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用Cr/Au/Ni/Au制备n-GaN欧姆接触
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作者 谢雪松 张小玲 +4 位作者 吕长志 武利 袁颖 李志国 曹春海 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期449-451,共3页
为了获得n-GaN的低接触电阻的欧姆接触,采用Cr/Au/Ni/Au金属化系统与n—GaN形成欧姆接触,并对其不同温度下的接触电阻率进行了测试分析.室温下Cr/Au/Ni/Au的接触电阻率为0.32mΩ·m2。随着温度的升高,接触电阻率略有增加,在300℃时... 为了获得n-GaN的低接触电阻的欧姆接触,采用Cr/Au/Ni/Au金属化系统与n—GaN形成欧姆接触,并对其不同温度下的接触电阻率进行了测试分析.室温下Cr/Au/Ni/Au的接触电阻率为0.32mΩ·m2。随着温度的升高,接触电阻率略有增加,在300℃时接触电阻率为0.65mΩ·cm2,因此此欧姆接触适合在高温下使用. 展开更多
关键词 n-gan材料 欧姆接触 接触电阻率
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表面处理对n-GaN上无合金化Ti/Al欧姆接触的作用
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作者 刘磊 陈忠景 何乐年 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期166-168,共3页
本文研究了表面处理对n GaN上无合金化的Ti/Al电极起的作用 ,比较了 (NH4) 2 Sx和CH3 CSNH2 两种不同的表面处理方法。在用CH3 CSHN2 /NH4OH溶液处理过的样品上制作的无合金化的Ti/Al电极 ,可得到较低的 (4 85~ 5 6 5 )× 1 0 -4... 本文研究了表面处理对n GaN上无合金化的Ti/Al电极起的作用 ,比较了 (NH4) 2 Sx和CH3 CSNH2 两种不同的表面处理方法。在用CH3 CSHN2 /NH4OH溶液处理过的样品上制作的无合金化的Ti/Al电极 ,可得到较低的 (4 85~ 5 6 5 )× 1 0 -4Ω·cm2 的接触电阻率 。 展开更多
关键词 n-gan 欧姆接触 表面处理 Ti/Al电极 Ⅲ-V族半导体材料
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二次退火对Al/Ti/n-GaN/Si欧姆接触的影响
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作者 邵庆辉 李蓓 +2 位作者 李嘉炜 黄靖云 叶志镇 《微纳电子技术》 CAS 2003年第1期12-14,共3页
采用热壁外延的方法在硅衬底上生长出n-GaN晶体,制成了Ti/Al双层电极的欧姆接触。通过对不同退火条件下的I-V特性曲线、X射线衍射及二次离子质谱分析,揭示了界面固相反应对该接触的影响,并提出了一种新的二次退火的方法。结果表明,经过... 采用热壁外延的方法在硅衬底上生长出n-GaN晶体,制成了Ti/Al双层电极的欧姆接触。通过对不同退火条件下的I-V特性曲线、X射线衍射及二次离子质谱分析,揭示了界面固相反应对该接触的影响,并提出了一种新的二次退火的方法。结果表明,经过二次退火后,Al、Ti、GaN发生了界面固相反应,其接触性能明显提高。 展开更多
关键词 二次退火 Al/Ti/n-gan/Si 欧姆接触 氮化镓 界面固相反应
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原子层沉积Al_2O_3/n-GaN结构的深能级界面态研究 被引量:1
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作者 黄宇 牟文杰 +3 位作者 闫大为 杨国峰 肖少庆 顾晓峰 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期106-110,共5页
基于与传统方法不同的物理过程,利用光辅助高频电容-电压(C-V)法研究了原子层沉积的Al_2O_3/nGaN界面的深能级缺陷态分布。无光照条件下的C-V曲线表现出典型的深耗尽行为,这主要由极长的深能级电子发射时间和极慢的少子热产生速率决定,... 基于与传统方法不同的物理过程,利用光辅助高频电容-电压(C-V)法研究了原子层沉积的Al_2O_3/nGaN界面的深能级缺陷态分布。无光照条件下的C-V曲线表现出典型的深耗尽行为,这主要由极长的深能级电子发射时间和极慢的少子热产生速率决定,可看作向正偏压方向平移了的理想电容曲线。在深耗尽状态下背入射365nm的紫外光后,大量的光生空穴有效地复合准费米能级以上的界面被陷电子,并允许电子在偏压扫描回积累区的过程中逐渐填充这些被排空的界面态,导致C-V曲线发生形变。基于上述物理过程,获得了一个快速衰减的界面态能级分布:从导带底至以下0.8eV,态密度从2.5×10^(12)cm^(-2)eV^(-1)减小至9×10^(10)cm^(-2)eV^(-1)。 展开更多
