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Numerical Analysis on the Effect of n-Si on Cu(In, Ga)Se2 Based Thin-Films for High-Performance Solar Cells by 1D-SCAPS
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作者 Rasika N. Mohottige Micheal Farndale +1 位作者 Gary S. Coombs Shahnoza Saburhhojayeva 《Open Journal of Applied Sciences》 2024年第5期1315-1329,共15页
We report the performances of a chalcopyrite Cu(In, Ga)Se<sub>2 </sub>CIGS-based thin-film solar cell with a newly employed high conductive n-Si layer. The data analysis was performed with the help of the ... We report the performances of a chalcopyrite Cu(In, Ga)Se<sub>2 </sub>CIGS-based thin-film solar cell with a newly employed high conductive n-Si layer. The data analysis was performed with the help of the 1D-Solar Cell Capacitance Simulator (1D-SCAPS) software program. The new device structure is based on the CIGS layer as the absorber layer, n-Si as the high conductive layer, i-In<sub>2</sub>S<sub>3</sub>, and i-ZnO as the buffer and window layers, respectively. The optimum CIGS bandgap was determined first and used to simulate and analyze the cell performance throughout the experiment. This analysis revealed that the absorber layer’s optimum bandgap value has to be 1.4 eV to achieve maximum efficiency of 22.57%. Subsequently, output solar cell parameters were analyzed as a function of CIGS layer thickness, defect density, and the operating temperature with an optimized n-Si layer. The newly modeled device has a p-CIGS/n-Si/In<sub>2</sub>S<sub>3</sub>/Al-ZnO structure. The main objective was to improve the overall cell performance while optimizing the thickness of absorber layers, defect density, bandgap, and operating temperature with the newly employed optimized n-Si layer. The increase of absorber layer thickness from 0.2 - 2 µm showed an upward trend in the cell’s performance, while the increase of defect density and operating temperature showed a downward trend in solar cell performance. This study illustrates that the proposed cell structure shows higher cell performances and can be fabricated on the lab-scale and industrial levels. 展开更多
关键词 n-si p-CIGS 1D-SCAPS Thin-Films In2S3
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TiO_2/n-Si/p-Si及n-PS/p-PS/Si的光伏特性 被引量:4
2
作者 向梅 贾振红 涂楚辙 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期218-220,共3页
在抛光的p型单晶硅上通过扩散工艺制备pn结,采用此种硅片利用阳极腐蚀法制备多孔硅(PS)。用磁控溅射镀膜机在有pn结的单晶硅表面镀上一层TiO2纳米结构薄膜,并用表面光电压谱(SPS)研究了n-PS/p-PS/Si和TiO2/n-Si/p-Si的表面光伏特性... 在抛光的p型单晶硅上通过扩散工艺制备pn结,采用此种硅片利用阳极腐蚀法制备多孔硅(PS)。用磁控溅射镀膜机在有pn结的单晶硅表面镀上一层TiO2纳米结构薄膜,并用表面光电压谱(SPS)研究了n-PS/p-PS/Si和TiO2/n-Si/p-Si的表面光伏特性。结果表明TiO2/n-Si/p-Si和n-PS/p-PS/Si的光伏效应比n-Si/p-Si在不同程度上有所提高。在300~600℃热处理温度范围内TiO2/n-Si/p-Si的光伏效应随温度的升高而增强,600~800℃范围内随温度的升高而降低。 展开更多
