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过渡层ZrO_2对不同沉积厚度TiO_2薄膜结构的影响
1
作者
杜玉军
杨陈
惠迎雪
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期146-147,共2页
TiO2作为高介电常数材料已被广泛研究。为了防止TiO2与Si基底发生反应,在Si与TiO2之间加入与TiO2结构相似热稳定性好的ZrO2作为过渡层。改变TiO2薄膜厚度,并在900℃对薄膜进行1h退火处理。通过XRD分析显示,随着TiO2厚度减小,各衍射峰强...
TiO2作为高介电常数材料已被广泛研究。为了防止TiO2与Si基底发生反应,在Si与TiO2之间加入与TiO2结构相似热稳定性好的ZrO2作为过渡层。改变TiO2薄膜厚度,并在900℃对薄膜进行1h退火处理。通过XRD分析显示,随着TiO2厚度减小,各衍射峰强度逐渐降低,但各峰位及其相对强度无明显变化。通过SEM可以发现,热处理前各薄膜均无裂纹和孔洞。热处理后,TiO2厚度为150nm及80nm的薄膜平整光滑无裂纹孔洞,晶粒排列致密晶界清晰,当TiO2厚度降为30nm时,薄膜仍平整光滑,只在晶界上出现因热处理而产生的缩孔。
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关键词
TIO
2
薄膜
zro
2
过渡
层
电子束蒸发
薄膜厚度
薄膜结构
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职称材料
等离子喷涂NiCrAl/ZrO_2过渡层对FeCrAl/γ-Al_2O_3结合性能的影响
被引量:
7
2
作者
吴晓东
翁端
+2 位作者
陈震
徐鲁华
李恒德
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第10期1293-1296,共4页
为改善催化剂中 γ-Al2 O3 分散层与 Fe Cr Al基体的结合力 ,采用等离子喷涂技术在合金表面制备了 Ni Cr Al/Zr O2 混合涂层作为过渡层。利用 X射线衍射仪、扫描电镜和电子探针仪 ,研究了 10 73 K氧化后过渡层的变化 ,并考察了超声振动...
为改善催化剂中 γ-Al2 O3 分散层与 Fe Cr Al基体的结合力 ,采用等离子喷涂技术在合金表面制备了 Ni Cr Al/Zr O2 混合涂层作为过渡层。利用 X射线衍射仪、扫描电镜和电子探针仪 ,研究了 10 73 K氧化后过渡层的变化 ,并考察了超声振动和热冲击后涂层的剥落情况。结果表明 ,过渡层表面相主要是 Ni和 Zr O2 ;内部组织包括喷涂材料层、氧化物夹杂、孔洞及未熔融颗粒 ;与基体为冶金结合。随着高温氧化时间增加 ,过渡层表面 Ni O晶粒增多并长大 ;内部发生了合金元素互扩散 ;界面处 Ni,Al含量明显增加。这种表面预处理形成了粗糙多孔的过渡层 ,提高了氧化铝分散层与金属基体的粘结力 。
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关键词
nicral/zro2过渡层
FeCrAl/γ-Al
2
O3
等离子喷涂
金属载体催化剂
微观结构
结合性能
铁铬铝基体
氧化
原文传递
氢化锆表面氢渗透阻挡层形貌和组织分析
3
作者
赵平
彭倩
+1 位作者
孔祥巩
邹从沛
《西华大学学报(自然科学版)》
CAS
2007年第3期1-3,共3页
用氧化预处理和电镀法在氢化锆表面生成Cr-C镀层,经过400℃、10h预加热得到氢渗透阻挡层并对试样进行加热至700℃、保温10h的氢渗透试验。用XRD对氢渗透阻挡层的组成物进行了分析,用SEM对氢渗透试验后的阻挡层表面和截面进行观察和微区...
