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离子束螺旋扫描方式修正光学镜面方法
被引量:
1
1
作者
解旭辉
焦长君
+2 位作者
李圣怡
段纬然
周林
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第12期192-197,共6页
研究基于螺旋扫描方式的光学镜面离子束修正方法。根据离子束去除函数的特性,将螺旋扫描加工过程简化成线性过程并建立工艺过程模型,采用基于Bayesian原理的改进Richard-Lucy迭代法求解驻留时间。在分析驻留时间的连续速度实现基础上,...
研究基于螺旋扫描方式的光学镜面离子束修正方法。根据离子束去除函数的特性,将螺旋扫描加工过程简化成线性过程并建立工艺过程模型,采用基于Bayesian原理的改进Richard-Lucy迭代法求解驻留时间。在分析驻留时间的连续速度实现基础上,给出螺旋路径参数的确定准则。建立螺旋扫描加工方式的工艺流程并进行试验验证研究。试验研究对φ100平面镜和φ200非球面镜修形加工得到了面形方均根误差均优于0.01λ。研究结果表明:极轴加工与普通的全口径加工一样是一种高效率、高确定性的加工方法,能够对镜面进行精确修形,同时可以节约加工成本。
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关键词
光学加工
离子束修形
螺旋扫描方式
richard-lucy
迭代算法
下载PDF
职称材料
题名
离子束螺旋扫描方式修正光学镜面方法
被引量:
1
1
作者
解旭辉
焦长君
李圣怡
段纬然
周林
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第12期192-197,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(50775216)
文摘
研究基于螺旋扫描方式的光学镜面离子束修正方法。根据离子束去除函数的特性,将螺旋扫描加工过程简化成线性过程并建立工艺过程模型,采用基于Bayesian原理的改进Richard-Lucy迭代法求解驻留时间。在分析驻留时间的连续速度实现基础上,给出螺旋路径参数的确定准则。建立螺旋扫描加工方式的工艺流程并进行试验验证研究。试验研究对φ100平面镜和φ200非球面镜修形加工得到了面形方均根误差均优于0.01λ。研究结果表明:极轴加工与普通的全口径加工一样是一种高效率、高确定性的加工方法,能够对镜面进行精确修形,同时可以节约加工成本。
关键词
光学加工
离子束修形
螺旋扫描方式
richard-lucy
迭代算法
Keywords
optical fabrication ion beam figuring spiral scan mode richard-lucy iterative algorithm
分类号
TG171.68 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离子束螺旋扫描方式修正光学镜面方法
解旭辉
焦长君
李圣怡
段纬然
周林
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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职称材料
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