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Effects of nano-AlN on phase transformation of low temperature vitrified bond during sintering process 被引量:1
1
作者 尚勇 侯永改 +3 位作者 乔桂英 邹文俊 肖福仁 廖波 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2009年第S3期706-710,共5页
The effects of nano-AlN and sintering temperature on bending strength and wear resistance of low temperature vitrified bond for diamond grinding tools were studied. Furthermore, the phase transformation during sinteri... The effects of nano-AlN and sintering temperature on bending strength and wear resistance of low temperature vitrified bond for diamond grinding tools were studied. Furthermore, the phase transformation during sintering process was investigated by means of thermo-gravimetric analysis (TG), differential thermal analysis (DTA) and X-ray diffraction (XRD). The results show that the higher bending strength and wear resistance of low temperature vitrified bond are obtained by adding nano-AlN in bonds and sintering at optimum temperature. Nano-AlN added in bonds promotes the crystallization during sintering process and refines the grain sizes of crystalline phase. 展开更多
关键词 low temperature vitrified BOND nano-aln SINTERING phase TRANSFORMATION
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球磨工艺对机械合金化制备AlN涂层的影响
2
作者 陈庆艮 《广州化工》 CAS 2024年第9期62-64,107,共4页
在金属Al基板表面制备AlN涂层可结合两者优势,使得复合基板具有优异的导热性、绝缘性以及与芯片匹配的热膨胀系数,有望获得大规模应用。本文采用表面机械纳米合金化工艺在铝表面制备AlN涂层,使用光学显微镜,扫描电子显微镜等设备对系统... 在金属Al基板表面制备AlN涂层可结合两者优势,使得复合基板具有优异的导热性、绝缘性以及与芯片匹配的热膨胀系数,有望获得大规模应用。本文采用表面机械纳米合金化工艺在铝表面制备AlN涂层,使用光学显微镜,扫描电子显微镜等设备对系统地研究了工艺参数对其结构的影响,分析了涂层形成过程及相关作用机理。同时,为了减缓Al基体与AlN涂层之间的不匹配性,还设计并制备了W-Al中间过渡层,并通过优化工艺参数对中间过渡层的结构进行了调控。 展开更多
关键词 表面机械纳米合金化 铝合金 AlN涂层
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纳米AlN/EP导热绝缘胶的制备及其性能研究 被引量:13
3
作者 时雯 冯欣 +1 位作者 施利毅 朱惟德 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期470-473,共4页
