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RESEARCH OF MICRO ELECTRO DISCHARGE MACHINING EQUIPMENT AND PROCESS TECHNIQUES
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作者 Li Yong Guo Min Li Fang Zhou Zhaoying Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第2期177-181,共5页
Micro electro discharge machining (micro EDM) is a feasible way tomanufacture micro structures and has potential application in advanced industrial fields. For therealization of micro EDM, it is necessary to pay caref... Micro electro discharge machining (micro EDM) is a feasible way tomanufacture micro structures and has potential application in advanced industrial fields. For therealization of micro EDM, it is necessary to pay careful attention to its equipment design and thedevelopment of process techniques. The present status of research and development of micro EDMequipment and process techniques is overviewed. A micro electro discharge machine incorporated withan inchworm type of micro feed mechanism is introduced, and a micro electro discharge machine fordrilling micro holes suitable to industrial use is also introduced. Some of the machiningexperiments carried out on the micro EDM prototypes are shown and the feasibility of the micro EDMtechnology to practical use is discussed. 展开更多
关键词 micro electro discharge machining Inchworm mechanism Friction drivemechanism micro electrode micro hole micro structure
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Effect of direct current and pulse plating on the EDM performance of copper-zirconium diboride composites
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作者 Dongming Guo Min Zhang Zhuji Jin Renke Kang 《Journal of University of Science and Technology Beijing》 CSCD 2007年第5期464-468,共5页
Direct current and pulse plating of copper-zirconium diboride (ZrB2) composites were studied and the effects of current density (DC) and pulse duty cycle (PC) on the EDM performance of the composites were invest... Direct current and pulse plating of copper-zirconium diboride (ZrB2) composites were studied and the effects of current density (DC) and pulse duty cycle (PC) on the EDM performance of the composites were investigated. With increasing current density, the effect of grain refinement on the electro-discharge machining (EDM) performance of the composites compensates that of the decrease of ZrB2 content in the composites, which improves the spark-resistance of the material. Under the same average current density and other experiment conditions, a lower duty cycle yields better EDM performance probably because more ZrB2 particles are incorporated in the composites in this condition. However, at a still lower duty cycle (10%), the particle agglomeration and the microcracks of the copper matrix occur, which considerably deteriorate the spark-resistance of the composites. 展开更多
