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基于新型NiPbAu基底的金丝楔形键合工艺研究 被引量:1
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作者 陈帅 赵文忠 +1 位作者 张飞 赵志平 《电子工艺技术》 2020年第3期156-158,共3页
利用楔形键合设备进行金丝在镀镍钯金Ro5880基板上的键合实验。采用正交实验法分析了镀层厚度、键合功率、键合时间、键合温度等工艺参数对楔形键合的影响。同时,在镀镍金Ro5880板上进行了对比试验。研究发现:与镀镍金基板相比,镀镍钯... 利用楔形键合设备进行金丝在镀镍钯金Ro5880基板上的键合实验。采用正交实验法分析了镀层厚度、键合功率、键合时间、键合温度等工艺参数对楔形键合的影响。同时,在镀镍金Ro5880板上进行了对比试验。研究发现:与镀镍金基板相比,镀镍钯金基板在可焊性、键合强度、成本方面均有着巨大的优势,在电子组装、封装领域有着广阔的应用前景。 展开更多
关键词 金丝键合 楔形键合 微波多芯片组件 nipdau镀层 键合强度 正交试验
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