期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
193nm P偏振光大角度减反射膜的实现
被引量:
4
1
作者
李春
金春水
+1 位作者
靳京城
常艳贺
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期152-156,共5页
对用于193 nm减反射膜的基底材料和薄膜材料的光学性能进行了解析,同时对沉积技术和主要沉积工艺参数进行了分析与优化选择,并在此基础上进行了193 nm大角度入射减反射膜的设计、制备及检测,实现了入射角为68°~72°范围内...
对用于193 nm减反射膜的基底材料和薄膜材料的光学性能进行了解析,同时对沉积技术和主要沉积工艺参数进行了分析与优化选择,并在此基础上进行了193 nm大角度入射减反射膜的设计、制备及检测,实现了入射角为68°~72°范围内单面透射率大于96%,剩余反射率小于1%。同时计算了线宽压窄模块棱镜在镀膜前后的单程能量损耗,肯定了实现大角度减反射膜的必要性。
展开更多
关键词
薄膜
减反射膜
p偏振态
193
nm激光
大入射角
原文传递
题名
193nm P偏振光大角度减反射膜的实现
被引量:
4
1
作者
李春
金春水
靳京城
常艳贺
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院大学
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期152-156,共5页
基金
国家重大科技专项
文摘
对用于193 nm减反射膜的基底材料和薄膜材料的光学性能进行了解析,同时对沉积技术和主要沉积工艺参数进行了分析与优化选择,并在此基础上进行了193 nm大角度入射减反射膜的设计、制备及检测,实现了入射角为68°~72°范围内单面透射率大于96%,剩余反射率小于1%。同时计算了线宽压窄模块棱镜在镀膜前后的单程能量损耗,肯定了实现大角度减反射膜的必要性。
关键词
薄膜
减反射膜
p偏振态
193
nm激光
大入射角
Keywords
thin films
antireflection coating
p
p
olarization
193 nm laser
large incident angle
分类号
O484 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
193nm P偏振光大角度减反射膜的实现
李春
金春水
靳京城
常艳贺
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
4
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部