关键词 COMPOSITES pulse plating electro-discharge machining (EDM) electrode
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同步超声振动调制微细放电-电解加工技术 被引量:18
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作者 朱永伟 邵健 +1 位作者 苏楠 云乃彰 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期185-192,共8页
对超声频振动与微细电加工电源的'开、断'方式进行分析、探讨,研制脉冲电源斩波器,用激光传感器实时测量超声振动,可得斩波脉冲,能对电源进行有序'开、断'控制,实现超声振动与电源'开、断'实时同步;完善同步超... 对超声频振动与微细电加工电源的'开、断'方式进行分析、探讨,研制脉冲电源斩波器,用激光传感器实时测量超声振动,可得斩波脉冲,能对电源进行有序'开、断'控制,实现超声振动与电源'开、断'实时同步;完善同步超声复合微细电加工系统;采用幅值6 V以下脉冲电压、低电导率电解液,进行同步超声振动微细电加工机理及试验研究,通过对超声、超声脉冲电解及同步超声脉冲电解加工结果的对比分析,验证同步超声电解加工方式技术优势;采用复合乙醇工作液、微细半导体混粉,可实现超声调制放电-电解复合微细加工,在保证加工精度、表面质量同时,提高加工过程稳定性与加工效率。 展开更多
关键词 超声振动 同频同步 斩波器 电解-放电 微细加工
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超大深径比深小孔的工艺方法和电极研制 被引量:6
4
作者 朱派龙 威长政 +3 位作者 温志远 唐电波 周锦进 徐中耀 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期198-202,共5页
深径比超过1000的深小孔加工是世界难题,尤其是直径小于3mm的深小孔。在分析普通电火花深孔加工和专业电火花深小孔加工机床对超大深径比小孔加工仍存在排残屑、散热、稳定性差和导向困难等基础上,为克服上述问题而发明了一种其导向、... 深径比超过1000的深小孔加工是世界难题,尤其是直径小于3mm的深小孔。在分析普通电火花深孔加工和专业电火花深小孔加工机床对超大深径比小孔加工仍存在排残屑、散热、稳定性差和导向困难等基础上,为克服上述问题而发明了一种其导向、稳定性与加工深度无关的自导向、自稳定的特殊电极,并给出了可靠的工艺实施方案方法,独特的工件倒置安装方式,表述了加工规律和试验结果。 展开更多
关键词 超级深小孔 电火花加工 自导向管电极 倒置安装
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基于TRIZ理论的微纳空心镍球的制备方法 被引量:4
5
作者 刘一凡 李翔龙 +1 位作者 刘南 宋宏伟 《机械设计》 CSCD 北大核心 2013年第5期64-66,共3页
微纳空心镍球作为一种新型功能材料有着广阔的应用背景,目前的制备方法工艺复杂。针对火花放电制备微纳空心镍球的工艺研究过程中存在的问题,运用TRIZ理论的冲突解决理论和物场分析方法对电火花制备微纳空心镍球的技术提出一种改进方法... 微纳空心镍球作为一种新型功能材料有着广阔的应用背景,目前的制备方法工艺复杂。针对火花放电制备微纳空心镍球的工艺研究过程中存在的问题,运用TRIZ理论的冲突解决理论和物场分析方法对电火花制备微纳空心镍球的技术提出一种改进方法———超声电火花复合加工。在这种方法中,使用了旋转多电极加工方法,以期产生更多的蚀除量,利用超声空化技术使工作液中产生更多的气泡,并使用曝气装置来有效地控制气泡的大小。 展开更多
关键词 微纳空心镍球 TRIZ理论 超声电火花复合加工 旋转多电极
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超大深径比深小孔电火花加工工艺探索 被引量:6
6
作者 赵战峰 张林斌 《现代机械》 2012年第6期1-4,12,共5页
为了提高小孔加工的深度极限,改善加工精度,进行了一系列的实验研究。通过实验,选取了合适的电极和涂层材料。利用该工艺方案,大大的提高了深小孔加工的深径比和精度,取了较满意的实验结果。
关键词 超大深径比深小孔 电火花加工 自导向管电极
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一种新型卧式微电火花机床的设计与实验研究
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作者 舒霞云 张鸿海 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期657-660,668,共5页
针对微电极制作的效率问题,提出了一种快速在线微电极加工成形的方法,设计了一种新型卧式微电火花机床。该机床由金刚石砂轮超精密在线电极磨削、线电极电火花在线电极磨削共同完成微米级电极的高效精密制作,该机床组成部分还包括基于CC... 针对微电极制作的效率问题,提出了一种快速在线微电极加工成形的方法,设计了一种新型卧式微电火花机床。该机床由金刚石砂轮超精密在线电极磨削、线电极电火花在线电极磨削共同完成微米级电极的高效精密制作,该机床组成部分还包括基于CCD的在线光学尺寸检测与测量系统、精密运动与进给系统、纳秒级独立式脉冲放电电源与放电状态检测反馈系统组成。在该机床上进行了微电极制作、微小孔加工以及微电火花铣削等实验,加工出ф15μm微细轴和ф50μm微小孔。 展开更多
关键词 微电极制作 放电加工 微电火花 线电火花磨削
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微细球状电极制备研究 被引量:4
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作者 孟冬 李寒松 +1 位作者 曾永彬 刘勇 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第15期169-174,共6页