关键词 Al2O3/n-gan 原子层沉积 背入射紫外光照 电容特性 界面态分布
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准三维纳米结构p-ZnO:Fe/n-GaN基自驱动紫外光电探测器
5
作者 李海霞 王宇 +3 位作者 林威威 刘冰怡 张中原 刘阳 《武汉工程大学学报》 CAS 2021年第3期277-282,共6页
采用化学气相沉积(CVD)法成功制备了p-ZnO:Fe/n-GaN准三维纳米结构,并基于p-ZnO:Fe/n-GaN异质结制备了高性能的自驱动紫外光电探测器。微结构研究结果表明:Fe元素成功掺入ZnO纳米结构,使其转化为p型半导体。室温光致发光谱紫外光发射峰... 采用化学气相沉积(CVD)法成功制备了p-ZnO:Fe/n-GaN准三维纳米结构,并基于p-ZnO:Fe/n-GaN异质结制备了高性能的自驱动紫外光电探测器。微结构研究结果表明:Fe元素成功掺入ZnO纳米结构,使其转化为p型半导体。室温光致发光谱紫外光发射峰红移,表明p-ZnO:Fe纳米结构中形成了浅受主能级缺陷。由于p-n结的光伏效应,紫外光电探测器展示出自驱动响应特性。ZnO的p型掺杂造成的电荷传输距离缩短及其独特的准三维纳米结构,使得探测器展示出高的开关比和快速响应特性。在零偏压和-1 V偏压下,紫外光电探测器的电流开关比分别为58.3和92.0,上升和回复时间均小于10 ms。该高性能紫外光电探测器的成功研制可为纳米级光电开关的制备提供理论思路和技术指导。 展开更多
关键词 准三维纳米结构p-ZnO:Fe/n-gan p-n异质结 紫外光电探测器 上升时间 回复时间
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n-GaN上Au/Zr和Au/Ti金属电极的界面反应和金属间互扩散行为对比研究 被引量:1
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作者 张可欣 李庚伟 +1 位作者 杨少延 魏洁 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第21期120-125,共6页
电极接触是制作半导体器件中非常重要的问题。金属电极与半导体形成的欧姆接触是器件高效率、低功耗服务的保障,直接影响了器件性能的优劣。前人关于欧姆接触的研究主要集中在金属电极体系和处理条件的选择,寻求比接触电阻率最低的方案... 电极接触是制作半导体器件中非常重要的问题。金属电极与半导体形成的欧姆接触是器件高效率、低功耗服务的保障,直接影响了器件性能的优劣。前人关于欧姆接触的研究主要集中在金属电极体系和处理条件的选择,寻求比接触电阻率最低的方案。而本工作突破桎梏,从欧姆接触的形成机制出发讨论金属欧姆接触的可行性,研究了低温(650℃)退火60 s和高温(850℃)退火30 s条件下,Au(300 nm)/Zr(30 nm)/n-GaN和Au(300 nm)/Ti(30 nm)/n-GaN结构的接触机理。采用紫外光刻法定义圆点型传输线模型,并且利用磁控溅射设备在GaN上制备金属电极样品,分析了电极样品的互扩散行为及界面反应情况。研究结果表明:与Au/Ti/n-GaN相比,Au/Zr/n-GaN样品受温度影响小,界面固相反应生成的Zr-N化合物热稳定性更优异,可以帮助器件在高温高压下更加稳定地工作;Zr与氮化镓接触时产生的Ga合金相更少,有利于器件利用隧道机制传输载流子;Au/Zr/n-GaN样品具有更小的界面孔隙,与氮化镓的界面反应适中;Au/Zr/n-GaN样品具有更平整的表面,适合大功率高电流工作。此外,根据本工作的对比研究可以得出:金属的制备与提纯、阻挡层金属的添加、制作金属电极的方法、势垒层金属的稳定性、金属与氮化镓的界面反应程度以及电极的表面粗糙度都会影响器件性能。Zr替代Ti作为n型GaN欧姆接触电极可以实现器件更高的性能要求,是一种具有广阔应用前景的金属材料,对于GaN器件的研发和改善有很大帮助。 展开更多
关键词 N型GAN Au/Zr欧姆接触电极 互扩散行为 界面反应
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p-NiO/MQWs/n-GaN异质结器件制备及其特性的研究
7
作者 项国姣 高薇 +4 位作者 付宏远 周毅坚 彭文博 赵洋 王辉 《光电子技术》 CAS 北大核心 2020年第3期180-185,共6页
采用射频磁控溅射设备以NiO为空穴注入层在MQWs/n-GaN上制备了p-NiO/MQWs/n-GaN异质结发光器件。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外分光光度计(UV-2700)等测试系统对制备的NiO层结构、形貌及光学特性进行了测试,结果表明Ni... 采用射频磁控溅射设备以NiO为空穴注入层在MQWs/n-GaN上制备了p-NiO/MQWs/n-GaN异质结发光器件。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外分光光度计(UV-2700)等测试系统对制备的NiO层结构、形貌及光学特性进行了测试,结果表明NiO薄膜具有较好的结晶质量。对p-NiO/MQWs/n-GaN异质结器件进行了电流-电压(I-V)特性和电致发光(EL)特性测试。I-V特性测试结果显示,器件具有明显的整流特性,开启电压约为2.9 V。EL特性测试结果显示,该器件实现了室温下的蓝紫光发射,结合GaN的光致发光(PL)谱和器件的能带结构图,对器件的电致发光机理进行了深入研究。 展开更多