采用纳米AlN作为导热填料,经硅烷偶联剂KH-570表面改性后与环氧树脂(EP)共混制备了导热绝缘胶。通过红外光谱(FT-IR)、接触角方法对改性后纳米AlN进行分析和表征,结果表明,KH-570成功包覆到了纳米AlN表面,粉体由亲水性变为疏水性;对于纳... 采用纳米AlN作为导热填料,经硅烷偶联剂KH-570表面改性后与环氧树脂(EP)共混制备了导热绝缘胶。通过红外光谱(FT-IR)、接触角方法对改性后纳米AlN进行分析和表征,结果表明,KH-570成功包覆到了纳米AlN表面,粉体由亲水性变为疏水性;对于纳米AlN/EP导热绝缘胶,随着改性纳米AlN填充量的增加,导热率呈上升趋势;当KH-570用量为3.5%、纳米AlN量为20%时,导热率达到0.632W/(m.K),是纯环氧树脂胶的3倍多;此时体积电阻率为2.6×1013Ω.cm,剪切冲击强度为11.9×1015J/m2。 展开更多
关键词 纳米AlN改性 环氧树脂 导热绝缘 剪切冲击强度
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KH570/聚苯乙烯双重改性纳米氮化铝粉末的研究 被引量:8
4
作者 马文石 董安辉 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期23-25,共3页
采用硅烷偶联剂KH570和苯乙烯对无机纳米AlN粉末表面进行双重改性,制备了表面有机改性纳米AlN粉末。采用红外光谱、热失重以及X射线衍射(XRD)对KH570/聚苯乙烯双重改性前后纳米AlN粉末进行了表征。结果表明:苯乙烯可以与硅烷偶联剂KH... 采用硅烷偶联剂KH570和苯乙烯对无机纳米AlN粉末表面进行双重改性,制备了表面有机改性纳米AlN粉末。采用红外光谱、热失重以及X射线衍射(XRD)对KH570/聚苯乙烯双重改性前后纳米AlN粉末进行了表征。结果表明:苯乙烯可以与硅烷偶联剂KH570共聚并连接在纳米AlN粉末表面;纳米AlN粉末最大失重速率温度由改性前的202.3℃上升到228.07℃;改性剂的用量约为纳米AlN粉末质量分数的2%-3%即可获得很好的改性效果,改性后的纳米AlN粉末即使在70℃的热水中浸泡24h也不会发生明显的水解,疏水性和抗水解性能显著提高。 展开更多
关键词 硅烷偶联剂 苯乙烯 纳米AlN 双重改性 表征
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纳米AlN对低温陶瓷结合剂性能的影响 被引量:3
5
作者 侯永改 张颂 +3 位作者 邹文俊 王旭 李文凤 郭会师 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2009年第2期57-61,共5页
本文探讨了纳米AlN对Na2O-B2O3-SiO2硼硅酸盐玻璃体系陶瓷结合剂性能的影响。利用差热分析仪、X-射线衍射仪等仪器,在不同烧成温度及气氛条件下,测试陶瓷结合剂的热性能、XRD、耐火度、抗折强度,以及线膨胀系数等性能,结果表明:在氩气... 本文探讨了纳米AlN对Na2O-B2O3-SiO2硼硅酸盐玻璃体系陶瓷结合剂性能的影响。利用差热分析仪、X-射线衍射仪等仪器,在不同烧成温度及气氛条件下,测试陶瓷结合剂的热性能、XRD、耐火度、抗折强度,以及线膨胀系数等性能,结果表明:在氩气气氛下纳米AlN会促使陶瓷结合剂中产生析晶;添加纳米AlN质量分数w为6%时,结合剂的烧结温度范围增加30℃;氩气气氛下,烧成温度为710℃,添加纳米AlN质量分数w为6%时,结合剂的抗折强度最大,达到35.64 MPa;纳米AlN加入使结合剂的线膨胀系数下降,添加质量分数w(AlN)为6%时,结合剂的平均线膨胀系数最小为4.99×10-6℃-1。 展开更多
关键词 纳米AlN 陶瓷结合剂 抗折强度 线膨胀系数
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纳米AlN/BN复相陶瓷的显微结构与性能 被引量:5
6
作者 金海云 王雯 +2 位作者 高积强 乔冠军 金志浩 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期176-180,共5页
采用尿素与硼酸的反应,在850℃氮气氛下,合成了纳米BN包裹的AlN粉料,通过TEM观察,BN粒径为20-30nm.通过热压烧结制备出纳米h-BN包裹的AlN/BN复相陶瓷,SEM/TEM观察,h-BN呈细针状,针长100-400nm,针宽为30-50nm.当h-BN含量〉2... 采用尿素与硼酸的反应,在850℃氮气氛下,合成了纳米BN包裹的AlN粉料,通过TEM观察,BN粒径为20-30nm.通过热压烧结制备出纳米h-BN包裹的AlN/BN复相陶瓷,SEM/TEM观察,h-BN呈细针状,针长100-400nm,针宽为30-50nm.当h-BN含量〉20wt%时,其硬度显著降低,提高了材料的可加工性能. 展开更多