关键词 n-PS/p—PS/Si TiO2/n-si/p—Si n—Si/p—Si 光伏效应
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n-Si/p-CuI异质结的制备及其光电特性研究 被引量:1
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作者 熊超 朱锡芳 +5 位作者 陈磊 陆兴中 袁洪春 肖进 丁丽华 徐安成 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期787-790,803,共5页
采用成本低廉的连续离子层沉积法通过在n型Si衬底上沉积γ相的多晶结构的CuI薄膜而制备了CuI/n-Si异质结。并通过测试其光照下的I-V、C-V特性对其光电特性、载流子输运特性及导电机理进行了研究。研究表明CuI/n-Si异质结存在良好的整流... 采用成本低廉的连续离子层沉积法通过在n型Si衬底上沉积γ相的多晶结构的CuI薄膜而制备了CuI/n-Si异质结。并通过测试其光照下的I-V、C-V特性对其光电特性、载流子输运特性及导电机理进行了研究。研究表明CuI/n-Si异质结存在良好的整流特性,由于在CuI/nSi异质结界面处的导带补偿与价带补偿相差较大,在正向电压、无光照下,导电机理为空间电荷限制电流导电,此时空穴电流主导;在光照下,异质结表现出良好的光电响应,因此可以广泛应用在光电探测和太阳电池等领域。 展开更多
关键词 p-CuI/n-si异质结 I-V特性 C-V特性 内建电势 界面态
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非晶掺氧氮化硅薄膜中N-Si-O发光缺陷态的研究 被引量:1
4
作者 董恒平 陈坤基 +5 位作者 宗波 井娥林 王昊 窦如凤 郭燕 徐骏 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期392-398,共7页
在室温下利用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备出非晶掺氧氮化硅(a-SiN_x∶O)薄膜.通过改变硅烷(SiH_4)和氨气(NH_3)流量比R,可实现薄膜光致发光(PL)峰位在2.06~2.79eV可见光能量范围内的波长调制.光吸收谱中光吸收峰位与PL峰... 在室温下利用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备出非晶掺氧氮化硅(a-SiN_x∶O)薄膜.通过改变硅烷(SiH_4)和氨气(NH_3)流量比R,可实现薄膜光致发光(PL)峰位在2.06~2.79eV可见光能量范围内的波长调制.光吸收谱中光吸收峰位与PL峰位重叠,表明薄膜发光来源于光吸收边以下0.65eV左右处的缺陷态.通过对傅里叶变换红外光谱(FTIR)的键浓度分析和X射线光电子能谱(XPS)Si 2p峰的分峰拟合,发现薄膜PL强度的增强与N-Si-O键合浓度的升高紧密相关.R=1∶4时,PL强度与N-Si-O键合浓度同时达到最大.进一步证明了a-SiN_x∶O薄膜中的发光缺陷态与N-Si-O键合结构密切相关.此外,PL峰位随流量比R的增大而发生红移的现象可能源自于N-Si-O组态转变造成的缺陷态密度最大位置处的能级偏移和光学带隙变窄引起的价带顶上移. 展开更多
关键词 光致发光 a-SiNx∶O薄膜 n-si-O键 缺陷态
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p-CuSCN/n-Si异质结的光电特性研究
5
作者 熊超 朱锡芳 +3 位作者 陈磊 袁洪春 潘雪涛 周祥才 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期464-468,共5页
采用成本廉价的连续离子层沉积法在n型Si衬底上沉积β相的六方晶体结构的CuSCN薄膜制备了p-CuSCN/n-Si异质结。并通过测试其光照下的I-V和C-V特性对其光电特性以及载流子输运特性与导电机理进行了研究。研究表明,CuSCN/n-Si异质结存在... 采用成本廉价的连续离子层沉积法在n型Si衬底上沉积β相的六方晶体结构的CuSCN薄膜制备了p-CuSCN/n-Si异质结。并通过测试其光照下的I-V和C-V特性对其光电特性以及载流子输运特性与导电机理进行了研究。研究表明,CuSCN/n-Si异质结存在良好的整流特性;由于在p-CuSCN/n-Si异质结界面处的导带补偿与价带补偿相差较大的缘故,在正向电压,无光照下,导电机理为空间电荷限制电流导电,此时空穴电流主导;在光照下,异质结表现出良好的光电响应,因此可以广泛应用在光电探测和太阳电池等领域。 展开更多
关键词 p-CuSCN n-si异质结 I-V特性 C-V特性 内建电势 界面态
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新型P-N-Si协效型阻燃剂的合成及其在PA66中的应用
6
作者 陈佳 刘继延 刘学清 《江汉大学学报(自然科学版)》 2017年第4期293-297,共5页
通过甲基丙酸基次膦酸铝(Al(MPP))和γ-氨基丙基三乙氧基硅烷(KH550)反应制备得到一种新型P-N-Si协效型阻燃剂(Al(MPP)-KH550)。采用FTIR、XRF、TGA等技术表征了其产物结构及热降解行为。作为阻燃剂应用于PA66时,质量分数为20 wt%的添... 通过甲基丙酸基次膦酸铝(Al(MPP))和γ-氨基丙基三乙氧基硅烷(KH550)反应制备得到一种新型P-N-Si协效型阻燃剂(Al(MPP)-KH550)。采用FTIR、XRF、TGA等技术表征了其产物结构及热降解行为。作为阻燃剂应用于PA66时,质量分数为20 wt%的添加量可使PA66的极限氧指数(LOI)由19.3%提高到29.6%,复合材料的垂直燃烧测试达到UL94 V-0级别;此外,添加Al(MPP)-KH550可有效抑制PA66的热释放速率,促进致密炭层的形成。 展开更多