关键词 NIO 量子阱 磁控溅射 电致发光
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Study of Nonradiative Recombination Centers in n-GaN Grown on LT-GaN and AlN Buffer Layer by Below-Gap Excitation
8
作者 M. D. Haque M. Julkarnain +1 位作者 A. Z. M. Touhidul Islam N. Kamata 《Advances in Materials Physics and Chemistry》 2018年第3期143-155,共13页
Nonradiative recombination (NRR) centers in n-type GaN samples grown by MOCVD technique on a LT-GaN buffer layer and aAlN buffer layer have been studied by two wavelength excited photoluminescence (TWEPL). The near ba... Nonradiative recombination (NRR) centers in n-type GaN samples grown by MOCVD technique on a LT-GaN buffer layer and aAlN buffer layer have been studied by two wavelength excited photoluminescence (TWEPL). The near band-edge photoluminescence (PL) intensity decreases due to the superposition of below-gap excitation (BGE) light of energies 0.93, 1.17 and 1.27 eV over above-gap excitation (AGE) light of energy 4.66 eV. The decrease in PL intensity due to the addition of the BGE has been explained by a two levels recombination model based on SRH statistics. It indicates the presence of a pair of NRR centers in both samples, which are activated by the BGE. The degree of quenching in PL intensity for the sample grown on LT-GaN buffer layer is stronger than the sample grown on AlN buffer layer for all BGE sources. This result implies that the use of the AlN buffer layer is more effective for reducing the NRR centers in n-GaN layers than the LT-GaN buffer layer. The dependence of PL quenching on the AGE density, the BGE density and temperature has been also investigated. The NRR parameters have been quantitatively determined by solving rate equations and fitting the simulated results with the experimental data. 展开更多
关键词 N-TYPE GAN Two-Wavelength EXCITED PHOTOLUMINESCENCE Nonradiative Recombination Center Recombination Model
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原子层沉积Al2O3/n-GaN MOS结构的电容特性:
9
作者 闫大为 李丽莎 +3 位作者 焦晋平 黄红娟 任舰 顾晓峰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第19期414-419,共6页
