离子束螺旋扫描方式修正光学镜面方法

研究基于螺旋扫描方式的光学镜面离子束修正方法。根据离子束去除函数的特性,将螺旋扫描加工过程简化成线性过程并建立工艺过程模型,采用基于Bayesian原理的改进Richard-Lucy迭代法求解驻留时间。在分析驻留时间的连续速度实现基础上,给出螺旋路径参数的确定准则。建立螺旋扫描加工方式的工艺流程并进行试验验证研究。试验研究对φ100平面镜和φ200非球面镜修形加工得到了面形方均根误差均优于0.01λ。研究结果表明:极轴加工与普通的全口径加工一样是一种高效率、高确定性的加工方法,能够对镜面进行精确修形,同时可以节约加工成本。