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制备NiO电致变色薄膜的低电压反应离子镀工艺研究 被引量:3
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作者 李筱琳 任豪 罗宇强 《真空》 CAS 北大核心 2004年第2期21-24,共4页
采用低电压反应离子镀工艺制备 Ni O电致变色薄膜 ,重点研究不同的氧气分压对 Ni O薄膜的电致变色特性的影响 ,通过与普通电子束蒸发工艺制备的 Ni O薄膜进行物理性能和电致变色性能的比较 ,以及在塑料基板上制备 Ni O电致变色薄 JP2〗... 采用低电压反应离子镀工艺制备 Ni O电致变色薄膜 ,重点研究不同的氧气分压对 Ni O薄膜的电致变色特性的影响 ,通过与普通电子束蒸发工艺制备的 Ni O薄膜进行物理性能和电致变色性能的比较 ,以及在塑料基板上制备 Ni O电致变色薄 JP2〗膜的讨论 ,总结出低电压反应离子镀技术制备 Ni 展开更多
关键词 nio电致变色薄膜 压反应离子镀 子束蒸发 物理性能 致变色性能 阳极着色材料
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