利用原子层沉积技术制备了具有圆形透明电极的Ni/Au/Al2O3/n-GaN金属-氧化物-半导体结构,研究了紫外光照对样品电容特性及深能级界面态的影响,分析了非理想样品积累区电容随偏压增加而下降的物理起源.在无光照情形下,由于极长的电子发... 利用原子层沉积技术制备了具有圆形透明电极的Ni/Au/Al2O3/n-GaN金属-氧化物-半导体结构,研究了紫外光照对样品电容特性及深能级界面态的影响,分析了非理想样品积累区电容随偏压增加而下降的物理起源.在无光照情形下,由于极长的电子发射时间与极慢的少数载流子热产生速率,样品的室温电容-电压扫描曲线表现出典型的深耗尽行为,且准费米能级之上占据深能级界面态的电子状态保持不变.当器件受紫外光照射时,半导体耗尽层内的光生空穴将复合准费米能级之上的深能级界面态电子,同时还将与氧化层内部的深能级施主态反应.非理想样品积累区电容的下降可归因于绝缘层漏电导的急剧增大,其诱发机理可能是与氧化层内的缺陷态及界面质量有关的"charge-to-breakdown"过程. 展开更多
关键词 原子层沉积 Al2O3/n-gan 金属-氧化物-半导体结构 电容特性
原文传递
Investigation on Breakdown Characteristics of Various Surface Terminal Structures for GaN-Based Vertical P-i-N Diodes
10
作者 Song Shi Guanyu Wang +5 位作者 Yingcong Xiang Chuan Guo Xing Wang Yinlin Pu Huilan Li Zhixian Li 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2024年第2期554-568,共15页
GaN-based vertical P-i-N diode with mesa edge terminal structure due to electric field crowding effect, the breakdown voltage of the device is significantly reduced. This work investigates three terminal structures, i... GaN-based vertical P-i-N diode with mesa edge terminal structure due to electric field crowding effect, the breakdown voltage of the device is significantly reduced. This work investigates three terminal structures, including deeply etched, bevel, and stepped-mesas terminal structures, to suppress electric field crowding effects at the device and junction edges. Deeply-etched mesa terminal yields a breakdown voltage of 1205 V, i.e., 89% of the ideal voltage. The bevel-mesa terminal achieves about 89% of the ideal breakdown voltage, while the step-mesa terminal is less effective in mitigating electric field crowding, at about 32% of the ideal voltage. This work can provide an important reference for the design of high-power, high-voltage GaN-based P-i-N power devices, finding a terminal protection structure suitable for GaNPiN diodes to further enhance the breakdown performance of the device and to unleash the full potential of GaN semiconductor materials. 展开更多
关键词 GaN P-I-N Mesa Edge Terminal Electric Field Crowding
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刻蚀与退火对GaN欧姆接触的影响
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作者 丁红胜 江忠胜 +1 位作者 鲁丽君 丁国建 《物理实验》 2008年第2期8-13,共6页
使用干法刻蚀在GaNLED晶片上刻蚀n区,用电子束蒸发方法在n型GaN表面上淀积Ti/Al双金属层作为接触电极,在N2环境中进行退火.探讨不同的刻蚀方法和刻蚀条件及不同的退火条件对Ti/Al-n型GaN间欧姆接触的影响.
