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MBE脱氧条件与InGaAs/InP APD性能的相关性
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作者 郭子路 王文娟 +7 位作者 曲会丹 范柳燕 诸毅诚 王亚杰 郑长林 王兴军 陈平平 陆卫 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期63-69,共7页
InP基InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)对近红外光具有高敏感度,使其成为微弱信号和单光子探测的理想光电器件。然而随着先进器件结构越来越复杂,厚度尺寸从量子点到几微米不等,性能越来越受材料中晶格缺陷的影响和工艺条件的制约。采用... InP基InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)对近红外光具有高敏感度,使其成为微弱信号和单光子探测的理想光电器件。然而随着先进器件结构越来越复杂,厚度尺寸从量子点到几微米不等,性能越来越受材料中晶格缺陷的影响和工艺条件的制约。采用固态源分子束外延(MBE)技术分别在As和P气氛保护下对InP衬底进行脱氧处理并外延生长晶格匹配的In_(0.53)Ga_(0.47)As薄膜和APD结构材料。实验结果表明,As脱氧在MBE材料质量方面比P脱氧具有明显的优势,可获得陡直明锐的异质结界面,降低载流子浓度,提高霍尔迁移率,延长少子寿命,并抑制器件中点缺陷或杂质缺陷引起的暗电流。因此,As脱氧可以有效提高MBE材料的质量,这项工作优化了InP衬底InGaAs/InP外延生长参数和器件制造条件。 展开更多
关键词 分子束外延 p/As切换 异质界面扩散 InGaAs/inp雪崩光电二极管
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台面型InP/InGaAs PIN光伏探测器的p-InP低阻欧姆接触 被引量:2
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作者 魏鹏 朱耀明 +4 位作者 邓洪海 唐恒敬 李雪 张永刚 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第12期2309-2313,共5页
研究了电子束蒸发淀积的非合金膜系Au/Pt/Ti/p-InP(2×1018cm-3)接触的物理特性,通过450℃、4 min的快速退火,获得了欧姆接触,其比接触电阻为7.3×10-5Wcm2。接触电极退火后,采用离子溅射法淀积加厚电极Cr/Au。利用俄歇电子能谱... 研究了电子束蒸发淀积的非合金膜系Au/Pt/Ti/p-InP(2×1018cm-3)接触的物理特性,通过450℃、4 min的快速退火,获得了欧姆接触,其比接触电阻为7.3×10-5Wcm2。接触电极退火后,采用离子溅射法淀积加厚电极Cr/Au。利用俄歇电子能谱(AES)进行深度剖面分析,表明Pt层能够相对有效地阻挡Au和InP的互扩散,但仍会有少部分的Au穿透Pt层进入InP层;金属与p-InP低阻欧姆接触的形成由界面处金属和InP的化学及其冶金学反应决定,并且少量的In-Au化合物的形成可能有益于接触特性的改善。结果表明,采用合适的退火条件可以制备出低阻、表面光滑、可靠性高的欧姆接触。 展开更多
关键词 传输线模型(TLM) p-inp 欧姆接触 比接触电阻 AES
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富磷熔体生长InP单晶的均匀性研究 被引量:4
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作者 杨帆 杨瑞霞 +4 位作者 陈爱华 孙聂枫 刘志国 李晓岚 潘静 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期497-501,共5页
采用原位磷注入合成法在高压单晶炉内合成富磷的磷化铟(InP)熔体,并利用液封直拉法(LEC)生长出了掺硫及掺铁单晶材料。分别用快速扫描光荧光谱技术(PL-Mapping)、扫描电镜和傅里叶红外光谱对富磷单晶样品进行了研究。结果表明,在富磷条... 采用原位磷注入合成法在高压单晶炉内合成富磷的磷化铟(InP)熔体,并利用液封直拉法(LEC)生长出了掺硫及掺铁单晶材料。分别用快速扫描光荧光谱技术(PL-Mapping)、扫描电镜和傅里叶红外光谱对富磷单晶样品进行了研究。结果表明,在富磷条件下拉制的InP单晶会出现孔洞,致使在孔洞周围及远离区域晶体结晶质量和晶格常数存在差异,并且孔洞的存在会造成杂质分布的不均匀性。由于孔洞附近区域具有较高浓度的缺陷,而缺陷对杂质的吸引作用致使孔洞附近区域杂质浓度较远离孔洞区域有所增加。 展开更多
关键词 磷化铟 富磷 液封直拉法 缺陷
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富磷熔体中生长的φ100 mm掺硫InP单晶研究 被引量:3
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作者 周晓龙 安娜 +8 位作者 孙聂枫 徐永强 杨光耀 谢德良 刘二海 李光平 周智慧 董彦辉 孙同年 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期134-137,共4页
采用原位磷注入合成法在高压单晶炉内合成富磷的磷化铟 (In P)熔体 ,并利用液封直拉法 (LEC)生长出了 1 0 0 mm In P掺硫单晶材料。对富磷单晶分别用快速扫描光荧光谱技术、腐蚀金相法和扫描电镜进行了研究。结果表明在富磷量足够大的... 采用原位磷注入合成法在高压单晶炉内合成富磷的磷化铟 (In P)熔体 ,并利用液封直拉法 (LEC)生长出了 1 0 0 mm In P掺硫单晶材料。对富磷单晶分别用快速扫描光荧光谱技术、腐蚀金相法和扫描电镜进行了研究。结果表明在富磷量足够大的情况下 ,晶片上会出现孔洞 ,并对孔洞周围位错的形成原因及分布进行了分析。 1 0 0 mm In P单晶的平均位错密度也没有明显的增加 ,为今后生长更大尺寸的完整 In 展开更多