用氧化预处理和电镀法在氢化锆表面生成Cr-C镀层,经过400℃、10h预加热得到氢渗透阻挡层并对试样进行加热至700℃、保温10h的氢渗透试验。用XRD对氢渗透阻挡层的组成物进行了分析,用SEM对氢渗透试验后的阻挡层表面和截面进行观察和微区成分分析。分析结果表明,该阻挡层中存在Cr2O3、金属Cr、O和C,阻挡层与基体之间存在一个由baddeleyite结构的ZrO2组成的致密的过渡层;阻挡层基本致密。
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关键词
氢化锆表面
baddeleyite结构的
zro
2
过渡
层
氢渗透阻挡
层
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职称材料
题名
过渡层ZrO_2对不同沉积厚度TiO_2薄膜结构的影响
1
作者
杜玉军
杨陈
惠迎雪
机构
西安工业大学光电学院
西北工业大学材料学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期146-147,共2页
基金
陕西省教育厅项目(05JK220)
陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室项目(ZSKJ200408)
文摘
TiO2作为高介电常数材料已被广泛研究。为了防止TiO2与Si基底发生反应,在Si与TiO2之间加入与TiO2结构相似热稳定性好的ZrO2作为过渡层。改变TiO2薄膜厚度,并在900℃对薄膜进行1h退火处理。通过XRD分析显示,随着TiO2厚度减小,各衍射峰强度逐渐降低,但各峰位及其相对强度无明显变化。通过SEM可以发现,热处理前各薄膜均无裂纹和孔洞。热处理后,TiO2厚度为150nm及80nm的薄膜平整光滑无裂纹孔洞,晶粒排列致密晶界清晰,当TiO2厚度降为30nm时,薄膜仍平整光滑,只在晶界上出现因热处理而产生的缩孔。
关键词
TIO
2
薄膜
zro
2
过渡
层
电子束蒸发
薄膜厚度
薄膜结构
Keywords
TiO
2
film,
zro
2
buffer layer,reactive electron beam evaporation,film thickness, film structure,
分类号
O643.36 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
等离子喷涂NiCrAl/ZrO_2过渡层对FeCrAl/γ-Al_2O_3结合性能的影响
被引量:
7
2
作者
吴晓东
翁端
陈震
徐鲁华
李恒德
机构
清华大学材料科学与工程系
出处
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第10期1293-1296,共4页
基金
国家"九五"科技攻关项目 ( 96 - 910 - 0 3- 0 4 A)
文摘
为改善催化剂中 γ-Al2 O3 分散层与 Fe Cr Al基体的结合力 ,采用等离子喷涂技术在合金表面制备了 Ni Cr Al/Zr O2 混合涂层作为过渡层。利用 X射线衍射仪、扫描电镜和电子探针仪 ,研究了 10 73 K氧化后过渡层的变化 ,并考察了超声振动和热冲击后涂层的剥落情况。结果表明 ,过渡层表面相主要是 Ni和 Zr O2 ;内部组织包括喷涂材料层、氧化物夹杂、孔洞及未熔融颗粒 ;与基体为冶金结合。随着高温氧化时间增加 ,过渡层表面 Ni O晶粒增多并长大 ;内部发生了合金元素互扩散 ;界面处 Ni,Al含量明显增加。这种表面预处理形成了粗糙多孔的过渡层 ,提高了氧化铝分散层与金属基体的粘结力 。
关键词
nicral/zro2过渡层
FeCrAl/γ-Al
2
O3
等离子喷涂
金属载体催化剂
微观结构
结合性能
铁铬铝基体
氧化
Keywords
plasma spraying
metal supported catalyst
intermediate coating
microstructure
combination ability
分类号
TQ426.6 [化学工程]
原文传递
题名
氢化锆表面氢渗透阻挡层形貌和组织分析
3
作者
赵平
彭倩
孔祥巩
邹从沛
机构
西华大学材料科学与工程学院
中国核动力研究设计院核燃料及材料国家重点实验室
出处
《西华大学学报(自然科学版)》
CAS
2007年第3期1-3,共3页
基金
武器装备预研基金资助项目(No.51481260105SC0301)
文摘
用氧化预处理和电镀法在氢化锆表面生成Cr-C镀层,经过400℃、10h预加热得到氢渗透阻挡层并对试样进行加热至700℃、保温10h的氢渗透试验。用XRD对氢渗透阻挡层的组成物进行了分析,用SEM对氢渗透试验后的阻挡层表面和截面进行观察和微区成分分析。分析结果表明,该阻挡层中存在Cr2O3、金属Cr、O和C,阻挡层与基体之间存在一个由baddeleyite结构的ZrO2组成的致密的过渡层;阻挡层基本致密。
关键词
氢化锆表面
baddeleyite结构的
zro
2
过渡
层
氢渗透阻挡
层
Keywords
zirconium hydride surface
interface of baddeleyite
zro
2
hydrogen permeation barrier
分类号
TG111.2 [金属学及工艺—物理冶金]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
过渡层ZrO_2对不同沉积厚度TiO_2薄膜结构的影响
杜玉军
杨陈
惠迎雪
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
下载PDF
职称材料
2
等离子喷涂NiCrAl/ZrO_2过渡层对FeCrAl/γ-Al_2O_3结合性能的影响
吴晓东
翁端
陈震
徐鲁华
李恒德
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
7
原文传递
3
氢化锆表面氢渗透阻挡层形貌和组织分析
赵平
彭倩
孔祥巩
邹从沛
《西华大学学报(自然科学版)》
CAS
2007
0
下载PDF
职称材料
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