关键词 n-gan 欧姆接触 刻蚀 退火
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肖特基C-V法研究Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结界面二维电子气 被引量:2
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作者 周玉刚 沈波 +6 位作者 刘杰 俞慧强 周慧梅 钱悦 张荣 施毅 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1420-1424,共5页
通过对 Pt/ Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N肖特基二极管的 C- V测量 ,研究分析了 Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面二维电子气 (2 DEG)浓度及其空间分布 .测量结果表明 ,Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面 2 DEG浓度峰值对应的深度在界面... 通过对 Pt/ Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N肖特基二极管的 C- V测量 ,研究分析了 Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面二维电子气 (2 DEG)浓度及其空间分布 .测量结果表明 ,Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面 2 DEG浓度峰值对应的深度在界面以下 1.3nm处 ,2 DEG分布峰的半高宽为 2 .3nm ,2 DEG面密度为 6 .5× 10 1 2 cm- 2 .与 Alx Ga1 - x As/ Ga As异质结相比 ,其 2 DEG面密度要高一个数量级 ,而空间分布则要窄一个数量级 .这主要归结于 Alx Ga1 - x N层中~ MV / cm量级的压电极化电场和自发极化电场对 Alx Ga1 - x N/ Ga N异质结能带的调制和 Alx Ga1 - x N/ Ga 展开更多
关键词 异质结 肖特基C-V法 二维电子气 半导体材料
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新型Al组分渐变结构的N极性GaN基HEMT中二维电子气研究 被引量:3
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作者 王现彬 王元刚 +2 位作者 房玉龙 冯志红 赵正平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期1341-1346,共6页
提出了一种含有Al N插入层的新型Al组分渐变的N极性Ga N基高电子迁移率晶体管(HEMT)结构,并通过自洽求解一维薛定谔方程和泊松方程,仿真研究了该新型N极性HEMT结构的二维电子气特性。结果表明采用该新型N极性HEMT结构其体载流子浓度峰... 提出了一种含有Al N插入层的新型Al组分渐变的N极性Ga N基高电子迁移率晶体管(HEMT)结构,并通过自洽求解一维薛定谔方程和泊松方程,仿真研究了该新型N极性HEMT结构的二维电子气特性。结果表明采用该新型N极性HEMT结构其体载流子浓度峰值与普通Al组分渐变N极性HEMT结构相比提高了12%。同时定义了Al组分从大到小渐变层和从小到大渐变层厚度之比R及最大值xmax,仿真表明二维电子气面密度随R增大而减小,而xmax超过0.4后二维电子气面密度出现饱和趋势。 展开更多
关键词 N极性 GaN/AlGaN 异质结 AlN插入层 Al组分渐变
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有源相控阵可靠性分析及设计 被引量:5
14
作者 邓林 邓明 +1 位作者 张成伟 何文波 《装备环境工程》 CAS 2012年第2期21-24,37,共5页
基于有源相控阵原理和特点,对有源相控阵可靠性特征展开了分析。在同等复杂度下,采用可靠性表决模型和全串联模型对可靠性特征进行了对比分析,给出了有源相控阵表决模型设计的工程经验参数,并利用氮化镓器件对有源相控阵高可靠性设计进... 基于有源相控阵原理和特点,对有源相控阵可靠性特征展开了分析。在同等复杂度下,采用可靠性表决模型和全串联模型对可靠性特征进行了对比分析,给出了有源相控阵表决模型设计的工程经验参数,并利用氮化镓器件对有源相控阵高可靠性设计进行了展望。 展开更多
关键词 雷达工程 可靠性 表决模型 氮化镓 有源相控阵
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新型复合沟道Al_(0.3)Ga_(0.7)N/Al_(0.05)Ga_(0.95)N/GaN HEMT低相位噪声微波单片集成压控振荡器(英文) 被引量:2
