蚀刻通孔的阻值影响因素以及调整方法分析

阐述通孔的尺寸、形貌以及底部的特性是决定通孔阻值的关键因素,不同的蚀刻步骤需要配合不同的蚀刻气体,功率以及蚀刻时间。为此,从通孔蚀刻不同的步骤对尺寸、形貌,底部的特性的影响着手,分析影响通孔阻值的关键因素,找出通孔蚀刻工艺的管控方案,扩大工艺窗口。