能谱仪(XPS)、纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了考查。结果表明,随着N2流量的升高,TiAlN薄膜的沉积速率降低,Al/Ti比率先升高后迅速降低;薄膜主要由TiN立方晶构成,且随N2流量的升高晶粒尺寸减小,柱状晶结构变疏松。在氮气流量为20mL/min时,薄膜具有最高的硬度及结合力。 展开更多
关键词 磁控溅射 TIALn薄膜 n2流量 微观结构 硬度
下载PDF
N掺杂对β-Ga_(2)O_(3)薄膜日盲紫外探测器性能的影响 被引量:6
15
作者 周树仁 张红 +6 位作者 莫慧兰 刘浩文 熊元强 李泓霖 孔春阳 叶利娟 李万俊 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第17期313-321,共9页
单斜氧化镓(β-Ga_(2)O_(3))材料因其独特而优异的光电特性在日盲紫外探测领域具有广阔的应用前景,受到国内外研究者的广泛关注.本研究工作采用射频磁控溅射技术,在c面蓝宝石衬底上制备了未掺杂和氮(N)掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜,研究了N... 单斜氧化镓(β-Ga_(2)O_(3))材料因其独特而优异的光电特性在日盲紫外探测领域具有广阔的应用前景,受到国内外研究者的广泛关注.本研究工作采用射频磁控溅射技术,在c面蓝宝石衬底上制备了未掺杂和氮(N)掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜,研究了N掺杂对β-Ga_(2)O_(3)薄膜结构及光学特性的影响;在此基础上,构筑了未掺杂和N掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜基金属-半导体-金属(metal-semiconductor-metal,MSM)型日盲紫外探测器,并讨论了N掺杂影响器件性能的物理机制.结果表明,N掺杂会导致β-Ga_(2)O_(3)薄膜表面形貌变得相对粗糙,且会促使β-Ga_(2)O_(3)薄膜由直接带隙向间接带隙转变.所有器件均表现出较高的稳定性和日盲特性,相比之下,N掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜器件能展现出较低的暗电流和更快的光响应速度(响应时间和恢复时间分别为40和8 ms),与氧空位相关缺陷的抑制密切相关.本研究对开发新型的高性能日盲紫外探测器具有一定的借鉴意义. 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3) 薄膜 n 掺杂 日盲紫外探测器 快速响应
下载PDF
n(Sm^(3+))/n(S_2O_3^(2-))对液相自组装法制备Sm_2S_3薄膜的影响 被引量:2
16
作者 侯艳超 黄剑锋 +2 位作者 周璇 曹丽云 吴建鹏 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期926-931,共6页
采用液相自组装法,以氯化钐(SmCl3.6H2O)和硫代硫酸钠(Na2S2O3.5H2O)为原料,在不同n(Sm3+)/n(S2O23-)(物质的量比)条件下,于硅基板上制备了α-Sm2S3光学薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、光电子能谱分析(XPS)、原子力显微镜(AFM)和紫外-可... 采用液相自组装法,以氯化钐(SmCl3.6H2O)和硫代硫酸钠(Na2S2O3.5H2O)为原料,在不同n(Sm3+)/n(S2O23-)(物质的量比)条件下,于硅基板上制备了α-Sm2S3光学薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、光电子能谱分析(XPS)、原子力显微镜(AFM)和紫外-可见吸收光谱仪(UV-Vis)对Sm2S3薄膜的物相组成、表面形貌和光学性能进行了表征。结果表明:所制备的Sm2S3薄膜为α-Sm2S3,在一定范围内,随着n(Sm3+)/n(S2O23-)的增加,α-Sm2S3薄膜的结晶性先增强后降低,并表现出(105)晶面取向生长的特征。紫外透射光谱分析表明,当n(Sm3+)/n(S2O23-)=1∶2时,Sm2S3薄膜在可见光范围内透过率高达85%,禁带宽度为4.12 eV。 展开更多
关键词 Sm2S3薄膜 液相自组装 n(Sm3+)/n(S2O23-)
下载PDF
硅基Cu(N3)2@CNTs复合含能薄膜的制备与表征 被引量:4
17
作者 魏海 刘旭文 +3 位作者 胡艳 唐惠梁 叶迎华 沈瑞琪 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期557-563,共7页
