非接触方法测量薄膜厚度的研究

讨论了非接触测量技术,介绍了各种技术的基本原理及其特点,指出了物体厚度测量技术、数据处理技术以及特征提取技术的有机结合是实现各种测量技术广泛应用的重要基础。