磁控溅射技术沉积NSN70隔热膜的实验研究

利用磁控溅射技术,在柔性基材PET上沉积Ag Cu合金制备的NSN系列隔热膜,继承了单Ag隔热膜良好的光谱选择性,同时能有效的解决Ag易硫化的难题。通过选择合适的Ag Cu合金靶材、NSN70隔热膜的膜系设计与制备、样品的形貌检测、耐候性实验、光学性能测试等多方面研究了NSN隔热膜。实验结果为以后大规模工业化生产NSN系列隔热膜奠定基础。