针对叠氮化铜(Cu(N3)2)静电感度高、难以实际应用的问题,设计了一种基于硅基底的内嵌叠氮化铜碳纳米管复合含能薄膜材料。首先,采用改进的两步阳极氧化法在硅基底上制备多孔氧化铝薄膜,然后将其作为模板,先后通过化学气相沉积法和电化... 针对叠氮化铜(Cu(N3)2)静电感度高、难以实际应用的问题,设计了一种基于硅基底的内嵌叠氮化铜碳纳米管复合含能薄膜材料。首先,采用改进的两步阳极氧化法在硅基底上制备多孔氧化铝薄膜,然后将其作为模板,先后通过化学气相沉积法和电化学沉积法在氧化铝孔道中制备内嵌铜纳米颗粒的定向碳纳米管(CNTs)阵列,最后利用气固相叠氮化反应制备得到可与微机电系统(MEMS,Micro-electro Mechanical Systems)加工工艺相兼容的硅基Cu(N3)2@CNTs复合含能薄膜。利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射(XRD)等手段对材料的微观形貌、晶体结构和组成成分进行了表征,利用差示扫描量热法(DSC)对复合含能薄膜进行了热分解动力学研究,采用升降法测试了复合含能薄膜的静电感度。研究结果表明:硅基Cu(N3)2@CNTs复合含能薄膜的活化能约为230.00 kJ·mol^-1,热爆炸临界温度约为193.18℃;复合薄膜的静电感度明显得到改善,50%的发火能量约为4.0 mJ。 展开更多
关键词 复合含能薄膜 Cu(n3)2@CnTs 静电感度 电化学沉积
下载PDF
N掺杂对Y_(2)O_(3)薄膜界面特性的影响
18
作者 陈元安 《商丘职业技术学院学报》 2021年第2期83-86,共4页
采用射频反应磁控溅射法制备了N掺杂Y2O3栅介质薄膜,并研究了N掺杂对Y_(2)O_(3)薄膜界面特性的影响.研究结果表明:N原子在YOxNy薄膜中以N-O键和N≡O3键两种结合态存在.在热处理过程中,N-O键是稳定的,而N≡O3键不稳定;N-O键的生成能够阻... 采用射频反应磁控溅射法制备了N掺杂Y2O3栅介质薄膜,并研究了N掺杂对Y_(2)O_(3)薄膜界面特性的影响.研究结果表明:N原子在YOxNy薄膜中以N-O键和N≡O3键两种结合态存在.在热处理过程中,N-O键是稳定的,而N≡O3键不稳定;N-O键的生成能够阻止退火气氛中的氧原子在Y_(2)O_(3)薄膜中的扩散,从而有效抑制了界面层SiO_(2)的生长. 展开更多
关键词 n掺杂 Y_(2)O_(3)薄膜 射频反应磁控溅射 光学特性
下载PDF
氮氩流量比对磁控溅射Zn3N2薄膜微观结构的影响 被引量:2
19
作者 王燕 陈俊芳 +1 位作者 熊文文 王勇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期456-461,共6页
采用射频感应耦合等离子体增强磁控溅射装置在p型Si〈100〉基片上制备Zn3N2薄膜,用于研究不同氮氩流量比对薄膜结晶质量及微观结构的影响。用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)和四探针测试仪表... 采用射频感应耦合等离子体增强磁控溅射装置在p型Si〈100〉基片上制备Zn3N2薄膜,用于研究不同氮氩流量比对薄膜结晶质量及微观结构的影响。用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)和四探针测试仪表征薄膜的微观结构、表面形貌和电学特性。实验结果表明:不同氮氩流量比条件下制备的Zn3N2薄膜均为多晶态,(400),(411)和(332)晶面生长明显。随着氮氩流量比增加,(400)晶面衍射峰逐渐增加,在3∶1时达到极值,结晶度逐渐变佳;(332)晶面衍射峰逐渐减小,结晶度随之变弱;(411)晶面则无明显变化。随氮氩流量比增加,薄膜结晶度、晶粒尺寸和表面平整度先增加后减小。氮氩流量比为2∶1时,结晶质量和表面平整度达到最佳且导电性能最好,较大的氮氩流量比有利于磁控溅射制备性能更好的Zn3N2薄膜。 展开更多
关键词 Zn3n2薄膜 磁控溅射 氮氩流量比 晶体结构 微观结构
下载PDF
对向靶溅射α″-Fe_(16)N_2薄膜结构及其热稳定性
20
作者 许英华 姜恩永 +2 位作者 王怡 侯登录 赵慈 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期558-561,共4页
用对向靶反应溅射法制备了α″- Fe1 6 N2 薄膜 ,用 X射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜(TEM)和振动样品磁强计 (VSM)对α″- Fe1 6 N2 的结构、磁性以及结构的热稳定性进行了分析讨论 .结果表明 ,随退火温度的升高 ,α″- Fe1 6 N2 相逐... 用对向靶反应溅射法制备了α″- Fe1 6 N2 薄膜 ,用 X射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜(TEM)和振动样品磁强计 (VSM)对α″- Fe1 6 N2 的结构、磁性以及结构的热稳定性进行了分析讨论 .结果表明 ,随退火温度的升高 ,α″- Fe1 6 N2 相逐渐分解为 α″- Fe和 γ′- Fe4N两相 .对磁性的分析表明 ,造成饱和磁化强度存在较大差异的原因与其内在的结构差别有很大的关系 . 展开更多
关键词 饱和磁化强度 对向靶溅射 Fe16n2薄膜 热稳定性 结构
下载PDF
上一页 1 2 4 下一页 到第
使用帮助 返回顶部