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作者 程知群 蔡勇 +3 位作者 刘杰 周玉刚 刘稚美 陈敬 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期241-245,共5页
设计并研制了一种新型复合沟道Al0.3Ga0.7N/Al0.05Ga0.95N/GaN HEMT(CC-HEMT)微波单片集成压控振荡器(VCO),且测试了电路的性能。CC-HEMT的栅长为1μm,栅宽为100μm。叉指金属-半导体-金属(MSM)变容二极管被设计用于调谐VCO频率。为提... 设计并研制了一种新型复合沟道Al0.3Ga0.7N/Al0.05Ga0.95N/GaN HEMT(CC-HEMT)微波单片集成压控振荡器(VCO),且测试了电路的性能。CC-HEMT的栅长为1μm,栅宽为100μm。叉指金属-半导体-金属(MSM)变容二极管被设计用于调谐VCO频率。为提高螺旋电感的Q值,聚酰亚胺介质被插入在电感金属层与外延在蓝宝石上GaN层之间。当CC-HEMT的直流偏置为Vgs=-3V,Vds=6V,变容二极管的调谐电压从5.5V到8.5V时,VCO的频率变化从7.04GHz到7.29GHz,平均输出功率为10dBm,平均功率附加效率为10.4%。当加在变容二极管上电压为6.7V时,测得的相位噪声为-86.25dBc/Hz(在频偏100KHz时)和-108dB/Hz(在频偏1MHz时),这个结果也是整个调谐范围的平均值。据我们所知,这个相位噪声测试结果是文献报道中基于GaN HEMT单片VCO的最好结果。 展开更多
关键词 Al0.3Ga0.7N/Al0.05Ga0.95N/GaN高电子迁移率晶体管 微波单片集成电路 压控振荡器 相位噪声
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基于再生长欧姆接触工艺的220 GHz InAlN/GaN场效应晶体管(英文) 被引量:1
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作者 尹甲运 吕元杰 +5 位作者 宋旭波 谭鑫 张志荣 房玉龙 冯志红 蔡树军 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期6-9,34,共5页
在蓝宝石衬底上研制了具有高电流增益截止频率(f_T)的InAlN/GaN异质结场效应晶体管(HFETs).基于MOCVD外延n+-GaN欧姆接触工艺实现了器件尺寸的缩小,有效源漏间距(Lsd)缩小至600 nm.此外,采用自对准工艺制备了50 nm直栅.由于器件尺寸的缩... 在蓝宝石衬底上研制了具有高电流增益截止频率(f_T)的InAlN/GaN异质结场效应晶体管(HFETs).基于MOCVD外延n+-GaN欧姆接触工艺实现了器件尺寸的缩小,有效源漏间距(Lsd)缩小至600 nm.此外,采用自对准工艺制备了50 nm直栅.由于器件尺寸的缩小,Vgs=1 V下器件最大饱和电流(I_(ds))达到2.11 A/mm,峰值跨导达到609 mS/mm.根据小信号测试结果,外推得到器件的fT和最大振荡频率(fmax)分别为220 GHz和48 GHz.据我们所知,该f_T值是目前国内InAlN/GaN HFETs器件报道的最高结果. 展开更多
关键词 InA1N/GaN HFET FT 再生长n+-GaN欧姆接触
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AlGaN/GaN异质结紫外探测器 被引量:1
17
作者 陈俊 许金通 +3 位作者 李雪 陈亮 赵德刚 李向阳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第6期917-919,共3页
采用p-AlxGa1-xN/i-GaN/n-GaN异质结构成功制备了含铝组分分别为0.1和0.07的正照射可见盲紫外探测器,并分别测试了它们的伏安特性曲线和光电响应光谱。对于Al组分为0.1的器件,在零偏压处出现了极低的暗电流密度,表明器件具有非常高的信... 采用p-AlxGa1-xN/i-GaN/n-GaN异质结构成功制备了含铝组分分别为0.1和0.07的正照射可见盲紫外探测器,并分别测试了它们的伏安特性曲线和光电响应光谱。对于Al组分为0.1的器件,在零偏压处出现了极低的暗电流密度,表明器件具有非常高的信噪比。高分辨率X射线衍射仪对材料的测试结果表明,高铝组分(0.1)窗口层薄膜材料的晶体质量较差,导致暗电流增大,而其窗口层的窗口选择作用则可以得到较高的响应率和较宽的响应波段。 展开更多
关键词 P-I-N GAN 光谱响应
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调制掺杂Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结构的微应变 被引量:1
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作者 谭伟石 沙昊 +6 位作者 沈波 蔡宏灵 吴小山 蒋树声 郑文莉 贾全杰 姜晓明 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第10期799-804,共6页