关键词 可加工 ALN 纳米BN 显微结构
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纳米AlN对低温陶瓷结合剂金刚石磨具结构与性能的影响 被引量:5
7
作者 侯永改 张颂 邹文俊 《超硬材料工程》 CAS 2009年第4期32-35,共4页
文章探讨了纳米AlN对Na2O-B2O3-SiO2硼硅酸盐玻璃体系陶瓷结合剂金刚石磨具结构与性能的影响。在不同气氛条件下烧结的陶瓷结合剂金刚石磨具试样,利用万能压力试验机、洛氏硬度计、扫描电子显微镜等仪器,测试磨具试样的抗折强度、洛氏... 文章探讨了纳米AlN对Na2O-B2O3-SiO2硼硅酸盐玻璃体系陶瓷结合剂金刚石磨具结构与性能的影响。在不同气氛条件下烧结的陶瓷结合剂金刚石磨具试样,利用万能压力试验机、洛氏硬度计、扫描电子显微镜等仪器,测试磨具试样的抗折强度、洛氏硬度、耐磨性,以及显微结构等。结果表明:纳米AlN含量为6wt%时,结合剂的开始熔融温度为670℃,比纯结合剂低10℃,且烧结温度范围增大;在氩气气氛下烧成,金刚石磨具试样的抗折强度、洛氏硬度、耐磨性等,比在大气气氛下烧成磨具的均有所提高,其中折强度为60.46MPa,洛氏硬度为88;由SEM图谱可以看出,加入纳米AlN后,结合剂与磨粒间结合良好,且组织均匀。 展开更多
关键词 纳米AlN 低温陶瓷结合剂 金刚石磨具 结构
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高强高导纳米复合材料CuCrZr/AlN的组织与性能 被引量:3
8
作者 邓景泉 吴玉程 +1 位作者 王文芳 黄新民 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期428-433,共6页
采用粉末冶金方法制备高强高导铜合金基纳米复合材料(CuCrZr/AlN),用TEM、SEM等方法研究不同工艺条件如温度、压力、复压压力及复烧温度对复合材料组织与性能的影响。结果表明:烧结后的试样密度随压力、烧结温度的升高而增大,复压复烧... 采用粉末冶金方法制备高强高导铜合金基纳米复合材料(CuCrZr/AlN),用TEM、SEM等方法研究不同工艺条件如温度、压力、复压压力及复烧温度对复合材料组织与性能的影响。结果表明:烧结后的试样密度随压力、烧结温度的升高而增大,复压复烧后致密度达98%;试样抗弯强度随密度的增大而增大,复压复烧后,试样最大抗弯强度达到417MPa;600MPa复压950℃复烧试样的软化温度大于600℃;烧结温度为950和900℃,相对应的晶粒尺寸分别是0.26~0.44μm和0.1~0.21μm;材料的电导率随着密度的增大而增大,复压复烧后可以达到62%(IACS)。 展开更多
关键词 CuCrZr/AlN 纳米复合材料 粉末冶金 电导率
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多弧离子镀制备TiN/AlN纳米多层膜及其超硬效应 被引量:6
9
作者 潘应君 邓敏 +3 位作者 陈淑花 向往 李晓光 吴新杰 《武汉科技大学学报》 CAS 2008年第3期312-315,共4页
采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备TiN/AlN纳米多层膜,并对TiN/AlN纳米多层膜的表面形貌、调制机构进行表征。通过对薄膜显微硬度的测试发现,纳米多层膜的显微硬度明显高于TiN或AlN单层薄膜的显微硬度,具有明显的超硬效应。对比试验表... 采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备TiN/AlN纳米多层膜,并对TiN/AlN纳米多层膜的表面形貌、调制机构进行表征。通过对薄膜显微硬度的测试发现,纳米多层膜的显微硬度明显高于TiN或AlN单层薄膜的显微硬度,具有明显的超硬效应。对比试验表明,TiN/AlN纳米多层膜涂层刀具比TiN涂层刀具具有更长的使用寿命。 展开更多
关键词 多弧离子镀 TiN/AlN纳米多层膜 超硬
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纳米AlN含量对石墨/铜-0.6%铬复合材料性能的影响 被引量:1
10
作者 张萍 王文芳 +1 位作者 吴玉程 邓书山 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第7期61-63,共3页
