NV10-80大束流注入机离子源电路原理分析及维修经验浅谈

本文较为详细地分析了EatonNV10 - 80大束流离子注入机离子源电路工作原理 ,包括ARC电压、灯丝电流、气源压力调节及固体源坩埚温度控制的电路工作原理 ,同时 ,又针对常见离子源故障解决作了剖析。由于EatonNV10 - 80大束流离子注入机国内半导体厂家使用较为广泛 ,其它型号的离子注入机也可借鉴 ,本文有较高的实际指导意义。