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Cutting of nonmetallic materials using Nd:YAG laser beam 被引量:1
1
作者 Bashir Ahmed Tahir Rashid Ahmed +2 位作者 M. G. B. Ashiq Afaq Ahmed M. A. Saeed 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第4期286-289,共4页
This study deals with Nd:YAG laser cutting nonmetallic materials, which is one of the most important and popular industrial applications of laser. The main theme is to evaluate the effects of Nd:YAG laser beam power... This study deals with Nd:YAG laser cutting nonmetallic materials, which is one of the most important and popular industrial applications of laser. The main theme is to evaluate the effects of Nd:YAG laser beam power besides work piece scanning speed. For approximate cutting depth, a theoretical study is conducted in terms of material property and cutting speed. Results show a nonlinear relation between the cutting depth and input energy. There is no significant effect of speed on cutting depth with the speed being larger than 30 mm/s. An extra energy is utilized in the deep cutting. It is inferred that as the laser power increases, cutting depth increases. The experimental outcomes are in good agreement with theoretical results. This analysis will provide a guideline for laser-based industry to select a suitable laser for cutting, scribing, trimming, engraving, and marking nonmetallic materials. 展开更多
关键词 laser power cutting speed depth of cut nonmetallic material nd:yag laser
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500.8nm Nd∶YAG青光激光器光学薄膜的设计与制备 被引量:5
2
作者 卜轶坤 郑权 +2 位作者 薛庆华 亓言 钱龙生 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期79-83,共5页
从双波长激光运转及和频的机理出发,对LD泵浦Nd∶YAG,LBO腔内和频500.8nm青光激光器所使用的光学薄膜进行了设计和制备·在激光反射镜的设计上,为了达到最佳的和频输出,对膜系要求进行了深入分析.采用对谐振腔一端面反射率固定不变... 从双波长激光运转及和频的机理出发,对LD泵浦Nd∶YAG,LBO腔内和频500.8nm青光激光器所使用的光学薄膜进行了设计和制备·在激光反射镜的设计上,为了达到最佳的和频输出,对膜系要求进行了深入分析.采用对谐振腔一端面反射率固定不变并通过对另一腔镜基频光的透射率进行调谐的方法,在给出合理初始结构后,利用计算机对膜厚进行了优化.并采用双离子束溅射沉积的方法,通过时间监控膜厚法成功制备出青光激光器所使用的全介质激光反射膜,在室温下实现946nm和1064nm双波长连续运转,并通过Ⅰ类临界相位匹配LBO晶体腔内和频在国内首次实现500.8nm青色激光连续输出.当泵浦注入功率为1.4W时和频青光最大输出达20mW. 展开更多
关键词 光学薄膜 nd:yag激光器 LD泵浦 腔内和频
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大光斑低能量Q开关Nd:YAG激光联合中药面膜治疗黄褐斑疗效观察 被引量:11
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作者 林辉 文清 +1 位作者 张晶晶 杨敬娟 《中国皮肤性病学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2016年第9期958-960,共3页
