基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究

结合信息技术、生物技术与纳米技术的发展,提出一种基于NEMS技术的“三维纳隙网格阵列微电极生物传感器”设计,用于生物样品在蛋白或细胞水平上的介电泳分离和检测.重点针对传感器制作的关键工艺问题,创新性地提出了一种利用反应离子刻蚀侧向钻蚀效应实现纳隙薄金属悬臂梁结构的理论和方法,此方法对电容式生物传感器的制作有普遍的实践意义.

基于微纳加工技术的生物传感器研究进展

微/纳电子机械系统MEMS/NEMS(Micro/Nano Electro-Mechanical Systems)技术作为一种成熟的微结构制造技术,可实现硅基纳米级传感器器件的批量化、集成化制造,形成具有体积小、质量轻、性能高的微型传感器及其测试系统.生物传感技术可以将生物敏感反应信号转化为光电等信号而被检测.与其他生物传感器相比,采用MEMS/NEMS技术制备的生物传感器,灵敏度更高、响应时间更短、检测性能更强,更为实现自动化高通量的医学诊断提供了有力的支持.本文着重探讨MEMS/NEMS生物传感器常见的器件类型和对应器件的制备工艺、材料、传感机理、分类及其传感局限,通过综述MEMS/NEMS生物传感器及其国内外研究进展,最后总结MEMS/NEMS生物传感器关键的技术难点与重点,并展望未来MEMS/NEMS生物传感技术的发展前景以及存在的挑战.