1
|
单晶硅各向异性湿法刻蚀的形貌控制 |
姚明秋
唐彬
苏伟
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2016 |
6
|
|
2
|
MEMS压印模板制作的刻蚀机理及尺寸控制方法 |
王权岱
段玉岗
卢秉恒
杨连发
|
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
|
2009 |
2
|
|
3
|
双极电路欧姆接触问题的工艺分析与解决方案 |
阚玲
张扬波
许生健
朱煜开
|
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
|
2007 |
2
|
|
4
|
基于LabVIEW可编程电化学脉冲湿法刻蚀系统设计 |
苗凤娟
李倩倩
陶佰睿
赵柯洋
张嘉
高玉峰
|
《半导体光电》
CAS
北大核心
|
2015 |
1
|
|
5
|
基于细胞自动控制算法的硅各向异性湿法刻蚀物理仿真 |
林国树
李晓莹
乔大勇
苑伟政
|
《航空制造技术》
|
2006 |
0 |
|
6
|
在线湿法刻蚀设备的控制系统 |
刘运洋
李博
王晓飞
司禹
|
《电子工业专用设备》
|
2015 |
0 |
|
7
|
金属氧化物TFT工艺中铜/钛蚀刻液浓度控制体系研究 |
赵辉
|
《光电子技术》
CAS
|
2023 |
1
|
|
8
|
双极IC接触电阻改善研究 |
赵铝虎
阚志国
|
《微处理机》
|
2015 |
0 |
|
9
|
美湿卡烘干过程湿度控制的意义和解决方案 |
段新顺
|
《国际纺织导报》
|
2006 |
0 |
|
10
|
烟气清洁排放案例分析 |
龚晓国
|
《砖瓦》
|
2018 |
0 |
|