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New Optical Fiber Pressure Sensor with Reflection Capsule
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作者 LIU Zhiyan(Yanshan University, Qinhuangdao 066004, CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1996年第3期227-231,235,共6页
The ratio measurement by means of the sensing optical fiber and the reference fiber with different beginning positions, and the technique to improve the stability of the sensor are first described. Then the ability to... The ratio measurement by means of the sensing optical fiber and the reference fiber with different beginning positions, and the technique to improve the stability of the sensor are first described. Then the ability to restrain and compensate the interference of the same nature through the double channel ratio measurement is illustrated. Finally, the performance of sensor and its engineering design are discussed. 展开更多
关键词 optical fiber optical Probe pressure sensors Ratio Measurement
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Optically Powered Pressure Sensor with Optical Fiber Link
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作者 LIU Zhiyan WANG Yutian(Yanshan University. Qinhuangdao 066004. CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1996年第1期18-24,共7页
An optically powered sensor for measuring pressure which is linked by optical fiber is developed in new scheme. Its pulse position modulation (PPM) optical signal and optical supply power for electronics in probe are... An optically powered sensor for measuring pressure which is linked by optical fiber is developed in new scheme. Its pulse position modulation (PPM) optical signal and optical supply power for electronics in probe are transmitted via a single optical fiber. The optical power is carried by a 1 300 nm laser diode (LD) and the sensing data are carried by a 850 nm LED. The remote probe uses all CMOS chips and particular modulations (PPM and PWM). Its electrical consumption including signal manipulation and LED driven current from optically converted is less than 100 μW. The laser diode supplies 5 mW optical power into the fiber. A photodetector converts sufficiently this power into electrical power to drive the whole probe operation. The optically powered distance gets up to 500 m. The novel sensor combines optical fiber and electronics technology into a system. Because of using the principle of ratio measurement between measured and reference signals, as well as light feedback,the system is available with high reliable, outstanding accuracy and repeatability. 展开更多
关键词 pressure sensors Signal Detection optical fiber Measurement system
