半导体制造AMHS中悬挂式小车多因素调度方法

为提高半导体制造系统的整体性能,提出了一种考虑多因素的悬挂式小车(overhead hoist transporter,OHT)调度方法.从工作站、晶圆批、搬运系统三方面分析了搬运距离、晶圆批优先级、工作站特性、OHT利用率、等待时间5个关键因素.以成本最小作为调度目标,基于这5个因素构造了混合多因素调度模型,同时引用二分图匹配方法构建了调度模型的求解算法.最后进行了仿真实验设计和分析,结果表明该方法是有效、可行的.

AMHS在集成电路产业的发展趋势分析

阐述了AMHS技术在集成电路制造产业的发展历程,并结合AMHS系统的优势和国内外技术现状,通过分析国内集成电路产业的发展趋势,认为开发适用于国内集成电路生产厂家的AMHS系统是未来AMHS系统的一个发展趋势。

天车系统关键技术研究

天车系统作为一种稳定可靠的物料搬运系统,广泛应用于集成电路产业的自动物料搬运系统。介绍了天车系统的关键技术,包括吊运车技术、吊运车轨道技术、供电技术、精密运动控制技术和污染颗粒的防护技术。