目的探讨大光斑低能量Q开关Nd:YAG激光联合中药面膜治疗黄褐斑的疗效及安全性。方法 90例患者随机分为3组。治疗组予Q开关Nd:YAG激光联合中药面膜;对照1组单纯予Q开关Nd:YAG激光治疗;对照2组单纯予中药面膜。Q开关Nd:YAG激光治疗波长1 0... 目的探讨大光斑低能量Q开关Nd:YAG激光联合中药面膜治疗黄褐斑的疗效及安全性。方法 90例患者随机分为3组。治疗组予Q开关Nd:YAG激光联合中药面膜;对照1组单纯予Q开关Nd:YAG激光治疗;对照2组单纯予中药面膜。Q开关Nd:YAG激光治疗波长1 064nm,光斑6mm,能量1.5~3.0J/cm^2,每周1次。外敷中药面膜每周2次。12周进行疗效评价。结果治疗组有效率83.33%,对照1组63.33%,对照2组50.00%,治疗组与对照1组,对照2组之间的差异具有统计学意义(P<0.05),对照1组与对照2组之间的差异无统计学意义(P>0.05)。结论大光斑低能量Q开关Nd:YAG激光联合中药面膜治疗黄褐斑安全、有效。 展开更多
关键词 黄褐斑 Q开关nd:yag激光 中药面膜
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纳米Si/SiN_x薄膜的制备及对Nd∶YAG激光器的被动调Q 被引量:3
4
作者 吕蓬 郭亨群 +2 位作者 王加贤 李立卫 申继伟 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期163-165,170,共4页
为了研究纳米硅镶嵌氮化硅薄膜材料的被动调Q特性,采用射频磁控反应溅射法结合热退火处理在单晶硅衬底上制备该薄膜,用该样品作为可饱和吸收体,在凹-平腔中实现了氙灯抽运Nd∶YAG激光器的被动调Q运转,在抽运重复频率1Hz情况下获得脉宽... 为了研究纳米硅镶嵌氮化硅薄膜材料的被动调Q特性,采用射频磁控反应溅射法结合热退火处理在单晶硅衬底上制备该薄膜,用该样品作为可饱和吸收体,在凹-平腔中实现了氙灯抽运Nd∶YAG激光器的被动调Q运转,在抽运重复频率1Hz情况下获得脉宽最小可达19ns的调Q单脉冲输出。并且研究了该薄膜结构特性、激光器参数,如抽运电压、腔长对调Q脉冲输出性能产生的影响。在此基础上,对实验现象产生的原因做了分析讨论。结果表明,纳米硅镶嵌氮化硅薄膜有一定的调Q效果,具有潜在的研究及应用价值。 展开更多
关键词 激光技术 射频磁控反应溅射 纳米硅镶嵌氮化硅薄膜 nd:yag激光器 被动调Q
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脉冲Nd:YAG激光在精密加工中的应用 被引量:10
5
作者 杨逸民 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1997年第6期333-336,共4页
介绍了脉冲Nd:YAG激光用于精密打孔、切割的性能要求,以及用于精密焊接的四光束及三光束光纤耦合激光焊接机,并举了一些加工应用实例。
关键词 激光精密打孔 切割 焊接 激光加工 激光技术
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应用Nd-YAG脉冲激光AISI329不锈钢表面制备纳米薄膜
6
作者 董文 王海东 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2009年第6期48-51,共4页
应用Nd-YAG脉冲激光表面处理AISI329不锈钢,在其表面形成80~600nm纳米结构薄膜,并对其形成机制进行研究。结果表明,不同的激光能量密度在AISI329不锈钢表面作用可获得纳米或亚微米薄膜,通过对激光作用热环境的数值模拟估算出表面温度... 应用Nd-YAG脉冲激光表面处理AISI329不锈钢,在其表面形成80~600nm纳米结构薄膜,并对其形成机制进行研究。结果表明,不同的激光能量密度在AISI329不锈钢表面作用可获得纳米或亚微米薄膜,通过对激光作用热环境的数值模拟估算出表面温度变化和冷却速率,并研究不锈钢表面纳米和亚微米薄膜的形成过程。X射线分析表明,不同激光能量密度作用后所得薄膜相组成基本与原始不锈钢相组成相同。 展开更多
关键词 纳米结构薄膜 nd-yag脉冲激光 不锈钢 数值模拟
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Nd:YAG晶体高精度切割加工试验研究 被引量:2
7
作者 冯嫄嫄 赵惠英 +3 位作者 徐世栋 班新星 刘文涛 李彬 《制造技术与机床》 北大核心 2017年第6期152-156,共5页
利用环形电镀金刚石线切割机对Nd:YAG晶体进行了切割实验研究,分析了水平和旋转切割模式对晶体切割质量的影响,得出旋转切割更适合Nd:YAG的圆晶片加工,不仅可以提高晶体的加工表面质量,还大幅度减小了切割时间。采用正交法对旋转切割进... 利用环形电镀金刚石线切割机对Nd:YAG晶体进行了切割实验研究,分析了水平和旋转切割模式对晶体切割质量的影响,得出旋转切割更适合Nd:YAG的圆晶片加工,不仅可以提高晶体的加工表面质量,还大幅度减小了切割时间。采用正交法对旋转切割进行试验设计,研究不同切割参数对Nd:YAG晶体切割质量的影响规律。通过对试验结果进行分析,得出环形金刚石线切割Nd:YAG晶体的最优工艺参数,切割后的晶片经过工艺处理后可直接进行后续的抛光加工。 展开更多
关键词 金刚石线切割机 yag晶体 旋转切割 表面质量
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用于二极管泵浦的Nd∶YAG激光器上的光学薄膜 被引量:1
