期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
光学邻近效应校正的新方法
被引量:
5
1
作者
杜惊雷
黄奇忠
+2 位作者
黄晓阳
郭永康
崔铮
《应用激光》
CSCD
北大核心
1997年第6期244-246,243,共4页
基于波前加工的观点,从调整像面光强分布出发,提出一种在掩模上添加亚分辨的亮暗衬线校正光学邻近效应的新方法,并详细讨论了添加这种亮暗衬线的规则及所获得的结果。
关键词
光学邻近效应
校正
OPE
光刻技术
原文传递
题名
光学邻近效应校正的新方法
被引量:
5
1
作者
杜惊雷
黄奇忠
黄晓阳
郭永康
崔铮
机构
四川大学物理系
英国卢瑟福实验室
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
1997年第6期244-246,243,共4页
基金
国家自然科学基金
中国科学院光电所微细加工光学技术国家重点实验室的资助
文摘
基于波前加工的观点,从调整像面光强分布出发,提出一种在掩模上添加亚分辨的亮暗衬线校正光学邻近效应的新方法,并详细讨论了添加这种亮暗衬线的规则及所获得的结果。
关键词
光学邻近效应
校正
OPE
光刻技术
Keywords
opc
,
optical field distribution
,
bright serif
,
dark serif
分类号
O438 [机械工程—光学工程]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光学邻近效应校正的新方法
杜惊雷
黄奇忠
黄晓阳
郭永康
崔铮
《应用激光》
CSCD
北大核心
1997
5
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部