微细球状电极在精微加工、测量领域有很大的应用空间,为制备低成本、高精度微细球状电极,提出新的制备工艺,在微细电解加工机床上运用微细电化学刻蚀(Micro electro-chemical machining,micro-ECM)—单脉冲放电加工(One pulse electro d... 微细球状电极在精微加工、测量领域有很大的应用空间,为制备低成本、高精度微细球状电极,提出新的制备工艺,在微细电解加工机床上运用微细电化学刻蚀(Micro electro-chemical machining,micro-ECM)—单脉冲放电加工(One pulse electro discharge,OPEG)组合技术制备微细球状电极,即先利用电化学刻蚀技术制备出微细圆柱状电极,然后利用单脉冲放电加工技术制备出前端的微球头。通过电极制备试验,研究各主要加工参数,如加工极性、加工电压、放电持续时间及峰值电流等对微细球状电极成形的影响,得出微细球状电极瞬时成形的基本规律。通过此方法成功地在电化学刻蚀出的直径15μm左右钨丝端部瞬间得到直径30μm左右微细球状电极。相对于线电极放电磨削技术(Wire electrode discharge grinding technology,WEDG)-OPEG组合技术,此方法更易于形成微细球状电极,加工成本低且表面质量好。 展开更多
关键词 单脉冲放电 微细球状电极 精微加工
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微细电火花加工关键技术及工艺研究 被引量:3
9
作者 张勇斌 吉方 +2 位作者 刘广民 张连新 吴祉群 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2011年第2期96-99,共4页
文中基于新研发的一套微细电火花精密加工系统μEDM-50,介绍了研发过程中探索出的最小脉宽可以达纳秒级的微能脉冲电源以及一些针对微细电火花加工的特点形成的特殊工艺。微能脉冲电源具有主动消电离环节,可以减少脉间的残余电荷放电,... 文中基于新研发的一套微细电火花精密加工系统μEDM-50,介绍了研发过程中探索出的最小脉宽可以达纳秒级的微能脉冲电源以及一些针对微细电火花加工的特点形成的特殊工艺。微能脉冲电源具有主动消电离环节,可以减少脉间的残余电荷放电,提高加工表面质量;特殊工艺有利于提高系统的加工精度和效率,提高微细电极的安全性。最后,介绍了一些金属零件上典型的微小特征精密加工实验以及放电沉积实验。该系统加工特征的尺寸范围主要介于数十微米到数毫米内。 展开更多
关键词 微细电火花 微能脉冲电源 工具电极
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微细电火花加工关键技术研究 被引量:36
10
作者 李勇 王显军 +3 位作者 郭 周兆英 严晓敏 胡敏 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第8期45-48,共4页
围绕微细电火花加工的实现,对微细电火花加工的关键技术进行了研究。开发出由蠕动式微进给机构、微小能量放电电源、微小电极线放电磨削机构、精密旋转主轴头、加工状态检测与控制系统等构成的微细电火花加工装置。探讨了微细电火花加... 围绕微细电火花加工的实现,对微细电火花加工的关键技术进行了研究。开发出由蠕动式微进给机构、微小能量放电电源、微小电极线放电磨削机构、精密旋转主轴头、加工状态检测与控制系统等构成的微细电火花加工装置。探讨了微细电火花加工微小轴、高深宽比微小孔、非圆截面形状和三维结构成型、以及半导体硅材料等的工艺方法。实验加工出的微小轴和孔的最小直径分别小于25μm和50μm,最大深宽比分别超过20和10。 展开更多
关键词 微型机械 微细电火花加工 蠕动式 微进给机构
原文传递
微细电极和孔的电火花加工尺寸一致性工艺 被引量:2
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作者 张龙 李勇 佟浩 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期1460-1465,共6页
线放电磨削(WEDG)方法巧妙地解决了微细电极的在线制作问题,启动和促进了微细电火花加工技术研究。但对于孔径小于100μm的批量化微细孔加工,WEDG面临微细电极制作及微细孔加工的尺寸一致性问题。该研究在微细电火花加工实验系统改进的... 线放电磨削(WEDG)方法巧妙地解决了微细电极的在线制作问题,启动和促进了微细电火花加工技术研究。但对于孔径小于100μm的批量化微细孔加工,WEDG面临微细电极制作及微细孔加工的尺寸一致性问题。该研究在微细电火花加工实验系统改进的基础上,为提高微细电极重复制作精度、进行微细孔的连续加工,提出切向进给的线放电磨削方法,以降低机床定位精度对微细电极制作精度的影响。通过微细电极重复制作和微细孔加工实验,得到微细电极重复制作一致性精度小于2μm,微细孔连续加工直径一致性精度达到±1.1μm。 展开更多
关键词 微细电火花加工 切向进给线放电磨削 微细电极 微细孔 一致性精度
原文传递
基于液相电极的微细电火花加工方法研究 被引量:1
12
作者 黄瑞宁 熊小刚 朱二磊 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期176-182,共7页
提出了一种利用液态金属作为加工电极的新型微细电火花放电加工方法,用于解决传统电火花加工中电极损耗引起的相关问题。该方法将导电的液态金属--镓铟锡合金注入毛细管工具电极中,通过控制管内压力使其悬挂在工具电极末端,脉冲电源施... 提出了一种利用液态金属作为加工电极的新型微细电火花放电加工方法,用于解决传统电火花加工中电极损耗引起的相关问题。该方法将导电的液态金属--镓铟锡合金注入毛细管工具电极中,通过控制管内压力使其悬挂在工具电极末端,脉冲电源施加在液体金属、工件之间,并控制它们之间的间隙来进行火花放电,从而达到蚀除工件的目的。放电过程中,尖端的液态金属会损耗,但在静电力以及虹吸作用下,工具电极中的液态金属会连续供应以补偿损耗。试验结果表明,镓铟锡合金能够作为电极进行电火花放电,任意图案扫描刻蚀结果表明镓铟锡合金电极进行电火花放电加工的方案是切实可行的,并且Parylene C镀层能够有效的保护工具电极。 展开更多
关键词 微细电火花加工 液态金属电极 电极损耗
原文传递
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