关键词 P-n-si协效 阻燃剂 合成 PA66
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Fe-Mn-Si基形状记忆合金的奈尔温度(T_N)对马氏体相变的影响 被引量:2
7
作者 吴晓春 徐祖耀 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2000年第3期189-193,共5页
用静电音频内耗仪测量了 Fe- 30 .3Mn- 6 .1Si,Fe- 2 9.0 5 Mn- 6 .2 7Si- RE,Fe- 2 6 .4Mn- 6 .0 2 Si- 5 .2 Cr形状记忆合金在 15 0~ 6 0 0 K温度范围的内耗及模量变化 ,确定了三种合金的 TN 温度及 MS温度 ,通过计算 ε→ γ相变内... 用静电音频内耗仪测量了 Fe- 30 .3Mn- 6 .1Si,Fe- 2 9.0 5 Mn- 6 .2 7Si- RE,Fe- 2 6 .4Mn- 6 .0 2 Si- 5 .2 Cr形状记忆合金在 15 0~ 6 0 0 K温度范围的内耗及模量变化 ,确定了三种合金的 TN 温度及 MS温度 ,通过计算 ε→ γ相变内耗峰的面积 ,研究了奈尔温度 TN 对 γ→ ε马氏体相变的影响 .结果表明 :合金成分显著地影响 TN 温度 ,其中 RE和 Cr均降低 TN 温度 .随着 TN 温度的降低 ,MS- TN 温度差增大 ,TN 温度对马氏体相变的抑制作用降低 ,使马氏体形成量增加 ,进而使 ε→ γ相变峰的面积即逆相变量增大 . 展开更多
关键词 FE-Mn-si基合金 奈尔温度 相变 形状记忆合金
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基于转移矩阵法的n-Si/n-Fe_2O_3光催化性能研究
8
作者 陈磊 冯德强 +1 位作者 刘孟寅 王卫超 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期2758-2764,共7页
对平衡态及光照下非平衡态的n-Si/n-Fe2O3/electrolyte的能带结构进行了分析,同时结合转移矩阵法定量地计算Si中不同能量的电子/空穴穿过n-Si/n-Fe2O3势垒并满足水氧化还原电势要求的透射系数,从而得出光照与Fe2O3厚度对Si中电子/空穴... 对平衡态及光照下非平衡态的n-Si/n-Fe2O3/electrolyte的能带结构进行了分析,同时结合转移矩阵法定量地计算Si中不同能量的电子/空穴穿过n-Si/n-Fe2O3势垒并满足水氧化还原电势要求的透射系数,从而得出光照与Fe2O3厚度对Si中电子/空穴透射能量的影响。结果表明:Fe2O3层厚度(1-10 nm)与光电压的增大,均可以使Si中电子满足水还原反应电势要求所需的最小能量减小,同时使Si中空穴满足水氧化反应电势要求所需的最小能量增大。通过选择合适的Fe2O3厚度(-7 nm),可以使Si中的光生电子和光生空穴同时以较小的能量传输到电解液中并满足水氧化和水还原反应的电势要求。 展开更多
关键词 光催化 转移矩阵法 透射系数 n-si/n-Fe2O3异质结 水氧化还原反应
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硼离子掺杂类金刚石薄膜及 C(B)/n-Si 异质结光伏特性 被引量:2
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作者 周之斌 杜先智 +2 位作者 张亚增 杨峰 崔容强 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第2期197-200,共4页
采用直流弧光放电等离子PCVD法,沉积获得硼掺杂类金刚石薄膜,该材料p型半导体,电阻率5—10Ωcm。俄歇(Auger)电子能谱测试表明,硼离子含量为0.8%,由扫描电镜(SEM)和激光喇曼(Raman)谱分析可知,... 采用直流弧光放电等离子PCVD法,沉积获得硼掺杂类金刚石薄膜,该材料p型半导体,电阻率5—10Ωcm。俄歇(Auger)电子能谱测试表明,硼离子含量为0.8%,由扫描电镜(SEM)和激光喇曼(Raman)谱分析可知,薄膜以非晶为主,观察到许多线径为0.5—1.0μm的金刚石结晶微粒。制备成Au/C(B)/n-Si异质结,其开路电压Voc=580mV,短路电流密度为650μAcm-2,获得暗I-V整流特性和光照I-V工作曲线。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 异质结 光伏特性
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电沉积Pt微岛对单晶n-Si光阳极行为的影响
10
作者 范宏斌 范钦柏 邓薰南 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第4期429-433,共5页
用电沉积法在n-Si单晶表面上制得微细的不连续Pt岛,测得最佳的电沉积条件与最适当的氧化还原偶。在63mW/cm^2白光照射下,I_(sc)为21mA/cm^2,V_(oc)为0.57伏,转换效率达12.1%。 用SEM、XPS及AES测量n-Si/Pt电极表面。对实验结果进行了... 用电沉积法在n-Si单晶表面上制得微细的不连续Pt岛,测得最佳的电沉积条件与最适当的氧化还原偶。在63mW/cm^2白光照射下,I_(sc)为21mA/cm^2,V_(oc)为0.57伏,转换效率达12.1%。 用SEM、XPS及AES测量n-Si/Pt电极表面。对实验结果进行了详细讨论。 展开更多
关键词 电沉积 尼微岛 单晶 阳极 n-si