首先采用合金化法制备了铜-铬基体合金粉,然后向其中加入质量分数为10%的石墨粉和不同含量的纳米AlN粉,制备了不同含量纳米AlN颗粒增强的石墨/铜-0.6%铬复合材料,研究了纳米AlN含量对复合材料密度、电阻率、硬度、抗弯强度及磨擦磨损性... 首先采用合金化法制备了铜-铬基体合金粉,然后向其中加入质量分数为10%的石墨粉和不同含量的纳米AlN粉,制备了不同含量纳米AlN颗粒增强的石墨/铜-0.6%铬复合材料,研究了纳米AlN含量对复合材料密度、电阻率、硬度、抗弯强度及磨擦磨损性能的影响。结果表明:随着纳米AlN含量的增加,复合材料的抗弯强度及硬度逐渐增加,密度和导电性逐渐降低,磨损量逐渐减少,摩擦因数变化不大;当纳米AlN质量分数为0.5%时,可在保证不过多降低导电性的前提下,有效提高复合材料的抗弯强度和耐磨性。 展开更多
关键词 纳米AlN 铜基复合材料 电阻率 强度
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点焊电极纳米复合材料(CuCrZr/AlN)组织性能分析 被引量:2
11
作者 邓景泉 吴玉程 +3 位作者 宗跃 王文芳 黄新民 于福文 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期58-60,64,共4页
用机械合金化、粉末冶金方法制备铜铬锆合金基纳米复合材料(CuCrZr/AlN)点焊电极。采用透射电镜TEM,扫描电镜能谱SEM等方法表征纳米复合材料的组织性能。结果表明,纳米复合材料的电导率随AlN含量的增加而降低;纳米复合材料的热导率随Al... 用机械合金化、粉末冶金方法制备铜铬锆合金基纳米复合材料(CuCrZr/AlN)点焊电极。采用透射电镜TEM,扫描电镜能谱SEM等方法表征纳米复合材料的组织性能。结果表明,纳米复合材料的电导率随AlN含量的增加而降低;纳米复合材料的热导率随AlN含量的增加而降低;纳米复合材料的软化温度随AlN含量的增加而提高,当AlN含量为0.4%(质量分数)时,纳米复合材料的软化温度为900℃左右;综合考虑各项性能,当AlN含量为0.2%(质量分数)时,纳米复合材料有较好的综合性能适合做点焊电极。 展开更多
关键词 纳米复合材料 粉末冶金 电导率 热导率 软化温度
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刀具表面超晶格TiN/AlN纳米多层膜的制备及性能的研究 被引量:1
12
作者 潘应君 陈淑花 +2 位作者 张细菊 吴新杰 陈大凯 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2005年第11期23-25,共3页
采用脉冲多弧离子镀技术制备TiN/AlN纳米多层膜,对该薄膜的结构研究表明,随着调制周期的减小,稳定态六方AlN相逐渐转变成亚稳态立方AlN相,形成以TiN/AlN超晶格结构为主的薄膜。并从与标准图谱的对比中可知,TiN/AlN超晶格是AlN在立方TiN... 采用脉冲多弧离子镀技术制备TiN/AlN纳米多层膜,对该薄膜的结构研究表明,随着调制周期的减小,稳定态六方AlN相逐渐转变成亚稳态立方AlN相,形成以TiN/AlN超晶格结构为主的薄膜。并从与标准图谱的对比中可知,TiN/AlN超晶格是AlN在立方TiN簿膜的影响下,在TiN层上以亚稳态相立方结构外延生长所形成。另研究显示,TiN/AlN薄膜具有一定的超硬效应以及在硬质合金刀具上优良的使用性能。 展开更多
关键词 刀具 超晶格TiN/AlN纳米多层膜 多弧离子镀 超硬效应
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真空热压烧结纳米氮化铝陶瓷的研究 被引量:3
13
作者 安晓燕 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2009年第4期519-524,共6页
在1500℃、1600℃和1700℃的烧结温度真空热压烧结出以MoSi2为助剂的纳米AlN陶瓷。XRD、SEM、力学性能检测等测试结果表明:制备出的氮化铝陶瓷晶粒细小(100nm左右),结构均匀,致密度较高、弹性模量和维氏硬度都明显低于纯AlN陶瓷。
关键词 纳米氮化铝陶瓷 真空热压烧结 MOSI2
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基于SOI的压电薄膜式水听器 被引量:1
14
作者 王强 杨婷婷 +4 位作者 赵龙 薛小斌 臧俊斌 张增星 薛晨阳 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第10期787-792,共6页
