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Pt/Nb∶SrTiO3/In结构异常的双极性电阻变换特性
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作者 王强文 郭育华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第11期863-868,875,共7页
研究了Pt/Nb∶SrTiO3/In结构器件的异常双极性电阻变换特性,并对其物理机理进行了讨论。用直流磁控溅射的方法在不同组分Nb掺杂SrTiO3(NSTO)(001)单晶衬底上制备了Pt和In电极,构建了Pt/NSTO/In异质结。该异质结的I-V特性测试结果表... 研究了Pt/Nb∶SrTiO3/In结构器件的异常双极性电阻变换特性,并对其物理机理进行了讨论。用直流磁控溅射的方法在不同组分Nb掺杂SrTiO3(NSTO)(001)单晶衬底上制备了Pt和In电极,构建了Pt/NSTO/In异质结。该异质结的I-V特性测试结果表明,该异质结具有不同寻常的双极性阻变特性。随着Nb在SrTiO3中掺杂浓度的改变,决定样品在正电压扫描过程中由高电阻状态(HRS)向低电阻状态(LRS)或由LRS向HRS转换的阈值电压也呈现出规律性变化。对其阻变特性的物理机制分析表明,Pt/NSTO界面肖特基势垒和Pt/NSTO、NSTO/In界面处的氧空位引入的缺陷能级对电子的束缚和释放与该器件不同寻常的双极性电阻变换特性密切相关。 展开更多
关键词 nb掺杂srtio3(nsto) 双极性阻变 肖特基势垒 氧空位 缺陷能级
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金属In与掺Nb的SrTiO_3金属半导体接触研究
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作者 王世奇 马玉彬 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期19-22,共4页
研究了金属In与掺不同Nb浓度的SrTiO3(Nb-STO)衬底之间构成的金属半导体结(金-半结)。测量了不同温度下的I-V曲线。在掺杂浓度为0.05wt.%衬底构成的金-半结I-V曲线中,反向电压部分得到的有效因子n在1.05~1.10之间,且随温度变化很小,而... 研究了金属In与掺不同Nb浓度的SrTiO3(Nb-STO)衬底之间构成的金属半导体结(金-半结)。测量了不同温度下的I-V曲线。在掺杂浓度为0.05wt.%衬底构成的金-半结I-V曲线中,反向电压部分得到的有效因子n在1.05~1.10之间,且随温度变化很小,而正向的n很大,表明出势垒随着偏压的变化改变很大。金属In与Nb-STO衬底之间构成的金-半结在浓度为0.05wt.%和0.7wt.%的掺杂情况下,结点都表现出非线性的I-V关系,均不能视为欧姆接触。 展开更多
关键词 nb掺杂srtio3 金属-半导体接触
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