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Comparative study of the electrical properties of Au/n-Si(MS) and Au/Si_3N_4 /n-Si(MIS) Schottky diodes
11
作者 Adem Tataroglu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第6期627-632,共6页
In this paper, the electrical parameters of Au/n-Si (MS) and Au/Si3N4/n-Si (MIS) Schottky diodes are obtained from the forward bias current-voltage (I-V) and capacitance-voltage (C-V) measurements at room temp... In this paper, the electrical parameters of Au/n-Si (MS) and Au/Si3N4/n-Si (MIS) Schottky diodes are obtained from the forward bias current-voltage (I-V) and capacitance-voltage (C-V) measurements at room temperature. Experimental results show that the rectifying ratios of the MS and MIS diodes at ± 5 V are found to be 1.25 ×103 and 1.27 ×104, respectively. The main electrical parameters of the MS and MIS diodes, such as the zero-bias barrier height (rbBo) and ideality factor (n), are calculated to be 0.51 eV (I-V), 0.53 eV (C-V), and 4.43, and 0.65 eV (I-V), 0.70 eV (C-V), and 3.44, respectively. In addition, the energy density distribution profile of the interface states (Nss) is obtained from the forward bias I-V, and the series resistance (Rs) values for the two diodes are calculated from Cheung's method and Ohm's law. 展开更多
关键词 Au/n-si and Au/Si3N4/n-si type diodes I-V and C-V measurements ideality factor barrier height
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SnO_2超微粒非晶薄膜对n-Si光电效应的影响
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作者 王雅静 姜月顺 +1 位作者 戴国瑞 李铁津 《沈阳化工学院学报》 CAS 1998年第4期271-275,共5页
用等离子激活化学气相沉积(PECVD)法制备了SnO2超微粒非晶薄膜.X光电子能谱分析结果表明SnO2中的O/Sn比超过化学计量比.nSi和SnO2/nSi的表面光电压谱显示,SnO2薄膜的处理条件不同,光电压... 用等离子激活化学气相沉积(PECVD)法制备了SnO2超微粒非晶薄膜.X光电子能谱分析结果表明SnO2中的O/Sn比超过化学计量比.nSi和SnO2/nSi的表面光电压谱显示,SnO2薄膜的处理条件不同,光电压响应所需光强也不同.将SnO2薄膜沉积在nSi上,可使其光电转换效率提高3个数量级以上,并且也能使nSi光电流和光电压有所提高. 展开更多
关键词 光电压 二氧化锡 PEVCD 非晶薄膜
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Photovoltaic Properties of the Modified n-Si(111) Electrodes with Ethyl and Carboxyls
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作者 Yuxue ZHAO Yabo WEI +3 位作者 Wensheng YANG Pudun ZHANG Xin ZHOU Qinghong XU 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第2期157-160,共4页
n-Si(111) surface tailed -C2H5, -C2H4COOH, -C2H2COOH were prepared by the reactions among Si-H to ethyl-Grignard, methyl acrylate and ethyl propionate, and the carboxyls were formed under the existence of trifluoroa... n-Si(111) surface tailed -C2H5, -C2H4COOH, -C2H2COOH were prepared by the reactions among Si-H to ethyl-Grignard, methyl acrylate and ethyl propionate, and the carboxyls were formed under the existence of