关键词 磷化铟 掺硫单晶材料 位错密度 原位磷注入合成法 富磷熔体
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富磷InP单晶中气孔的形成及其结构研究 被引量:1
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作者 刘志国 杨瑞霞 +4 位作者 杨帆 王阳 王书杰 孙同年 孙聂枫 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第12期934-937,954,共5页
采用P注入原位合成液封直拉生长法制备了富磷的3英寸(1英寸=2.54 cm)〈100〉InP单晶锭,对晶体中气孔的形成机理做了初步分析。采用场发射扫描电子显微镜(SEM)对样品进行表面形貌及成分分析(EDS),采用X射线衍射仪对样品结晶质量进行测试... 采用P注入原位合成液封直拉生长法制备了富磷的3英寸(1英寸=2.54 cm)〈100〉InP单晶锭,对晶体中气孔的形成机理做了初步分析。采用场发射扫描电子显微镜(SEM)对样品进行表面形貌及成分分析(EDS),采用X射线衍射仪对样品结晶质量进行测试。结果表明,在晶体生长过程中,熔体中富余的磷会形成磷气泡,磷气泡容易在固液界面边缘处堆积,进而形成气孔,晶片边缘处的孔洞较大且数量较多;晶体生长结束后,富余的磷会冷凝并淀积在气孔内壁上,在晶锭退火时,开始的热冲击使得气孔中富余的磷气化,降温过程中,由于晶锭内部温度高,富余的磷先冷凝并淀积在气孔内壁靠近晶锭边缘的一侧;晶片孔洞附近的结晶质量远低于无孔洞位置。 展开更多
关键词 液封直拉生长法(LEC) 磷化铟 富磷 气孔 扫描电子显微镜 (SEM) X射线 衍射(XRD)
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不同熔体配比的InP分析研究 被引量:2
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作者 孙聂枫 陈旭东 +5 位作者 杨光耀 赵有文 谢德良 刘二海 刘思林 孙同年 《半导体情报》 1999年第4期41-46,55,共7页
原位磷注入合成 L E C晶体生长法可分别合成得到富铟、近化学配比或富磷的 In P熔体, 并进行 L E C晶体生长。我们对不同配比程度的材料进行了 F T I R、 P L、变温 Hall等测试工作, 得到了一些相当有意义的结果... 原位磷注入合成 L E C晶体生长法可分别合成得到富铟、近化学配比或富磷的 In P熔体, 并进行 L E C晶体生长。我们对不同配比程度的材料进行了 F T I R、 P L、变温 Hall等测试工作, 得到了一些相当有意义的结果, 对研究非掺杂半绝缘 In 展开更多
关键词 原位磷注入合成 inp晶体 液封直拉法
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表面修饰层在P—InP光解水制氢中的作用
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作者 张国栋 《华东冶金学院学报》 1990年第4期57-62,共6页
本文用电化学和光电化学方法对P—I_nP电极进行氧化还原处理,以形成P—InP/In O_3/In表面修饰膜,并讨论了表面修饰过程对P—InP光电解水析氢反应的影响。
关键词 p-inp 表面修饰膜 光解水析氢
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异质结InP/InGaAs探测器欧姆接触温度特性研究
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作者 曹高奇 唐恒敬 +3 位作者 李淘 邵秀梅 李雪 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期721-725,共5页
为了研究异质结InP/InGaAs探测器帽层的欧姆接触特性,采用Au/p-InP传输线模型(TLM),对比不同退火温度下的接触特性,在480℃、30 s的退火条件下实现室温比接触电阻为3.84×10^(-4)Ω·cm^2,同时,对欧姆接触的温度特性进行了研究... 为了研究异质结InP/InGaAs探测器帽层的欧姆接触特性,采用Au/p-InP传输线模型(TLM),对比不同退火温度下的接触特性,在480℃、30 s的退火条件下实现室温比接触电阻为3.84×10^(-4)Ω·cm^2,同时,对欧姆接触的温度特性进行了研究,发现随着温度降低比接触电阻增加,在240~353 K温度范围内界面电流传输主要为热电子-场发射机制(TFE);240 K以下,接触呈现肖特基特性.利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分别对界面处的扩散程度和化学反应进行了分析,发现经过480℃、30 s退火后样品界面处存在剧烈的互扩散,反应产物Au_(10)In_3有利于改善Au/p-InP的接触性能. 展开更多
关键词 p-inp 欧姆接触 比接触电阻 扫描电子显微镜(SEM) X射线衍射仪(XRD)
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1.55μm高功率单横模半导体激光器的研制
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作者 薛正群 池炳坤 陈玉萍 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1189-1195,共7页