8
作者 雷亚贵 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期478-485,共8页
本文主要阐述对二极管泵浦的Nd∶YAG激光器中所用到的两种光学薄膜的设计 :一端对 80 8nmHT(高透 ) ,10 6 4nmHR(高反 ) ;另一端对 80 8nmHR ,10 6 4nmAR(增透 )。所设计的膜采用光控法镀制 ,结果满足客户使用要求。
关键词 二极管泵浦 nd:yag激光器 光学薄膜 光控法
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Laser Direct Writing of Ag Films from Solution on Si Substrate
9
作者 KeSUN CaibeiZHANG YanZHAO 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第6期634-636,共3页
Pulsed Nd:YAG laser was used to irradiate Si substrate immersed in AgNO3 ethylene glycol solution to deposit Ag films along the lines scanned by laser on the substrate, which is a photo-thermal decomposing process. Th... Pulsed Nd:YAG laser was used to irradiate Si substrate immersed in AgNO3 ethylene glycol solution to deposit Ag films along the lines scanned by laser on the substrate, which is a photo-thermal decomposing process. The decomposed Ag atoms congregate and form polycrystalline Ag particles. The Ag concentration changes greatly with the total laser energyA absorbed by substrate. Transmission electron microscopy (TEM) observation shows the Ag particles are inlaid in the Si substrate. Auger electron spectrum (AES) shows that the Ag concentration decreases with the increase of the sputtering depth, and there is no oxygen element on the surface of the deposited Ag films. 展开更多
关键词 Pulsed nd:yag laser laser direct writing Ag deposited film Si substrate
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基于Nd∶YVO_4晶体四波段腔面膜的研制 被引量:3
10
作者 付秀华 韩放 +2 位作者 张静 寇洋 潘永刚 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期66-70,共5页
黄光激光器作为一种接近人眼敏感区域的激光器在诸多领域都发挥着重要的作用,而谐振腔又是激光器中重要组成部分.本文以Nd∶YVO4(c-cut)晶体为基底,利用真空镀膜设备研制出四波段腔面膜.通过分析膜系设计过程中膜层电场强度和优化膜系,... 黄光激光器作为一种接近人眼敏感区域的激光器在诸多领域都发挥着重要的作用,而谐振腔又是激光器中重要组成部分.本文以Nd∶YVO4(c-cut)晶体为基底,利用真空镀膜设备研制出四波段腔面膜.通过分析膜系设计过程中膜层电场强度和优化膜系,使膜层中驻波场强得到合理分布,从而在理论上减小膜层损伤的可能性;通过TFCalc软件对测试结果进行工艺反馈分析,经过多次模拟实验,发现在不同控制波长下,采用相同监控方法监测不同的膜厚比例系数,通过调整工具因子解决了光谱曲线漂移的问题,制备出膜层牢固、化学性能稳定、满足四个波段光谱输出的黄光激光器腔面膜. 展开更多
关键词 薄膜光学 腔面膜 膜系设计 黄光激光器 掺钕钒酸钇晶体
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Selected area laser-crystallized polycrystalline silicon thin films by a pulsed Nd:YAG laser with 355 nm wavelength 被引量:2
11
作者 段春艳 刘超 +3 位作者 艾斌 赖键钧 邓幼俊 沈辉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期48-52,共5页