trifluoroacetic acid. The composite n-Si(111) electrodes were obtained by depositing Pt nanodots and the photovoltaic characteristics for these electrodes were studied in I^-/I3^- redox electrolyte. The j-U (photo current density-potential) behaviors of photo-voltage and photocurrent densities to the electrodes under solar illumination varied regularly with groups of -C2H2COOH〉-C2H4COOH〉-H〉-C2H5. The photo-voltage and photocurrent density of the electrode tailed -C2 H2COOH were -0.641 V and 5.25 mA/cm^2, respectively, more negative than those of the non-conjugated modification. 展开更多
关键词 n-si(111) wafer Photo-voltage Photocurrent density Semiconductor electrode
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Temperature-dependent dielectric properties of Au/Si_3N_4/n-Si (metal insulator semiconductor) structures
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作者 T.Ataseven A.Tataroglu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期541-546,共6页
The dielectric properties of Au/Si3N4/n-Si (MIS) structures are studied using the admittance measurements (C–V and G/ω–V) each as a function of temperature in a range from 80 K to 400 K for two frequencies (10... The dielectric properties of Au/Si3N4/n-Si (MIS) structures are studied using the admittance measurements (C–V and G/ω–V) each as a function of temperature in a range from 80 K to 400 K for two frequencies (100 kHz and 1 MHz). Experimental results show that both the dielectric constant (ε’) and the dielectric loss (ε") increase with temperature increasing and decrease with frequency increasing. The measurements also show that the ac conductivity (σac) increases with temperature and frequency increasing. The lnσac versus 1000/T plot shows two linear regions with different slopes which correspond to low (120 K–240 K) and high (280 K–400 K) temperature ranges for the two frequencies. It is found that activation energy increases with frequency and temperature increasing. 展开更多
关键词 Au/Si3N4/n-si (metal-insulator-semiconductor) structure admittance measurements dielectricproperties ac conductivity
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FORMATION AND PROPERTIES 0F POROUS SILICON LAYER ON HEAVILY DOPED n-Si
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作者 Rui Bao JIA Shi Xun WANG Guo Xheng LI Department of Chemistry, Shandong University, Jinan 250100 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 1993年第7期657-658,共2页
The anodic voltammetric curves of heavily doped n-Si in HF solution, on which three different regions have emerged, and were plotted, A porous silicon layer with fine morphology was formed in linear region.