针对目前压阻式水听器在工作时需要外加电源、对温度敏感以及制造过程复杂的问题,提出了一种以AlN为压电材料的压电薄膜式水听器。该水听器由带有上下电极的压电薄膜以及绝缘体上硅(SOI)衬底组成。根据理论计算和有限元仿真分析对水听... 针对目前压阻式水听器在工作时需要外加电源、对温度敏感以及制造过程复杂的问题,提出了一种以AlN为压电材料的压电薄膜式水听器。该水听器由带有上下电极的压电薄膜以及绝缘体上硅(SOI)衬底组成。根据理论计算和有限元仿真分析对水听器的结构参数进行了优化以满足其对水下低频声信号的探测需求,并对所设计的水听器进行了微纳尺度下的一体化加工。对所制造的水听器进行了形貌测试,并用激光多普勒测振仪测试了水听器的谐振频率,实验测得的谐振频率为0.516 MHz,与理论计算值0.531 MHz非常接近,验证了理论分析的正确性,为压电水听器的研究与应用提供了一定的参考价值。 展开更多
关键词 压电水听器 微电子机械系统(MEMS) ALN 微纳尺度 绝缘体上硅(SOI)
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SiC含量对氮化铝基微波衰减复合陶瓷性能的影响研究 被引量:3
15
作者 高鹏 贾成厂 +4 位作者 曹文斌 崔照雯 常宇宏 刘建金 王聪聪 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期248-253,共6页
以氮化铝和纳米碳化硅为原料,无烧结助剂,1 600 ℃下保温5 min,放电等离子烧结(以下简称SPS),制备了AlN-SiC复合陶瓷.利用扫描电镜,能谱分析仪,XRD,安捷伦4284A LRC阻抗分析仪等对其致密度,显微结构,表面成分,生成的主要物相,介电损... 以氮化铝和纳米碳化硅为原料,无烧结助剂,1 600 ℃下保温5 min,放电等离子烧结(以下简称SPS),制备了AlN-SiC复合陶瓷.利用扫描电镜,能谱分析仪,XRD,安捷伦4284A LRC阻抗分析仪等对其致密度,显微结构,表面成分,生成的主要物相,介电损耗和介电性能进行分析.结果表明,AlN-SiC复合陶瓷的致密度在91%以上,物相主要有作为原料的AlN和β-SiC,以及烧结之后生成的2H-SiC和Fe5 Si3;随着SiC含量的增加,材料的介电损耗,介电常数相应增加;SiC含量在30%~40%(质量分数,下同)之间,1 MHz以下的损耗角正切tanδ≥0.3,表明纳米SiC具有较强的吸波性能.相同含量的碳化硅,材料的介电常数和介电损耗随着频率的增加而降低. 展开更多
关键词 AlN-SiC复合陶瓷 氮化铝 纳米碳化硅 SPS 介电损耗
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FeNi@CNOs/AlN复合材料的制备及其吸波性能 被引量:1
16
作者 宫晓峰 赵斌 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第2期325-330,共6页
核壳结构的碳材料具有优异的吸波性能,但是在陶瓷基体中难以分散均匀。本研究通过化学气相沉积法在氮化铝陶瓷基体中引入磁性纳米洋葱碳,制备了FeNi@CNOs/AlN复合材料,研究了其相组成、微观形貌和吸波性能。结果表明,1100 K下基于Al粉与... 核壳结构的碳材料具有优异的吸波性能,但是在陶瓷基体中难以分散均匀。本研究通过化学气相沉积法在氮化铝陶瓷基体中引入磁性纳米洋葱碳,制备了FeNi@CNOs/AlN复合材料,研究了其相组成、微观形貌和吸波性能。结果表明,1100 K下基于Al粉与C粉,FeNi催化剂的存在可原位生成FeNi@CNOs/AlN复合材料;10wt%FeNi@CNOs/AlN复合材料在8.29~15.32 GHz范围内,其RL值均低于-10 dB,在13.2 GHz处达到最大值为-23 dB。 展开更多
关键词 纳米洋葱碳 氮化铝 介电损耗 吸波性能
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纳米复合材料(Cu/AlN)点焊电极的失效机制分析 被引量:1
17
作者 邓景泉 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期439-443,共5页
