OLED封装材料气体渗透率的静态积累式进样质谱法测量

如何测量封装材料的气体渗透率是OLED封装技术研究中的一个重要问题。本文提出了静态积累式进样质谱法来测量OLED封装材料的气体渗透率,设计了静态积累式进样质谱法测量系统,对柔性OLED封装材料PET薄膜的气体渗透率进行了测量,并分析了测量系统的灵敏度,结果表明,静态积累式进样质谱法测量OLED封装材料气体渗透率是可行的,且渗透时间为100天时,静态积累式进样质谱法对水蒸气的测量灵敏度可达4×10^(-5)g/m^2day。如果渗透时间进一步延长,静态积累式进样质谱法的测量灵敏度有望达到理想的1 10^(-6)g/m^2·day量级。对比动态抽除式进样质谱法,静态积累式进样质谱法的灵敏度提高了1-2个数量级,有效提升了质谱法的灵敏度。