关键词 PSL HF FORMATION AND PROPERTIES 0F POROUS SILICON LAYER ON HEAVILY DOPED n-si
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Illumination and Voltage Dependence of Electrical Characteristics of Au/0.03 Graphene-Doped PVA/n-Si Structures via Capacitance/Conductance-Voltage Measurements
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作者 SAHAR Alialy AHMET Kaya +1 位作者 I Uslua EMSETTIN Altmdal 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第11期92-96,共5页
Au/n-Si (MS) structures with a high dielectric interlayer (0.03 graphene-doped PVA) are fabricated to investigate the illumination and voltage effects on electrical and dielectric properties by using capacitance-v... Au/n-Si (MS) structures with a high dielectric interlayer (0.03 graphene-doped PVA) are fabricated to investigate the illumination and voltage effects on electrical and dielectric properties by using capacitance-voltage (C-V) and conductance-voltage (G/w-V) measurements at room temperature and at 1 MHz. Some of the main electrical parameters such as concentration of doping atoms (ND), barrier height ( ФB( C - V) ), depletion layer width (WD) and series resistance (Rs) show fairly large illumination dispersion. The voltage-dependent profile of surface states (Nss) and resistance of the structure (Ri ) are also obtained by using the dark-illumination capacitance (Cdark- Cm) and Nicollian-Brews methods, respectively, For a clear observation of changes in electrical parameters with illumination, the values of ND, WD, ФB(O- V) and Rs are drawn as a function of illumination intensity. The values of ND and WD change almost linearly with illumination intensity. On the other hand, Rs decreases almost exponentially with increasing illumination intensity whereas ФB(C - V) increases. The experimental results suggest that the use of a high dielectric interlayer (0.03 graphene-doped PVA) considerably passivates or reduces the magnitude of the surface states. The large change or dispersion in main electrical parameters can be attributed to generation of electron-hole pairs in the junction under illumination and to a good light absorption. All of these experimental results confirm that the fabricated Au/0.03 graphene-doped PVA/n-Si structure can be used as a photodiode or a capacitor in optoelectronic applications. 展开更多
关键词 SI PVA Illumination and Voltage Dependence of Electrical Characteristics of Au/0.03 Graphene-Doped PVA/n-si Structures via Capacitance/Conductance-Voltage Measurements
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Electrical and dielectric characterization of Au/ZnO/n-Si device depending frequency and voltage
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作者 I Orak A Kocyigit S Ahndal 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第2期477-483,共7页
Au/Zn O/n-type Si device is obtained using atomic layer deposition(ALD) for Zn O layer, and some main electrical parameters are investigated, such as surface/interface state(Nss), barrier height(Φb), series res... Au/Zn O/n-type Si device is obtained using atomic layer deposition(ALD) for Zn O layer, and some main electrical parameters are investigated, such as surface/interface state(Nss), barrier height(Φb), series resistance(Rs), donor concentration(Nd), and dielectric characterization depending on frequency or voltage. These parameters are acquired