Selected area laser-crystallized polycrystalline silicon (p-Si) thin films were prepared by the third harmonics (355 nm wavelength) generated by a solid-state pulsed Nd:YAG laser. Surface morphologies of 400 nm t... Selected area laser-crystallized polycrystalline silicon (p-Si) thin films were prepared by the third harmonics (355 nm wavelength) generated by a solid-state pulsed Nd:YAG laser. Surface morphologies of 400 nm thick films after laser irradiation were analyzed. Raman spectra show that film crystallinity is improved with in- crease of laser energy. The optimum laser energy density is sensitive to the film thickness. The laser energy density for efficiently crystallizing amorphous silicon films is between 440-634 mJ/cm^2 for 300 nm thick films and between 777-993 mJ/cm^2 for 400 nm thick films. The optimized laser energy density is 634, 975 and 1571 mJ/cm^2 for 300, 400 and 500 nm thick films, respectively. 展开更多
关键词 polycrystalline silicon thin films nd:yag laser laser crystallization
原文传递
激光修整金刚石砂轮的研究 被引量:10
12
作者 康仁科 史兴宽 +1 位作者 任敬心 彭炎午 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期624-628,共5页
利用Nd: YAG脉冲固体激光器进行了激光修整青铜和树脂结合剂金刚石砂轮的试验,借助于扫描电镜分析了激光作用后金刚石砂轮表面的微观形貌,探讨了激光修整金刚石砂轮的机理。通过与普通碳化硅砂轮磨削修整法的对比分析和试验,... 利用Nd: YAG脉冲固体激光器进行了激光修整青铜和树脂结合剂金刚石砂轮的试验,借助于扫描电镜分析了激光作用后金刚石砂轮表面的微观形貌,探讨了激光修整金刚石砂轮的机理。通过与普通碳化硅砂轮磨削修整法的对比分析和试验,研究了激光修整金刚石砂轮的修整效果。研究结果表明,激光修整的金刚石砂轮表面具有较大的磨粒突出高度和容屑空间和良好的磨削性能。激光修整技术是一种很有前途的新技术。 展开更多
关键词 金刚石砂轮 修整 磨削 激光 砂轮
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CVD金刚石膜激光切割工艺研究 被引量:3
13
作者 王亚 汪建华 +1 位作者 王传新 王俊峰 《工具技术》 北大核心 2005年第9期38-40,共3页
研究了焦点位置、输出功率和不同气体切割环境对金刚石膜切割的影响,给出了采用NdYAG激光器切割金刚石膜的具体方法。
关键词 nd:yag激光器 金刚石膜 切割 CVD金刚石膜 激光切割 工艺研究 nd:yag激光器 焦点位置 输出功率
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激光切割CVD金刚石膜的工艺研究 被引量:5
14
作者 严垒 吴飞飞 +2 位作者 邓煜恒 湛玉龙 马志斌 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2012年第5期6-9,14,共5页
利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机对表面经机械抛光的CVD金刚石膜进行切割,研究了激光焦点位置、重复频率、充电电压以及切割速率对切割面质量的影响,并利用扫描电子显微镜(SEM)、TR200型粗糙度仪和XJP-3C型金相显微镜对切割结果进行... 利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机对表面经机械抛光的CVD金刚石膜进行切割,研究了激光焦点位置、重复频率、充电电压以及切割速率对切割面质量的影响,并利用扫描电子显微镜(SEM)、TR200型粗糙度仪和XJP-3C型金相显微镜对切割结果进行了表征。研究表明:将激光焦点置于金刚石膜表面进行切割时,切割面锥度最小;切割面的粗糙度随着激光切割速率、重复频率的增加而减小;充电电压越高,切缝越宽;激光重复频率在80~100 Hz范围内,其变化对切缝宽度影响较小;切割2.7 mm厚的金刚石厚膜时,选取充电电压850 V,重复频率90 Hz,切割速率10 mm/min,能够达到高效率高质量的理想切割效果。 展开更多
关键词 激光 切割 CVD金刚石膜
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激光精密切割技术研究 被引量:8