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Liquid Level Measurement in Oil Tanks Based on Double-differential Pressure Technique 被引量:1
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作者 WEN Shu hui, DUAN Hui fang (School of Electr. Eng., Yanshan University, Qinhuangdao 066004, CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2001年第3期168-171,176,共5页
The system principle and configuration of the double differential pressure method for measuring oil tank level are presented. The fundamental method and circuit of fiber optic transmission are analyzed .The accuracy a... The system principle and configuration of the double differential pressure method for measuring oil tank level are presented. The fundamental method and circuit of fiber optic transmission are analyzed .The accuracy and security of level measurement in the oil tanks have been greatly improved. 展开更多
关键词 Double differential pressure technique Level measurement fiber optic transmission
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用于高压测量的MEMS硅-玻光纤FP压力传感器
4
作者 付雨薇 王睿楠 +3 位作者 唐文婷 杜喜昭 王伟 陈海滨 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期771-779,共9页
研究了一种基于微机电系统(MEMS)技术用于高压测量的硅-玻光纤法布里-珀罗(FP)压力传感器。该传感器以硅材料作为敏感元件,将电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀后的单晶硅膜片和高硼硅玻璃阳极键合构成FP腔。传感头使用MEMS技术批量制造,... 研究了一种基于微机电系统(MEMS)技术用于高压测量的硅-玻光纤法布里-珀罗(FP)压力传感器。该传感器以硅材料作为敏感元件,将电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀后的单晶硅膜片和高硼硅玻璃阳极键合构成FP腔。传感头使用MEMS技术批量制造,结构稳定、抗过载能力强、在高压环境下不容易失效。实验结果表明,该传感器能够实现30 MPa的高压压力测量,灵敏度为46.94 nm/MPa,线性拟合度为0.99897,测量结果具有较好的一致性和可靠性,所设计的压力传感器在高压检测方面有很强的应用前景。 展开更多
关键词 MEMS 光纤传感器 压力测量 FP干涉
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临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计
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作者 张雨彤 江毅 +1 位作者 杨水旺 张大有 《火箭推进》 CAS 北大核心 2024年第3期118-123,共6页
研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-P... 研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-Perot,FP)腔,可以同时测量温度和绝对压力,通过实时监测温度,对压力测量进行温度补偿,去除温度对压力测量的影响。实验结果表明:900℃内的每个温度点下,密封FP腔的光学腔长随压力线性变化;室温下,压力灵敏度为11.6 nm/kPa,压力灵敏度随温度的上升略微升高,压力测量的分辨率达到86 Pa。 展开更多
关键词 光纤压力传感器 非本征法布里-珀罗干涉仪 蓝宝石晶片 绝对压力测量
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基于硅MEMS技术的高灵敏度微型光纤法布里-珀罗压力传感器 被引量:1
6
作者 李文豪 贾平岗 +4 位作者 王军 薛波 万顺 侯凯耀 熊继军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期149-157,共9页
基于微机电系统技术设计制备了一种微型化光纤法布里-珀罗传感器,具备高灵敏度和可批量制造的特点。传感器内部的法珀腔由刻蚀后的SOI晶圆与BF33玻璃阳极键合而成,传感器敏感膜片采用了绝缘衬底上的单晶硅材料。采用激光精细切割技术对... 基于微机电系统技术设计制备了一种微型化光纤法布里-珀罗传感器,具备高灵敏度和可批量制造的特点。传感器内部的法珀腔由刻蚀后的SOI晶圆与BF33玻璃阳极键合而成,传感器敏感膜片采用了绝缘衬底上的单晶硅材料。采用激光精细切割技术对传感器单元进行独立分离,使得单个传感器的整体外径仅为400μm,高度为220μm。在此基础上,搭建了信号解调实验平台,并对传感器的感压特性进行了详尽测试。测试结果显示,在0~50 kPa的压力范围内,传感器的压力灵敏度可达到18.5 nm/kPa,最大非线性度为0.47%,重复性为0.18%,迟滞为0.18%。此外,该传感器具有体积小、灵敏度高、电磁兼容、生物兼容以及稳定性强等优点,在生物医学和医疗领域具备巨大的商业转化价值。 展开更多