by use of impedance spectroscopy measurements at frequencies ranging from 10 k Hz to 1 MHz and the direct current(DC) bias voltages in a range from-2 V to +2 V at room temperature are used. The main electrical parameters and dielectric parameters,such as dielectric constant(ε"), dielectric loss(ε"), loss tangent(tan δ), the real and imaginary parts of electric modulus(M and M), and alternating current(AC) electrical conductivity(σ) are affected by changing voltage and frequency. The characterizations show that some main electrical parameters usually decrease with increasing frequency because charge carriers at surface states have not enough time to fallow an external AC signal at high frequencies, and all dielectric parameters strongly depend on the voltage and frequency especially in the depletion and accumulation regions. Consequently, it can be concluded that interfacial polarization and interface charges can easily follow AC signal at low frequencies. 展开更多
关键词 Au/ZnO/n–Si device dielectric properties polarization process frequency and voltage dependence
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金属钼表面Mo-C-N-Si涂层的制备及其高温氧化特性 被引量:6
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作者 古思勇 张厚安 +1 位作者 吴艺辉 谢能平 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1219-1223,共5页
在金属钼表面制备了Mo-C-N-Si涂层,研究了涂层在1600℃大气环境下的氧化特性,采用SEM和XRD分析了涂层的微观结构和物相组成。结果表明:Mo-C-N-Si涂层以MoSi2为主相,SiC和Si3N4为次相,存在Mo2C+MoxN中间层;由于扩散和氧化反应,涂层在氧... 在金属钼表面制备了Mo-C-N-Si涂层,研究了涂层在1600℃大气环境下的氧化特性,采用SEM和XRD分析了涂层的微观结构和物相组成。结果表明:Mo-C-N-Si涂层以MoSi2为主相,SiC和Si3N4为次相,存在Mo2C+MoxN中间层;由于扩散和氧化反应,涂层在氧化初期形成SiO2氧化膜层、MoSi2主体层、Mo5Si3层和Mo2C+MoxN层等四层结构,氧化后期转变为Mo2C+MoxN层和Mo3Si+Mo5Si3层的双层结构,导致涂层失效。由于C、N的引入,涂层抗热震性能良好。 展开更多
关键词 Mo-C-n-si涂层 钼基体 高温抗氧化
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硅掺杂对不同衬底的氮化铝薄膜的影响研究
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作者 王绪 杨发顺 +2 位作者 熊倩 周柳含 马奎 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2025年第5期50-56,共7页
选择硅作为N型杂质源,采用高温热扩散的方式进行实验研究.采用磁控溅射法在硅/蓝宝石衬底上外延的AlN薄膜上沉积纯硅.硅的溅射时间决定了硅层的厚度,从而决定了硅的掺杂剂量.在氮气气氛下高温(1150℃)热扩散4小时后,AlN薄膜表面的硅原... 选择硅作为N型杂质源,采用高温热扩散的方式进行实验研究.采用磁控溅射法在硅/蓝宝石衬底上外延的AlN薄膜上沉积纯硅.硅的溅射时间决定了硅层的厚度,从而决定了硅的掺杂剂量.在氮气气氛下高温(1150℃)热扩散4小时后,AlN薄膜表面的硅原子扩散进入AlN晶格,取代铝原子的位置,形成掺杂硅的AlN薄膜.有效的硅掺杂导致AlN(002)衍射峰向一个较大的角度偏移,且偏移的角度随掺杂的浓度升高而增大.且硅衬底上的样品,使用能量色散光谱仪测试结果表明,衬底硅将作为固定的扩散源扩散到薄膜中,增加非故意掺杂浓度,因此可以在整个薄膜截面内测量到硅元素.蓝宝石的衬底的样品在热扩散后出现裂纹. 展开更多
关键词 N型氮化铝 硅掺杂 磁控溅射 热扩散 衬底反扩散
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N掺杂对Si-DLC薄膜的结构性能影响及摩擦机理研究
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作者 魏徐兵 冯海燕 +6 位作者 尹萍妹 陈赞 丁佳晴 卢诗琪 杜乃洲 李晓伟 张广安 《摩擦学学报(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1266-1282,共17页
采用平板阴极等离子体增强化学气相沉积技术,通过调控N_(2)流量在GCr15基底上制备了系列硅氮共掺杂类金刚石碳基(Si/N-DLC)薄膜,分析探索N掺杂对于Si-DLC薄膜结构、力学性能和摩擦学行为的作用规律以及Si/NDLC薄膜的低摩擦磨损机理.结... 采用平板阴极等离子体增强化学气相沉积技术,通过调控N_(2)流量在GCr15基底上制备了系列硅氮共掺杂类金刚石碳基(Si/N-DLC)薄膜,分析探索N掺杂对于Si-DLC薄膜结构、力学性能和摩擦学行为的作用规律以及Si/NDLC薄膜的低摩擦磨损机理.结果表明:N元素的引入促进Si-DLC薄膜中sp^(2)-C结构的形成,降低了薄膜的硬度和弹性模量,但能大幅改善Si-DLC薄膜的韧性并增强结合(>20 N).更重要的是,N掺杂可有效降低Si-DLC薄膜的摩擦系数并改善其耐磨性能,摩擦系数和磨损率相较于Si-DLC薄膜分别降低了约26%和45%.其摩擦机理是类石墨碳(GLC)转移膜的形成使得摩擦界面发生转移,有效降低了Si/N-DLC薄膜的摩擦系数,并且依赖于摩擦界面的石墨化程度和氢含量.而磨损行为取决于其薄膜自身韧性和抵抗弹塑性变形的能力,磨痕内部脆性断裂缺口会造成转移膜的大面积破坏,加剧了黏着磨损.此外,确定了Si/N-DLC薄膜低摩擦(摩擦系数≤0.05)的最佳服役区间,相关结果为Si/N-DLC薄膜的结构性能调控和工程应用提供参考. 展开更多
关键词 Si/N-DLC薄膜 摩擦磨损 润滑机理 GLC转移膜 滑动界面
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