1.55μm高功率半导体激光器广泛应用于长距离主干网光网络、无人驾驶等领域,在应用系统中更高的激光出光功率有利于提升系统的工作距离和接收端的信噪比;随着光电子集成和共封装光学的快速发展,其高光电集成密度要求激光器具备低功耗等... 1.55μm高功率半导体激光器广泛应用于长距离主干网光网络、无人驾驶等领域,在应用系统中更高的激光出光功率有利于提升系统的工作距离和接收端的信噪比;随着光电子集成和共封装光学的快速发展,其高光电集成密度要求激光器具备低功耗等性能。本文通过优化激光器外延P-InP掺杂,激光器室温下串联电阻从3.2Ω降低至2.2Ω,器件电阻性能优于相同结构对比器件,300 mA电流下器件电功耗从510 mW降低至430 mW。进一步采用锥形波导结构提高激光器增益体积,测试结果显示,锥形波导结构使激光器出光功率提升17%以上,同时器件电功耗无明显增加;室温低电流下器件最高光电转换效率接近50%,与相关研究报道结果优值相当;远场测试结果显示,激光器水平方向发散角有效降低,同时器件光束质量未发生明显变化。实验结果为面向光电子集成应用的低功耗高功率半导体激光器提供了研究基础。 展开更多
关键词 1.55μm inp/InGaAsp 高功率激光器 p型掺杂 锥形波导
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采用As_2和As_4模式的新型全固源InAsP分子束外延生长 被引量:1
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作者 任在元 郝智彪 +1 位作者 何为 罗毅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期57-60,共4页
在国产分子束外延设备的基础上 ,利用新型阀控裂解 As源炉 ,对 As2 和 As4 的生长特性进行了全面的研究 .以 As2 和 As4 两种模式 ,在 (0 0 1) In P衬底上生长了高质量的 In As P体材料和 In Asy P1 - y/ In P多量子阱样品 .材料质量用 ... 在国产分子束外延设备的基础上 ,利用新型阀控裂解 As源炉 ,对 As2 和 As4 的生长特性进行了全面的研究 .以 As2 和 As4 两种模式 ,在 (0 0 1) In P衬底上生长了高质量的 In As P体材料和 In Asy P1 - y/ In P多量子阱样品 .材料质量用 X射线衍射 (XRD)以及室温和低温的光致发光 (PL)测定 .实验发现 ,两种模式生长的样品的晶体结构质量相当 ,但 As2 的吸附系数明显大于 As4 的吸附系数 .另外 ,用 As2 模式生长的多量子阱样品的室温光学特性优于As4 模式生长的样品 ,但在低温时 ,二者几乎相同 ,这是由 As4 展开更多
关键词 全固源分子束外延生长 量子阱 半导体材料
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Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的高能重离子辐照缺陷研究
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作者 黄龙 《新疆大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第2期130-132,共3页
用正电子湮没寿命谱技术研究了2.4×1O15/cm2、2.2×1016/cm2注量的85MeV19F离子辐照N型GaP和1.6×1016/cm 2注量的85MeV19F离子辐照P型InP所产生的辐照缺陷.结果表明:两种注量辐照在GaP中均产生较高浓度的单空位.其浓度随... 用正电子湮没寿命谱技术研究了2.4×1O15/cm2、2.2×1016/cm2注量的85MeV19F离子辐照N型GaP和1.6×1016/cm 2注量的85MeV19F离子辐照P型InP所产生的辐照缺陷.结果表明:两种注量辐照在GaP中均产生较高浓度的单空位.其浓度随着辐照注量的增大而增加;辐照也在InP中产生较高浓度的单空位. 展开更多
关键词 III-V族化合物半导体 高能重离子辐照 正电子湮没寿命谱 N型Gap pinp 辐照缺陷 磷化镓 磷化铟
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Characteristic diode parameters in thermally annealed Ni/p-InP contacts
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作者 A.Turut K.Ejderha +1 位作者 N.Yildirim B.Abay 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2016年第4期32-38,共7页
The Ni/p-InP Schottky diodes(SDs) have been prepared by DC magnetron sputtering deposition. After the diode fabrication, they have been thermally annealed at 700 ℃ for 1 min in N2 atmosphere. Then, the current–vol... The Ni/p-InP Schottky diodes(SDs) have been prepared by DC magnetron sputtering deposition. After the diode fabrication, they have been thermally annealed at 700 ℃ for 1 min in N2 atmosphere. Then, the current–voltage characteristics of the annealed and