关键词 光纤传感器 法布里-珀罗 微型化 压力测量 微机电系统
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光纤压力传感器测量的最小偏差腔长解调算法
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作者 申雅峰 江毅 隋广慧 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第8期1235-1239,共5页
在光纤传感技术领域应用基于法珀腔(外腔式法布里-珀罗干涉腔)结构的光纤压力传感器进行气体压力测量时,由于传感器结构决定了腔长动态范围相对较小,需要高分辨率的腔长测量方法。因此针对基于法珀腔结构的光纤压力传感器进行绝对腔长... 在光纤传感技术领域应用基于法珀腔(外腔式法布里-珀罗干涉腔)结构的光纤压力传感器进行气体压力测量时,由于传感器结构决定了腔长动态范围相对较小,需要高分辨率的腔长测量方法。因此针对基于法珀腔结构的光纤压力传感器进行绝对腔长解调算法研究,提出一种高精度最小偏差腔长解调算法,通过将法珀腔光纤压力传感器密封在压力标准源中,对等间隔压力变化产生的不同腔长进行实时解调,实现了气体压力的实时测量。实验结果表明,法珀腔光纤压力传感器腔长值随压差变化呈现出良好的线性关系和重复性,腔长测量的重复性为±1 nm,精度为0.1496%,压力测量的重复性为0.12%,压力测量的精度优于0.5%。 展开更多
关键词 计量学 压力测量 光纤传感器 外腔式法布里-珀罗干涉腔 腔长解调
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基于多芯光纤级联布喇格光纤光栅的横向压力与温度同时测量 被引量:10
8
作者 蒋友华 傅海威 +2 位作者 张静乐 贾振安 乔学光 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期118-123,共6页
提出并制作了一种基于多芯光纤与单模光纤错位构成的马赫-曾德尔干涉仪,将其与光纤布喇格光栅级联,形成的全光纤传感系统可实现横向压力和温度双参量同时测量.马赫-曾德尔干涉仪是利用多芯光纤和单模光纤的模场不匹配而发生模间干涉,当... 提出并制作了一种基于多芯光纤与单模光纤错位构成的马赫-曾德尔干涉仪,将其与光纤布喇格光栅级联,形成的全光纤传感系统可实现横向压力和温度双参量同时测量.马赫-曾德尔干涉仪是利用多芯光纤和单模光纤的模场不匹配而发生模间干涉,当外界横向压力直接作用在多芯光纤内部光场,干涉仪具有较高的灵敏度.实验结果表明:马赫-曾德尔干涉仪压力灵敏度为28.57nm/(N·mm^(-1)),线性度为0.997,而光纤布喇格光栅在一定范围内对压力变化不敏感;马赫-曾德干涉仪和光纤布喇格光栅对温度变化都具有较高的线性度,温度灵敏度分别为56.1pm/℃和11.3pm/℃.对于分辨率为0.02nm的光谱仪,传感器可实现的压力和温度测量分辨率分别为7.0×10^(-4)N/mm和0.03℃.马赫-曾德尔干涉仪的透射谱和光纤布拉光栅的谐振峰对横向压力和温度的变化有不同的光谱响应,利用光谱仪对传感器的透射谱实时监测,方便地实现了压力与温度双参量的测量.该传感器结构简单,灵敏度高,可用于不同领域的压力传感. 展开更多
关键词 光纤传感 多芯光纤 全光纤压力传感器 光纤马赫-曾德尔干涉仪 光纤布喇格光栅 双参量测量
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双弹簧管光纤差压传感器 被引量:11
9
作者 佟成国 杨军 +1 位作者 刘志海 苑立波 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1172-1175,共4页
设计了一种利用对称反转连接的双弹簧管作为差动压力传感元件 ,进行差动压力测量的光纤传感器 这种光纤传感器是在通用光纤传感设计实验系统的基础上 ,利用三光纤反射调制技术 ,实现光源强度的变化和光纤中光功率损耗的变化以及反射率... 设计了一种利用对称反转连接的双弹簧管作为差动压力传感元件 ,进行差动压力测量的光纤传感器 这种光纤传感器是在通用光纤传感设计实验系统的基础上 ,利用三光纤反射调制技术 ,实现光源强度的变化和光纤中光功率损耗的变化以及反射率的变化自动补偿的 理论上 ,分析了这种反转对称差压传感弹性元件在使用过程的优点 ,给出了三光纤补偿理论分析方法 实验上 。 展开更多
关键词 光纤传感器 差压传感器 C型弹簧管 三光纤补偿技术
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基于光谱吸收原理的光纤甲烷传感器检测方法研究 被引量:7
10
作者 贺玉凯 王汝琳 +2 位作者 张丽 王建 吴久晏 《工矿自动化》 北大核心 2006年第5期1-5,共5页
提出了一种基于光谱吸收原理的光纤甲烷传感器的检测方法,建立了差分检测技术的数学模型,利用差分吸收法消除了光源不稳定及光电器件的热零点漂移、零点漂移对测量准确度的影响。实验结果表明基于光谱吸收原理的光纤甲烷传感器系统性能... 提出了一种基于光谱吸收原理的光纤甲烷传感器的检测方法,建立了差分检测技术的数学模型,利用差分吸收法消除了光源不稳定及光电器件的热零点漂移、零点漂移对测量准确度的影响。实验结果表明基于光谱吸收原理的光纤甲烷传感器系统性能较为稳定、灵敏度较高、测量范围宽、重复性较好,适合于检测煤矿井下瓦斯含量。 展开更多
关键词 矿井 甲烷传感器 光谱吸收 光纤 差分检测
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光纤气压传感器特性分析 被引量:14
11
作者 肖韶荣 朱平 贲富来 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1042-1047,共6页