15
作者 张银江 方鸣岗 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期192-193,共2页
介绍了固体Nd∶YAG激光的精密切割技术,采用了脉冲和声光调Q准连续Nd∶YAG两种激光形式进行了一些精密切割的实验,并介绍了一些应用示例。
关键词 固体nd:yag激光器 激光切割 应用
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激光烧蚀金刚石磨粒及其变质层与微裂纹分析 被引量:2
16
作者 陈根余 于俊勇 +1 位作者 李力钧 马宏路 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第S2期317-320,共4页
采用声光调Q Nd:YAG脉冲激光烧蚀金刚石磨粒,研究激光参数对磨粒变质层及微裂纹的影响。首先建立传热学数学模型,进行模拟计算,然后通过烧蚀试验和实际检测进行验证,分析其原因,总结出脉冲激光的重复频率是影响变质层和表面微裂纹的主... 采用声光调Q Nd:YAG脉冲激光烧蚀金刚石磨粒,研究激光参数对磨粒变质层及微裂纹的影响。首先建立传热学数学模型,进行模拟计算,然后通过烧蚀试验和实际检测进行验证,分析其原因,总结出脉冲激光的重复频率是影响变质层和表面微裂纹的主要因素。 展开更多
关键词 金刚石磨粒 nd:yag脉冲激光 烧蚀 变质层
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激光切割CVD金刚石厚膜的工艺研究 被引量:2
17
作者 熊军 汪建华 +2 位作者 王传新 严朝辉 王亚 《工具技术》 北大核心 2007年第4期21-23,共3页
本文利用Nd:YAG激光器对0.4mm厚的CVD金刚石膜进行切割,用扫描电子显微镜(SEM)研究了激光脉冲能量、脉冲宽度和脉冲频率等工艺参数对金刚石厚膜切割的影响。研究结果表明,在脉冲电流高于200A和减小脉冲电流至150A、脉冲宽度为2ms时能一... 本文利用Nd:YAG激光器对0.4mm厚的CVD金刚石膜进行切割,用扫描电子显微镜(SEM)研究了激光脉冲能量、脉冲宽度和脉冲频率等工艺参数对金刚石厚膜切割的影响。研究结果表明,在脉冲电流高于200A和减小脉冲电流至150A、脉冲宽度为2ms时能一次性切透金刚石厚膜但切割断面存在许多微裂纹和缺陷。增大脉冲频率有利于提高切割断面的平整度;采用二次切割比一次切割可得到更为平整的切割断面,断面粗糙度Ra可达到1μm。 展开更多
关键词 激光 切割 CVD金刚石厚膜
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激光微切割钴铬管的实验研究 被引量:3
18
作者 蒋茂华 翟立斌 陈继民 《微细加工技术》 EI 2008年第4期27-31,共5页
金属细管的微细切割,目前使用最多的是YAG激光器。但随着光纤激光器的发展,光纤激光器也逐渐使用到金属细管的微细切割上。首先使用光纤激光器对钴铬合金细管进行切割,通过改变气体、气压、脉宽以及切割速度观察影响切割质量的因素。得... 金属细管的微细切割,目前使用最多的是YAG激光器。但随着光纤激光器的发展,光纤激光器也逐渐使用到金属细管的微细切割上。首先使用光纤激光器对钴铬合金细管进行切割,通过改变气体、气压、脉宽以及切割速度观察影响切割质量的因素。得出应用氩气和氮气作为辅助气体时,效果要好于压缩空气;存在一个最佳的气压;随着脉冲宽度的降低,切割质量随之变好;切割速度与切口宽度保持一种非线性反比关系;然后应用三倍频Nd∶YAG激光器切割钴铬合金细管,比较两种激光器的切割质量和切割效果,分析两者的优劣,得出在进行微细切割时,三倍频Nd∶YAG激光器比光纤激光器有更大的优势。在今后的研究中应充分发挥三倍频Nd∶YAG激光器的优势,同时要发掘光纤激光器的特点。 展开更多
关键词 nd:yag激光器 光纤激光器 微细切割 钴铬合金
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准分子激光直接切割金刚石薄膜的技术研究
19
作者 赵方海 任临福 +3 位作者 王庆亚 马力 郑伟 张玉书 《微细加工技术》 1994年第2期66-68,共3页
本文介绍了准分子激光切割金刚石薄膜的实验结果,给出了切割金刚石薄膜的光能量密度阀值,并对其结果进行了分析和讨论。
关键词 准分子激光 切割 金刚石薄膜
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用激光等离子体气相沉积法制备类金刚石薄膜及光学性质研究
20
作者 马玉蓉 张胜 《量子电子学》 CSCD 1993年第3期264-267,共4页
用高功率Nd^(3+):YAG脉冲激光轰击石墨靶,成功地制备出无氢的类金刚石碳膜(DLC)。用吸收光谱分析法研究了不同制备条件下样品的光学带隙。发现在衬底温度不变时,样品的光学带隙随生长室内靶衬之间的加速电压而变化,公700~1000 V的加速... 用高功率Nd^(3+):YAG脉冲激光轰击石墨靶,成功地制备出无氢的类金刚石碳膜(DLC)。用吸收光谱分析法研究了不同制备条件下样品的光学带隙。发现在衬底温度不变时,样品的光学带隙随生长室内靶衬之间的加速电压而变化,公700~1000 V的加速电压下制备的薄膜具有较大的光学带隙。 展开更多
关键词 等离子体 气相沉积法 类金刚石薄膜
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