non-annealed(as-deposited) SDs have been measured in the measurement temperature range of 60–400 K with steps of 20 K under dark conditions. After 700 ℃ annealing,an improvement in the ideality factor value has been observed from 60 to 200 K and the barrier height(BH)value approximately has remained unchanged in the measurement temperature range of 200–400 K. The BH of the annealed diode has decreased obeying the double-Gaussian distribution(GD) of the BHs with decreasing measurement temperature from 200 to 60 K. The BH for the as-deposited diode has decreased with decreasing temperature obeying the single-GD over the whole measurement temperature range. An effective Richardson constant value of54:21 A/cm^2K^2 for the as-deposited SD has been obtained from the modified Richardson plot by the single-GD plot, which is in very close agreement with the value of 60 A/K^2cm^2 for p-type InP. The series resistance value of the annealed SD is lower than that of the non-annealed SD at each temperature and approximately has remained unchanged from 140 to 240 K. Thus, it can be said that an improvement in the diode parameters has been observed due to the thermal annealing at 700 ℃ for 1 min in N_2 atmosphere. 展开更多
关键词 Ni/p-inp Schottky diodes Gaussian distribution
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Fabrication of Two Types of Ordered InP Nanowire Arrays on a Single Anodic Aluminum Oxide Template and Its Application in Solar Cells
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作者 Jun Zhang Ling Jin +5 位作者 Siqian Li Jian Xie Fangyu Yang Jinxia Duan Tiehan-H.Shen Hao Wang 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第6期634-638,共5页
Two types of ordered InP nanowire arrays have been prepared on the same anodic aluminum oxide template by a template-assisted metallo-organic chemical vapor deposition technique.When using template with an appropriate... Two types of ordered InP nanowire arrays have been prepared on the same anodic aluminum oxide template by a template-assisted metallo-organic chemical vapor deposition technique.When using template with an appropriate pore size,free-standing wires on the template surface and highly ordered wires in the nanochannels of the same template can be simultaneously achieved.The highly ordered InP nanowire arrays in the nanochannels serve as an n-type semiconductor to assemble the p-n heterojunction solar cell with p-type Cu2O.Such a Cu2O/lnP p-n heterojunction solar cell possesses a power conversion efficiency of 1.55%. 展开更多
关键词 inp nanowire arrays Template-assisted p-n heteroju
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