通过高能球磨制备铜基纳米氮化铝复合粉体(Cu/AlN),用粉末冶金方法制备Cu/AlN点焊电极并装机进行镀锌薄钢板点焊试验。用XRD、SEM、TEM等表征失效电极的组织形貌,分析电极的失效机制及失效原因。结果表明:铜基纳米复合材料(Cu/AlN)点焊... 通过高能球磨制备铜基纳米氮化铝复合粉体(Cu/AlN),用粉末冶金方法制备Cu/AlN点焊电极并装机进行镀锌薄钢板点焊试验。用XRD、SEM、TEM等表征失效电极的组织形貌,分析电极的失效机制及失效原因。结果表明:铜基纳米复合材料(Cu/AlN)点焊电极的主要失效机制是:"蘑菇化"变形、坑蚀、粘结等,未见电极表面合金化生成新相。Cu/AlN点焊电极使用性能优于铸态商用(CuCrZr)点焊电极,主要因为纳米AlN颗粒的弥散强化作用及其优异的导热性能。 展开更多
关键词 点焊电极 失效机制 纳米复合材料(Cu/AlN)
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纳米AlN填充PTFE复合材料的摩擦性能研究
18
作者 史丽萍 路琴 张静 《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期33-36,共4页
以纳米氮化铝(AlN)为填料制备了聚四氟乙烯(PTFE)复合材料,研究了该复合材料在干摩擦条件下与不锈钢对摩时的摩擦磨损行为.结果表明:纳米AlN填充FTFE基复合材料的耐磨性能明显优于纯PTFE。不同用量纳米AlN填充PTFE复合材料的摩擦系数最... 以纳米氮化铝(AlN)为填料制备了聚四氟乙烯(PTFE)复合材料,研究了该复合材料在干摩擦条件下与不锈钢对摩时的摩擦磨损行为.结果表明:纳米AlN填充FTFE基复合材料的耐磨性能明显优于纯PTFE。不同用量纳米AlN填充PTFE复合材料的摩擦系数最多上升16.5%,而耐磨性最多却能提高150倍,当纳米AlN用量为5%,PTFE复合材料的耐磨性最好。SEM观察发现:纯PTFE的磨损表面上分布着大量的带状结构,有明显的犁削和粘着磨损的痕迹。当复合材料中纳米AlN用量较低时,复合材料的磨损机制主要表现为不同程度的黏着磨损,但当复合填料中纳米AlN用量较高时,复合材料的磨损机制主要表现不同程度的黏着磨损和磨粒磨损,同时其复合材料的摩擦磨损性能出现了恶化现象。 展开更多
关键词 聚四氟乙烯 纳米氮化铝 干摩擦磨损性能
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纳米AlN增强C/C复合泡沫材料制备及机理研究
19
作者 赵超 吕惠民 魏萍 《炭素技术》 CAS CSCD 2011年第3期10-13,共4页
融合韧带网络型泡沫炭与微球型泡沫炭的结构特点,并结合同质复合材料与异质复合材料的互补优点,用填充了纳米AlN的酚醛树脂胶作韧带网络将酚醛树脂微球六角密排,再经过炭化、石墨化处理,成功地制备了纳米AlN/C复合泡沫样品。对该样品进... 融合韧带网络型泡沫炭与微球型泡沫炭的结构特点,并结合同质复合材料与异质复合材料的互补优点,用填充了纳米AlN的酚醛树脂胶作韧带网络将酚醛树脂微球六角密排,再经过炭化、石墨化处理,成功地制备了纳米AlN/C复合泡沫样品。对该样品进行扫描电镜和X射线衍射测试,结果表明生成的直径在400~500 nm范围的炭纤维和尺寸在150~200 nm之间的纳米AlN颗粒共同增强韧带网络。同时,对纳米AlN增强C/C复合泡沫材料的机理进行了分析解释。 展开更多
关键词 纳米AIN 复合泡沫 扫描电镜 X射线衍射
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AlN/Si_3N_4纳米多层膜的显微结构及力学性能
20
作者 喻利花 董松涛 +1 位作者 董师润 许俊华 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期119-123,共5页
采用射频磁控溅射方法制备了AlN、Si3N4单层薄膜和调制比为1的不同调制周期的AlN/Si3N4纳米多层膜。薄膜采用X射线衍射仪、X射线反射仪、高分辨率透射电子显微镜、原子力显微镜和纳米压痕仪进行表征。结果表明:AlN是多晶,Si3N4呈非晶,... 采用射频磁控溅射方法制备了AlN、Si3N4单层薄膜和调制比为1的不同调制周期的AlN/Si3N4纳米多层膜。薄膜采用X射线衍射仪、X射线反射仪、高分辨率透射电子显微镜、原子力显微镜和纳米压痕仪进行表征。结果表明:AlN是多晶,Si3N4呈非晶,多层膜的界面非常尖锐;单层膜及多层膜均呈岛状生长,多层膜的表面粗糙度介于两单层膜之间,并且随着调制周期的增加,粗糙度下降;多层膜在所研究的层厚范围内,硬度值比根据混合法则计算得到的值高3.5GPa左右,没有出现超硬效应。 展开更多
关键词 AlN/Si3N4纳米多层膜 显微结构 表面粗糙度 硬度
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