用双膜盒作气压的敏感元件,将光纤微位移传感器用于检测膜盒随压力变化引起的形变,避免了其他检测膜盒形变方法的缺点,使气压传感器的性能得到改善和优化。为了提高检测灵敏度、降低检测限,使用了双通道光纤传感器,构造了一个气压... 用双膜盒作气压的敏感元件,将光纤微位移传感器用于检测膜盒随压力变化引起的形变,避免了其他检测膜盒形变方法的缺点,使气压传感器的性能得到改善和优化。为了提高检测灵敏度、降低检测限,使用了双通道光纤传感器,构造了一个气压测量装置,并以标准空气压力计对这种光纤气压传感器的输出变化随气压变化的关系进行了标定。结果表明,测量范围可以达到900-1170hPa,分辨率为0.2hPa,精度为±0.1hPa。改变光纤探头到膜盒反射面的初始间隔,实现气压测量区间位置的变化,进一步优化光纤探头的结构参数,可以拓宽大气压力的测量范围。 展开更多
关键词 光纤传感器 大气压力 双通道测量 灵敏度
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光纤传感干度测量仪研制 被引量:4
12
作者 梁培 余建军 +4 位作者 朱桂荣 李信江 沈阳 钱霖 邹丽新 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期488-490,共3页
运用光纤传感技术研制的干度测量仪 ,通过水汽两相流在光学界面上不同折射率具有的不同反应 ,直接得出干度变化的响应值。从理论上分析了干度测量仪的工作原理 ,并实验证明可以连续、在线测量 ,可在高温。
关键词 实验证明 连续 干度 折射率 两相流 光学 界面 狭窄空间 在线测量 水汽
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分布式光纤温度压力传感器设计 被引量:31
13
作者 徐宁 戴明 《中国光学》 EI CAS CSCD 2015年第4期629-635,共7页
为了实现油田井下温度压力的全分布式测量,提出了一种基于光纤散射原理的分布式温度压力测量方法。该方法通过对普通光纤进行封装设计,制作成传感光纤。由于光纤传感器周围流体的温度和压力会对传感光纤内的散射光产生调制作用,通过光... 为了实现油田井下温度压力的全分布式测量,提出了一种基于光纤散射原理的分布式温度压力测量方法。该方法通过对普通光纤进行封装设计,制作成传感光纤。由于光纤传感器周围流体的温度和压力会对传感光纤内的散射光产生调制作用,通过光纤解调仪解调出光纤拉曼散射参数和布里渊散射频移就能够实现温度和压力的实时在线测量。实验结果表明:设计的分布式光纤温度压力传感器可以实现的温度测量分辨率为0.1℃,压力测量分辨率为0.07 MPa。基本满足油田井下温度压力测量的全分布式、实时在线、可靠性高、精度高、抗干扰能力强等要求。 展开更多
关键词 光纤传感 温度测量 压力测量 拉曼散射 布里渊散射
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差动式光纤光栅位移计及其温度特性的研究 被引量:7
14
作者 王俊杰 付晓红 +1 位作者 姜德生 张丰涛 《武汉理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期112-115,共4页
基于拉伸弹簧和悬臂梁组成一复合结构实现了光纤光栅(FBG)位移传感器的差动式测量,研究表明:传感器位移分辨率为0.05%,重复性为0.183%,回程误差为0.134%,线性误差为0.14%,基本误差为±0.326%;以20℃为基准,在(-30—+100℃),温度引... 基于拉伸弹簧和悬臂梁组成一复合结构实现了光纤光栅(FBG)位移传感器的差动式测量,研究表明:传感器位移分辨率为0.05%,重复性为0.183%,回程误差为0.134%,线性误差为0.14%,基本误差为±0.326%;以20℃为基准,在(-30—+100℃),温度引起的零点漂移不超过满量程的2.86%;随着试验温度范围减小至传感器日常使用范围(-20—+60℃),零点温度漂移也减小至满量程的0.7%,传感器温度特性完全满足需求。最后,给出了传感器温度特性不一致的主要原因以及进一步改善传感器位移传感特性和热稳定性的方法,并指出改变悬臂梁和拉伸弹簧的几何尺寸就可实现不同量程、不同位移分辨力的测量。 展开更多
关键词 光纤FBG位移计 光纤光栅 差动式测量 零点温度漂移
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基于正弦机构力放大原理的高灵敏度光纤光栅压力传感器 被引量:4
15
作者 王俊杰 姜德生 +3 位作者 谢官模 梁宇飞 李军向 黄俊斌 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期783-786,共4页
基于正弦机构力放大原理,设计研究了基于平面圆形薄板结构的新型高灵敏度光纤光栅压力传感器,研究表明,传感器的压力灵敏度可高达0.04711(pm/Pa),比裸光纤增敏了14989倍,可应用于超低量程压力的传感测量,而该封装结构易于传感FBG多路复... 基于正弦机构力放大原理,设计研究了基于平面圆形薄板结构的新型高灵敏度光纤光栅压力传感器,研究表明,传感器的压力灵敏度可高达0.04711(pm/Pa),比裸光纤增敏了14989倍,可应用于超低量程压力的传感测量,而该封装结构易于传感FBG多路复用,组成传感器阵列。 展开更多
关键词 光纤传感器 光纤光栅 压力测量 正弦力放大机构 结构增敏
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双通道光纤气压传感器系统设计 被引量:4
16
作者 肖韶荣 贲富来 +1 位作者 朱平 张波 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期634-638,共5页
介绍了一种新型双通道光纤气压测量系统的原理和结构组成。该系统由双通道光纤位移传感器和高精度金属膜盒组成,用光纤位移传感器检测气压变化引起的膜盒自由表面的位移。气压测量系统的输出特性参数与系统光源的光强无关,只取决于系统... 介绍了一种新型双通道光纤气压测量系统的原理和结构组成。该系统由双通道光纤位移传感器和高精度金属膜盒组成,用光纤位移传感器检测气压变化引起的膜盒自由表面的位移。气压测量系统的输出特性参数与系统光源的光强无关,只取决于系统气压传感部件的结构参数。系统的信号处理电路包括光信号前置放大电路、窄带滤波电路、真有效值转换电路以及A/D转换和单片机电路。根据实验测定的系统输出特性,该系统的测量精度达到±0.1 hPa,分辨率小于0.2 hPa。 展开更多