用MOCVD方法在 (0 0 0 1)取向的蓝宝石 (α -Al2 O3)衬底上生长了不同势垒层厚度的Al0 .2 2Ga0 .78N/GaN异质结构 ,利用高分辨X射线衍射 (HRXRD)测量了其对称反射 (0 0 0 2 )和非对称反射 (10 14 )的倒易空间图 (RSM )。分析结果表明 ,... 用MOCVD方法在 (0 0 0 1)取向的蓝宝石 (α -Al2 O3)衬底上生长了不同势垒层厚度的Al0 .2 2Ga0 .78N/GaN异质结构 ,利用高分辨X射线衍射 (HRXRD)测量了其对称反射 (0 0 0 2 )和非对称反射 (10 14 )的倒易空间图 (RSM )。分析结果表明 ,势垒层内部微结构与应变状态和下层i -GaN的微结构与应变状态互相关联 ,当厚度大于 75 0 时 ,势垒层开始发生应变弛豫 ,临界厚度大于5 0 0 。势垒层具有一种“非常规”应变弛豫状态 ,这种状态的来源可能与n -AlGaN的内部缺陷以及i-GaN/α -Al2 展开更多
关键词 调制掺杂 微应变 AlxGa1-x/GaN 异质结构 高分辨X射线衍射 微结构 驰豫线模型 半导体材料 氮化镓
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高性能背照式GaN/AlGaN p-i-n紫外探测器的制备与性能 被引量:7
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作者 陈亮 张燕 +3 位作者 陈俊 郭丽伟 李向阳 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第6期928-931,共4页
研究了GaN/AlGaN异质结背照式p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能。GaN/AlGaN外延材料采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长,衬底为双面抛光的蓝宝石,缓冲层为AlN,n型层采用厚度为0.8μm的Si掺杂Al0.3Ga0.7N形成窗口层,i型层为0... 研究了GaN/AlGaN异质结背照式p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能。GaN/AlGaN外延材料采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长,衬底为双面抛光的蓝宝石,缓冲层为AlN,n型层采用厚度为0.8μm的Si掺杂Al0.3Ga0.7N形成窗口层,i型层为0.18μm的非故意掺杂的GaN,p型层为0.15μm的Mg掺杂GaN。采用Cl2、Ar和BCl3感应耦合等离子体刻蚀定义台面,光敏面面积为1.96×10-3 cm2。可见盲紫外探测器展示了窄的紫外响应波段,响应区域为310~365 nm,在360 nm处响应率最大,为0.21 A/W,在考虑表面反射时,内量子效率达到82%;优质因子R0A为2.00×108Ω.cm2,对应的探测率D=2.31×1013 cm.Hz1/2.W-1;且零偏压下的暗电流为5.20×10-13 A。 展开更多
关键词 GaN/AIGaN P-I-N 紫外探测器 响应光谱
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N极性GaN基HEMT研究进展 被引量:1
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作者 王现彬 赵正平 +1 位作者 房玉龙 冯志红 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第12期881-892,904,共13页
N极性GaN材料借助与传统Ga极性GaN极性相反这一特征,以低接触电阻、高2DEG限阈性,在高频、大功率微波晶体管、增强型器件及传感器等应用方面显示出了极大的优势。首先分析了N极性GaN材料与HEMT器件的特性,指出了其和Ga极性材料与器件的... N极性GaN材料借助与传统Ga极性GaN极性相反这一特征,以低接触电阻、高2DEG限阈性,在高频、大功率微波晶体管、增强型器件及传感器等应用方面显示出了极大的优势。首先分析了N极性GaN材料与HEMT器件的特性,指出了其和Ga极性材料与器件的区别及优势。同时研究了N极性GaN材料的生长、HEMT器件结构及性能发展趋势,分析表明随着材料生长及器件制作工艺水平的逐步提高,N极性GaN材料与HEMT器件性能提升很快。特别是AlN插入层的引入、AlGaN背势垒层Si掺杂及Al组分渐变式处理,结合新型绝缘层、源漏凹槽、自对准与InN/InGaN欧姆再生、长颈T型栅、双凹栅槽等新技术,使N极性GaN HEMT器件小信号特性逐步提高。而MOCVD、MBE工艺在N极性GaN材料生长方面的优化,也促进了N极性GaN HEMT器件在C波段和X波段功率放大应用方面的进一步发展。 展开更多
关键词 GAN N极性 Ga极性 高电子迁移率晶体管(HEMT) AlN插入层
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