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Nb/Al-AlO_(x)/Nb约瑟夫森结薄膜沉积研究
被引量:
1
1
作者
高鹤
王仕建
+3 位作者
徐达
李劲劲
王雪深
钟青
《计量学报》
CSCD
北大核心
2023年第5期765-770,共6页
Nb/Al-AlO x/Nb约瑟夫森结构成的低温超导器件有着广泛应用,高质量的S-I-S约瑟夫森结制备的关键之一在于制备高质量的三层膜。三层膜的质量可由许多属性参数影响,比如剩余电阻比R.R.R、超导转变温度T c、表面粗糙度、应力、铝膜厚度等...
Nb/Al-AlO x/Nb约瑟夫森结构成的低温超导器件有着广泛应用,高质量的S-I-S约瑟夫森结制备的关键之一在于制备高质量的三层膜。三层膜的质量可由许多属性参数影响,比如剩余电阻比R.R.R、超导转变温度T c、表面粗糙度、应力、铝膜厚度等等。通过对薄膜的溅射沉积条件与上述参数进行分析研究,确定最佳的生长条件。调节不同的氧化工艺条件,可以获得约瑟夫森结的不同临界电流密度。
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关键词
计量学
约瑟夫森结
nb
/al-alo
_(
x
)/
nb
三
层
薄膜
沉积
直流磁控溅射
氧化工艺
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职称材料
题名
Nb/Al-AlO_(x)/Nb约瑟夫森结薄膜沉积研究
被引量:
1
1
作者
高鹤
王仕建
徐达
李劲劲
王雪深
钟青
机构
中国计量科学研究院前沿计量科学研究中心
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2023年第5期765-770,共6页
基金
中国计量科学研究院基本科研业务(AKY1946,AKYZD2012,AKYZZ2124)。
文摘
Nb/Al-AlO x/Nb约瑟夫森结构成的低温超导器件有着广泛应用,高质量的S-I-S约瑟夫森结制备的关键之一在于制备高质量的三层膜。三层膜的质量可由许多属性参数影响,比如剩余电阻比R.R.R、超导转变温度T c、表面粗糙度、应力、铝膜厚度等等。通过对薄膜的溅射沉积条件与上述参数进行分析研究,确定最佳的生长条件。调节不同的氧化工艺条件,可以获得约瑟夫森结的不同临界电流密度。
关键词
计量学
约瑟夫森结
nb
/al-alo
_(
x
)/
nb
三
层
薄膜
沉积
直流磁控溅射
氧化工艺
Keywords
metrology
Josephson junction
nb
/al-alo
x
/
nb
trilayer deposition
DC magnetron sputtering
o
x
idation process
分类号
TB971 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名
作者
出处
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被引量
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1
Nb/Al-AlO_(x)/Nb约瑟夫森结薄膜沉积研究
高鹤
王仕建
徐达
李劲劲
王雪深
钟青
《计量学报》
CSCD
北大核心
2023
1
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职称材料
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