关键词 纤维与波导光学 气压测量 光纤传感器 真有效值转换 单片机应用
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光纤光栅高温高压传感器技术 被引量:4
17
作者 冯飞 乔学光 +2 位作者 贾振安 王佳 张磊 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第6期9-11,共3页
随着光纤光栅传感器的广泛应用,高温、高压、强电磁干扰等工业环境是光纤光栅传感器应用的一个重要方向。介绍了油气井下高温、高压等恶劣环境下使用的光纤光栅高温传感器、高压传感器。阐述了现有的一些典型的技术方案、传感器结构设... 随着光纤光栅传感器的广泛应用,高温、高压、强电磁干扰等工业环境是光纤光栅传感器应用的一个重要方向。介绍了油气井下高温、高压等恶劣环境下使用的光纤光栅高温传感器、高压传感器。阐述了现有的一些典型的技术方案、传感器结构设计等。分析了其特性,并对其应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 光纤光栅 传感器 高温 高压 区分测量
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光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器研究进展 被引量:8
18
作者 李爱武 单天奇 +4 位作者 国旗 潘学鹏 刘善仁 陈超 于永森 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期609-624,共16页
光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器具有体积小、制作简单、灵敏度高、耐高温和抗电磁干扰等优点,广泛应用于航空航天、能源工业及环境监测等领域。本文首先介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的传感原理、传感性能、传感特性和制备... 光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器具有体积小、制作简单、灵敏度高、耐高温和抗电磁干扰等优点,广泛应用于航空航天、能源工业及环境监测等领域。本文首先介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的传感原理、传感性能、传感特性和制备方法。然后对其温度、压力和应变的灵敏度和测量范围等特征参数进行了归纳。总结了光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的国内外研究进展及性能参数。介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪传感器温度和压力的交叉敏感问题及解决方法和基于不同种类光纤的法布里-珀罗干涉仪高温传感特性。针对近几年光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的研究进展,介绍了多种用于双参数测量的光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器。最后对光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的未来发展趋势和前景进行了展望。 展开更多
关键词 光纤法布里-珀罗干涉仪 高温传感器 高温压力测量
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基于平面圆形薄板结构的光纤FBG动态压力传感器 被引量:2
19
作者 王俊杰 姜德生 +3 位作者 谢官模 梁宇飞 李军向 黄俊斌 《武汉理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期89-92,共4页
提出了基于平面圆形薄板结构光纤光栅(FBG)动态压力传感器的实现方法,从理论上分析了其静态灵敏度和动态频率响应特性,并且采用振动液枉法和电磁力发生器对其灵敏度和动态特性进行了实验研究。平面薄板采用不锈钢材质、厚度为0.15m... 提出了基于平面圆形薄板结构光纤光栅(FBG)动态压力传感器的实现方法,从理论上分析了其静态灵敏度和动态频率响应特性,并且采用振动液枉法和电磁力发生器对其灵敏度和动态特性进行了实验研究。平面薄板采用不锈钢材质、厚度为0.15mm、直径为15mm,对于该尺寸结构的传感嚣,静态灵敏度可达0.02pm/Pa,比裸光栅增敏6300倍,谐振频率为78kHz,而且幅频特性在0-6.5kHz频率范围内较为平坦.研究表明:对该结构薄板的几何尺寸进行适当的调整,可实现不同量程、不同带宽的压力测量。 展开更多
关键词 光纤传感嚣 光纤光栅 动态压力测量 平面薄板结构
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压电式压力传感器的光纤传输技术应用研究 被引量:3
20
作者 田慧 林庆华 栗保明 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第2期18-20,共3页
压力是内弹道的基本指标,压力随时间变化的曲线可以表征内弹道的情况。提高压力测量的精度,能够促进内弹道理论研究。电热炮发射试验的电磁环境复杂,对膛压测量影响很大。采用电磁屏蔽和数字光纤传输技术等措施,不但较好地解决电磁干扰... 压力是内弹道的基本指标,压力随时间变化的曲线可以表征内弹道的情况。提高压力测量的精度,能够促进内弹道理论研究。电热炮发射试验的电磁环境复杂,对膛压测量影响很大。采用电磁屏蔽和数字光纤传输技术等措施,不但较好地解决电磁干扰难题,并将等离子体负载电压和电流、身管膛内压力、炮口压力和测量炮口速度的区截装置等信号统一在一个时间轴上,为电热炮的等离子体点火、增强作用的理论研究找到可行的试验方法。 展开更多
关键词 压电式压力传感器 膛压测量 光纤传输 电磁屏蔽
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